AbstractRaman spectroscopy has been

Abstract
Raman spectroscopy has been used as a local probe to characterize the structural evolution of magnetron-sputtered decorative zirconium oxynitride ZrOxNy films which result from an increase of reactive gas flow in the deposition. The lines shapes, the frequency position and widths of the Raman bands show a systematic change as a function of the reactive gas flow (a mixture of both oxygen and nitrogen). The as-deposited zirconium nitride film presents a Raman spectrum with the typical broadened bands, due to the disorder induced by N vacancies. The recorded Raman spectrum of the zirconium oxide film is typical of the monoclinic phase of ZrO2, which is revealed also by X-ray diffraction. Raman spectra of zirconium oxynitride thin films present changes, which are found to be closely related with the oxygen content in films and the subsequent structural changes.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

บทคัดย่อ
รามันสเปกโทรสโกได้รับการใช้เป็นหัววัดท้องถิ่นที่จะอธิบายลักษณะวิวัฒนาการโครงสร้างของแมก-sputtered ตกแต่งเซอร์โคเนียม oxynitride ภาพยนตร์ ZrOxNy ซึ่งเป็นผลมาจากการเพิ่มขึ้นของการไหลของก๊าซปฏิกิริยาในการสะสม รูปทรงเส้นตำแหน่งความถี่และความกว้างของวงรามันแสดงการเปลี่ยนแปลงระบบเป็นหน้าที่ของการไหลของก๊าซปฏิกิริยา (ส่วนผสมของทั้งสองออกซิเจนและไนโตรเจน) ตามที่ฝากภาพยนตร์ไนไตรด์เซอร์โคเนียมนำเสนอสเปกตรัมรามันกับวงกว้างโดยทั่วไปเนื่องจากความผิดปกติที่เกิดจากตำแหน่งงานว่างไม่มี บันทึกสเปกตรัมรามันของฟิล์มออกไซด์เซอร์โคเนียมเป็นเรื่องปกติของขั้นตอนการ monoclinic ของ ZrO2 ซึ่งถูกเปิดเผยโดย X-ray diffraction รามันสเปกตรัมของเซอร์โคเนียม oxynitride ฟิล์มบางเปลี่ยนแปลงปัจจุบันซึ่งพบว่ามีความสัมพันธ์อย่างใกล้ชิดกับปริมาณออกซิเจนในภาพยนตร์และการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างในภายหลัง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

นามธรรม
รามันสเปกโทรสโกปีได้ถูกใช้เป็นโพรบท้องถิ่นเพื่อวิเคราะห์วิวัฒนาการของโครงสร้างโลหะเซอร์โคเนียม oxynitride sputtered ตกแต่ง zroxny ภาพยนตร์ซึ่งเป็นผลจากการเพิ่มขึ้นของอัตราการไหลของแก๊สในปฏิกิริยาการ เส้นรูปร่างค่าตำแหน่งและความกว้างของรามันแถบแสดงการเปลี่ยนระบบเป็นฟังก์ชันของปฏิกิริยาการไหลของแก๊ส ( ส่วนผสมของออกซิเจนและไนโตรเจน ) เป็นฟิล์มเซอร์โคเนียมไนไตรด์ฝากเสนอสเปกตรัมรามันกับทั่วไปขยายวง เนื่องจากโรคที่เกิดจาก N ที่ว่างอยู่บันทึกสเปกตรัมรามันของเซอร์โคเนียมออกไซด์ฟิล์มเป็นปกติของเฟสโมโนคลินิกของ ZrO2 ซึ่งถูกเปิดเผยโดยการเลี้ยวเบนของรังสีเอกซ์ . รามานสเปกตรัมของฟิล์มบางเซอร์โคเนียม oxynitride ปัจจุบันการเปลี่ยนแปลง ซึ่งจะพบว่ามีความเกี่ยวข้องกับปริมาณออกซิเจนในฟิล์มและภายหลังการเปลี่ยนแปลงโครงสร้าง .