where α is the ionization probabili

where α is the ionization probability for a sputtered atom, β the probability for this ion to return to the sputter target and γSS the self-sputtering yield. For Π = 1, a sustained discharge without any additional gas is possible, for Π < 1 gas molecules, respective ions are necessary to maintain the sputter process,whereas at Π > 1 a runaway discharge only limited by the capacity of the power supply or the pulse length is encountered. Parameters α and β are always less than 1, thus γSS has to be larger than 1 to achieve unity for Π. For the self-sputtering yield, a strong dependency on the elemental composition is observed, with especially copper and silver exhibiting a very high self-sputter yield .

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

น่าเป็น ionization ในอะตอม sputtered α βความน่าเป็นสำหรับไอออนนี้เพื่อกลับไปเป้าหมาย sputter และ γSS พ่นที่ตนเองอัตราผลตอบแทน สำหรับΠ = 1 ปล่อย sustained ไม่ มีก๊าซใด ๆ เพิ่มเติมเป็นไปได้ โมเลกุลก๊าซ < 1 Π เกี่ยวข้องกันจำเป็นสำหรับการรักษากระบวนการ sputterในขณะที่Π > 1 ปล่อยแพร่กระจายที่จำกัดเท่านั้น โดยกำลังการผลิตไฟฟ้าหรือความยาวของชีพจรพบ พารามิเตอร์αและβจะมีค่าน้อยกว่า 1 จึง ยังต้องมีขนาดใหญ่กว่า 1 สามัคคีสำหรับΠ γSS สำหรับผลผลิต sputtering เอง พึ่งพาองค์ประกอบธาตุยังแข็งแรงย่อย โดยเฉพาะทองแดงและเงินอย่างมีระดับเป็นผลผลิต sputter ตนเองสูงมาก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

αที่ความน่าจะเป็นไอออนไนซ์สำหรับอะตอม sputtered, βความน่าจะเป็นสำหรับไอออนนี้เพื่อกลับไปยังเป้าหมายพ่นและγSSผลผลิตสปัตเตอร์ตัวเอง สำหรับΠ = 1 ปล่อยไว้โดยไม่ต้องก๊าซเพิ่มเติมใด ๆ ที่เป็นไปได้สำหรับΠ <1 โมเลกุลของแก๊สไอออนที่เกี่ยวข้องมีความจำเป็นเพื่อรักษากระบวนการพ่นในขณะที่Π> 1 ปล่อยหนี จำกัด ด้วยความสามารถของแหล่งจ่ายไฟหรือ ระยะเวลาชีพจรพบ พารามิเตอร์αและβมักจะน้อยกว่า 1 γSSจึงจะมีขนาดใหญ่กว่าที่ 1 เพื่อให้เกิดความสามัคคีในการΠมี สำหรับผลผลิตตนเองสปัตเตอร์, การพึ่งพาที่แข็งแกร่งในธาตุเป็นที่สังเกตด้วยทองแดงและสีเงินโดยเฉพาะอย่างยิ่งการแสดงผลผลิตของตนเองพ่นสูงมาก

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มีความเป็นไปได้ที่α ionization สำหรับเคลือบอนุภาคอะตอม บีตาความน่าจะเป็นสำหรับไอออนนี้เพื่อกลับไปยังละล่ำละลักเป้าหมายและγ SS ตนเองรายงานผลผลิต สำหรับΠ = 1 , ยั่งยืนจำหน่ายโดยก๊าซเพิ่มเติมใด ๆที่เป็นไปได้ สำหรับΠ < 1 ก๊าซโมเลกุล ไอออนที่เกี่ยวข้องที่จำเป็นในการรักษาละล่ำละลักกระบวนการส่วนΠ > 1 หลบหนีออกมาเท่านั้น จำกัด โดยความจุของไฟฟ้าหรือคลื่นความยาวที่พบ และพารามิเตอร์αบีตามักจะน้อยกว่า 1 จึงγ SS มีขนาดใหญ่กว่า 1 เพื่อให้เกิดความสามัคคีΠ . สำหรับตนเองรายงานผลผลิต , การพึ่งพาที่แข็งแกร่งในการวิเคราะห์ธาตุองค์ประกอบเป็นที่สังเกตโดยเฉพาะทองแดง และเงิน ซึ่งตนเองสูงมากมิดหมี ผลผลิต