The depth of the cavity is about 10

The depth of the cavity is about 100μm
when the structure is designed for capacitive type of
pressure sensor, and about 200μm when the
structure is designed for piezoresistance or resonant
type of pressure sensor.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ความลึกของช่องจะเกี่ยวกับ 100μmเมื่อโครงสร้างถูกออกแบบมาสำหรับชนิด capacitiveความดันเซ็นเซอร์ และ 200μm เกี่ยวกับเมื่อการโครงสร้างถูกออกแบบมา สำหรับ piezoresistance หรือเรโซแนนซ์ชนิดของเซนเซอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความลึกของช่องเป็นเรื่องเกี่ยวกับ100μm
เมื่อโครงสร้างถูกออกแบบมาสำหรับประเภทของ capacitive
เซ็นเซอร์ความดันและประมาณ200μmเมื่อ
โครงสร้างถูกออกแบบมาสำหรับ piezoresistance หรือจังหวะ
ชนิดของเซ็นเซอร์ความดัน