The characteristics of the structur

The characteristics of the structure are as follows:
1) The membrane of the transducer is defined on
the SOI with better thickness uniformity and lower
residual stress, which will make the vibration
membrane achieve good thickness uniformity;
2) The structure consists of the integration
vibration membrane, of which additional electrode
deposition is not required to be discrete on the
surface, thus the frequency deviation is low
3) The transducer is produced by Si-Si bonding
technology, which can avoid the problems of
traditional surface sacrificial technology such as
having some difficulty in the cavity etch, the
limitation in membrane size which leads to the
decrease in sensitivity and a narrow band in the
frequency range.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ลักษณะของโครงสร้างจะเป็นดังนี้:1 เมมเบรน)ของพิกัดที่กำหนดไว้ในซอยรื่นรมย์ความหนาดีกว่า และต่ำกว่าความเครียดที่เหลือ ซึ่งจะทำให้สั่นสะเทือนเมมเบรนให้ความรื่นรมย์ความหนาดี2 โครงสร้าง)ประกอบด้วยการรวมเมมเบรนสั่นสะเทือน ของอิเล็กโทรดใดเพิ่มเติมสะสมไม่ต้องแยกกันในพื้นผิว การเบี่ยงเบนความถี่จึงต่ำ3 พิกัด)ผลิต โดยยึดซีซีเทคโนโลยี ซึ่งสามารถหลีกเลี่ยงปัญหาของเทคโนโลยีแบบดั้งเดิมที่ผิวบูชาเช่นมีปัญหาบางอย่างในช่องการกัด การข้อจำกัดในขนาดของเมมเบรนซึ่งนำไปสู่การลดความไวและวงแคบในการช่วงความถี่

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ลักษณะของโครงสร้างที่มีรายละเอียดดังนี้
1) เมมเบรนของตัวแปลงสัญญาณที่มีการกำหนดไว้ใน
ซอยที่มีความหนาสม่ำเสมอและลด
ความเครียดที่เหลือซึ่งจะทำให้การสั่นสะเทือน
เยื่อบรรลุความหนาสม่ำเสมอที่ดี
2) โครงสร้างประกอบด้วยบูรณาการ
สั่นสะเทือน เมมเบรนที่ขั้วไฟฟ้าที่เพิ่ม
การสะสมไม่จำเป็นต้องมีความต่อเนื่องบน
พื้นผิวจึงเบี่ยงเบนความถี่ต่ำ
3) แปลงสัญญาณที่ผลิตโดยพันธะ Si-Si
เทคโนโลยีซึ่งสามารถหลีกเลี่ยงปัญหาของ
เทคโนโลยีพื้นผิวการเสียสละแบบดั้งเดิมเช่น
มีบางส่วน ยากลำบากในการจำหลักโพรง
ข้อ จำกัด ในขนาดเมมเบรนซึ่งนำไปสู่
​​การลดลงของความไวและวงแคบใน
ช่วงความถี่

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ลักษณะของโครงสร้างมีดังนี้ :
1 ) เยื่อหุ้มของตัวแปลงสัญญาณที่กำหนดไว้ในซอยที่มีความหนาสม่ำเสมอดีกว่า

ลดความเค้นตกค้าง ซึ่งจะทำให้สั่นสะเทือนเยื่อบรรลุความสม่ำเสมอความหนาดี
;
2 ) โครงสร้างประกอบด้วยการบูรณาการ
สั่นสะเทือนเยื่อ ซึ่งสะสมไฟฟ้า
เพิ่มเติม ไม่จําเป็นต้องไม่ต่อเนื่องบน
พื้นผิวดังนั้นความถี่เบี่ยงเบนน้อย
3 ) transducer ผลิตโดยศรีศรีพันธะ
เทคโนโลยีซึ่งสามารถหลีกเลี่ยงปัญหาผิว เช่น การที่เทคโนโลยีดั้งเดิม

มีปัญหาบางอย่างในโพรง etch ,
ข้อจำกัดในเมมเบรนขนาด ซึ่งนำไปสู่การลดลงในความไวและ

วงแคบในช่วง ความถี่