Increasing substrate bias results i

Increasing substrate bias results in
the decrease of deposition rate and the increase of surface roughness.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เพิ่มพื้นผิวผล biasการลดลงของอัตราการสะสมและการเพิ่มขึ้นของพื้นผิวที่ขรุขระ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การเพิ่มขึ้นของผลการสารตั้งต้นอคติใน
การลดลงของอัตราการปลูกและการเพิ่มขึ้นของความขรุขระของพื้นผิว