In this study, poly(methyl methacry

In this study, poly(methyl methacrylate) (PMMA) was investigated as a negative resist by irradiation with
a high-fluence 2 MeV proton beam. The beam from a 1.7 MV Tandetron accelerator at the Plasma and
Beam Physics Research Facility (PBP) of Chiang Mai University is shaped by a pair of computer-controlled
L-shaped apertures which are used to expose rectangular pattern elements with 1–1000 lm side length.
Repeated exposure of rectangular pattern elements allows a complex pattern to be built up. After subsequent
development, the negative PMMA microstructure was used as a master mold for casting
poly(dimethylsiloxane) (PDMS) following a standard soft-lithography process. The PDMS chip fabricated
by this technique was demonstrated to be a microfluidic device.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในการศึกษานี้โพลี (อีพ๊อกซี่) (PMMA) ถูกตรวจสอบเป็นเชิงลบต่อต้านโดยการฉายรังสีที่มี
อิทธิพลสูง 2 ลำแสงโปรตอน MeV ลำแสงจาก 1.7 เร่ง MV Tandetron ที่พลาสม่าและ
บีมฟิสิกส์สิ่งอำนวยความสะดวกการวิจัย (PBP) มหาวิทยาลัยเชียงใหม่เป็นรูปคู่ของเครื่องคอมพิวเตอร์ที่ควบคุม
รูรับแสงรูปตัว L ที่ใช้เพื่อแสดงองค์ประกอบรูปแบบสี่เหลี่ยมที่มีด้าน 1-1000 LM ความยาว.
สัมผัสซ้ํา ๆ ขององค์ประกอบที่ช่วยให้รูปแบบสี่เหลี่ยมรูปแบบที่ซับซ้อนที่จะสร้างขึ้น หลังจากที่ตามมา
พัฒนาจุลภาค PMMA เชิงลบที่ใช้เป็นแม่พิมพ์ต้นแบบสำหรับการหล่อ
โพลี (dimethylsiloxane) (PDMS) ต่อไปนี้เป็นกระบวนการที่นุ่มพิมพ์มาตรฐาน ชิป PDMS ประดิษฐ์
โดยเทคนิคนี้ได้แสดงให้เห็นเป็นอุปกรณ์ microfluidic

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในการศึกษานี้ พอลิเมทิลเมทาคริเลต ) ( PMMA ) ถูกสอบสวนเป็นลบ ต่อต้าน โดยการฉายรังสีด้วย
fluence สูง 2 MeV โปรตอนบีม ลำแสงจาก 1.7 MV tandetron คันเร่งที่ศูนย์วิจัยฟิสิกส์พลาสมาและ
บีม ( PBP ) ของมหาวิทยาลัยเชียงใหม่ เป็นรูปคู่ของคอมพิวเตอร์ควบคุม
โดยแสงรูปตัว L ซึ่งจะใช้เพื่อแสดงองค์ประกอบรูปแบบสี่เหลี่ยมที่มีด้านยาว 1 – 1000 Lm .
ซ้ำแสงองค์ประกอบรูปแบบสี่เหลี่ยมช่วยให้รูปแบบซับซ้อนจะสร้างขึ้น หลังจากการพัฒนาต่อมา
, โครงสร้างจุลภาค PMMA ลบถูกใช้เป็น ต้นแบบแม่พิมพ์สำหรับหล่อ
โพลี ( โด่เด่ ) ( PDMS ) ตามกระบวนการนุ่มรุ่นมาตรฐาน โดยชิปที่ประดิษฐ์
ด้วยเทคนิคนี้พบว่าเป็นอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก .