Growth of thin film เกี่ยวขอ้งกบักระบวนกำร nucleation and growth on the substrate โดย nucleation
process มีบทบำทส ำคัญในกำรตรวจวัด crystallinity and microstructure of resultant film ส ำหรับ deposition of
thin film ที่มีควำมหนำอยใู่ นระดบั nm อำศัย initial nucleation process เป็ นส ำคัญ โดย nucleation in film
formation จะเกิดผำ่ น heterogeneous nucleation
The size and shape of initial nuclei are assumed to be solely dependent on the change of volume of
Gibbs free energy’due to supersaturation and combined effect of surface and interface energies ที่เกี่ยวกบั
Young’s equation ในทำงปฏิบัติ the interaction between film and substrate plays a very important role in
determining the initial nucleation andfilm growth