In the work, micro-probe is attache

In the work, micro-probe is attached to floating plate of the capacitive sensors under microscopic environment. Then we connect pad of micro capacitive sensors to pad of PCB by press welder. The experimental set-up is placed on a vibration isolator with air springs. A macro–micro calibration stage is constructed, in which large range coarse positioning is realized with a micrometer screw mechanism and nanometer positioning is realized with piezoelectric nano-positioning stage P-753 which has a travel of 12 m, a closed-loop resolution of 0.1 nm and a full-range repeatability of ±1 nm. The experimental set-up is configured, as is shown in Fig. 7.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

งาน ไมโครโพรบมีแนบแผ่นลอยของเซนเซอร์ควบคุมภายใต้สภาพแวดล้อมด้วยกล้องจุลทรรศน์ แล้ว เราเชื่อมต่อแผ่นเซ็นเซอร์ควบคุมไมโครเบาะของ PCB โดยกดเครื่องเชื่อมโลหะ การตั้งค่าที่ทดลองอยู่บน isolator สั่นสะเทือนกับแอร์สปริง สร้างแมโคร – ไมโครเทียบขั้น ในช่วงใหญ่หยาบตำแหน่งถูกรับรู้ ด้วยกลไกสกรูไมโครมิเตอร์ และตำแหน่ง nanometer จะรู้ตัว piezoelectric ตำแหน่งนาโนขั้นตอน P-753 ซึ่งได้เดินทาง 12 เมตร ความละเอียดวงปิดของ 0.1 nm และทำซ้ำในช่วงเต็มของ ±1 nm ติดตั้งทดลองกำหนดค่า ดังที่แสดงใน Fig. 7

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในการทำงานสอบสวนไมโครแนบมากับแผ่นลอยของเซ็นเซอร์ capacitive ภายใต้สภาพแวดล้อมด้วยกล้องจุลทรรศน์ จากนั้นเราเชื่อมต่อแผ่นของเซ็นเซอร์ capacitive ไมโครแผ่น PCB โดยกดช่างเชื่อม ทดลองติดตั้งวางอยู่บนแยกการสั่นสะเทือนที่มีน้ำพุอากาศ เวทีการสอบเทียบมหภาคจุลภาคที่สร้างขึ้นซึ่งในช่วงที่มีขนาดใหญ่วางตำแหน่งหยาบตระหนักกับกลไกกรูไมโครเมตรและการวางตำแหน่งนาโนเมตรจะตระหนักกับขั้นตอนนาโนตำแหน่ง piezoelectric P-753 ซึ่งมีการเดินทาง 12 เมตรความละเอียดวงปิด 0.1 นาโนเมตรและทำซ้ำเต็มช่วงของ± 1 นาโนเมตร ทดลองการตั้งค่าการกำหนดค่าตามที่แสดงในรูป 7

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในงานไมโครโพรบติดจานลอยของเซ็นเซอร์ capacitive ภายใต้สภาพแวดล้อม ด้วยกล้องจุลทรรศน์ แล้วเราเชื่อมต่อแผ่นไมโครเซ็นเซอร์ capacitive กับแผ่น PCB โดยกดเครื่องเชื่อม การตั้งค่าการทดลองวางอยู่บนแยกการสั่นสะเทือนด้วยสปริงอากาศ แมโครและไมโคร ปรับแต่งขั้นตอนการก่อสร้างซึ่งในตำแหน่งหยาบช่วงใหญ่คือตระหนักด้วยไมโครมิเตอร์และสกรูกลไก nanometer ตำแหน่งตระหนักกับตำแหน่งเวที p-753 piezoelectric นาโนซึ่งมีการเดินทางของ 12  M , ระบบควบคุมความละเอียด 0.1 nm และการเต็มรูปแบบของ± 1 นาโนเมตร การตั้งค่าการทดลองถูกปรับ ตามที่แสดงไว้ในรูปที่ 7