The bottom of this cavity is aninsu

The bottom of this cavity is an
insulation layer which can ensure electrical insulation
between the top and bottom electrodes, and prevent
short circuiting caused by the occasional engagement
of the top and bottom electrode; the top of the cavity
is the integration membrane made by SOI top silicon.
When the sensor is operating in water, in order to
avoid the hydrolysis caused by a strong electric field
in the cavity, the vibration must be a vacuum-sealed
cavity. The top and bottom electrodes are deposited
on the membrane and substrate respectively.
Meanwhile, a MEMS capacitive ultrasonic transducer
is composed of many cells which are connected
parallel and distributed in a certain order

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ด้านล่างของช่องนี้เป็นการชั้นฉนวนกันความร้อนซึ่งสามารถทำให้ฉนวนไฟฟ้าระหว่างหุงตด้านบนและด้านล่าง และป้องกันcircuiting สั้นเกิดจากความผูกพันเป็นครั้งคราวของไฟฟ้าบนและล่าง ด้านบนของช่องเป็นเมมเบรนรวมทำ ด้วยซิลิคอนสุดซอยเมื่อการปฏิบัติในน้ำ เซนเซอร์เพื่อหลีกเลี่ยงไฮโตรไลซ์เกิดจากสนามไฟฟ้าแรงในโพรง การสั่นสะเทือนต้องเป็น vacuum-sealedโพรง ฝากหุงตด้านบนและด้านล่างบนพื้นผิวเมมเบรนตามลำดับในขณะเดียวกัน เป็น MEMS ควบคุมอัลตราโซนิกพิกัดประกอบด้วยเซลล์จำนวนมากที่เชื่อมต่อแบบขนาน และแบบกระจายในใบสั่ง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ด้านล่างของช่องนี้คือ
ชั้นฉนวนกันความร้อนซึ่งสามารถมั่นใจได้ว่าฉนวนไฟฟ้า
ระหว่างขั้วไฟฟ้าบนและด้านล่างและป้องกันไม่ให้เกิด
ไฟฟ้าลัดวงจรที่เกิดจากการมีส่วนร่วมเป็นครั้งคราว
ของด้านบนและด้านล่างขั้ว; ด้านบนของช่อง
เป็นเมมเบรนบูรณาการที่ทำโดยซิลิกอนบนซ.
เมื่อเซ็นเซอร์มีการดำเนินงานอยู่ในน้ำเพื่อที่จะ
หลีกเลี่ยงการย่อยสลายที่เกิดจากสนามไฟฟ้าที่แข็งแกร่ง
ในช่องการสั่นสะเทือนจะต้องเป็นสูญญากาศปิดผนึก
ช่อง ขั้วไฟฟ้าบนและด้านล่างจะฝาก
ในเยื่อหุ้มเซลล์และสารตั้งต้นตามลำดับ.
ในขณะเดียวกัน transducer ล้ำเสียง MEMS capacitive
ประกอบด้วยเซลล์จำนวนมากที่มีการเชื่อมต่อ
แบบขนานและกระจายอยู่ในลำดับที่แน่นอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ด้านล่างของโพรงนี้เป็นชั้นฉนวนกันความร้อนซึ่งสามารถมั่นใจ

ระหว่างขั้วไฟฟ้าฉนวนกันความร้อนด้านบนและด้านล่าง , และป้องกัน
circuiting สั้นเกิดจากเป็นครั้งคราวหมั้น
ของด้านบนและด้านล่าง ) ; ด้านบนของช่อง
เป็นการบูรณาการเมมเบรนโดยซอยด้านบน ซิลิคอน
เมื่อเซนเซอร์เป็นปฏิบัติการใน น้ำเพื่อ
หลีกเลี่ยงการย่อยสลายเกิดจาก
สนามไฟฟ้าแรงในโพรง , การสั่นสะเทือนต้องสูญญากาศปิดผนึก
โพรง ขั้วไฟฟ้าที่ด้านบนและด้านล่างจะฝาก
บนเยื่อแผ่นตามลำดับ
ในขณะเดียวกัน , MEMS capacitive ultrasonic transducer
ประกอบด้วยเซลล์จำนวนมากที่เชื่อมต่อกัน
แบบขนานและกระจายอยู่ในลำดับที่แน่นอน