3.2. X-ray diffraction In order to

3.2. X-ray diffraction
In order to understand the mechanism of structure evolution with variation of the reactive gas flow, X-ray diffraction (XRD) analysis was carried out. Fig. 1 shows the X-ray diffraction patterns for samples prepared with increasing reactive gas flow. From the obtained diffraction patterns, it is possible to observe the formation of three different types of structures. The first of these zones corresponds to the films prepared with gas mixture flows varying from 6 to 10 sccm, will be noted in the text as zone I, developed a face centred cubic ZrN type structure. For higher gas mixture flows, a change in structure occurs and a second zone, indexed as zone T, is developed. This second zone is what one might call a transition zone, whose diffraction patterns (very reduced and difficult to index) revealed the possibility of having the formation of poorly crystallized oxygen-doped orthorhombic, Zr3N4-type structures [6,7,16–19].
For the highest flows there is another structural change, revealing the development of a third zone, which will be referred throughout the text as Zone II, corresponding to films that the diffraction patterns (again very reduced and quite difficult to index) might indicate the preparation of films that crystallize in a zirconium oxynitride-type structure. The exact nature of this possible oxynitride structure is not yet accurately determined. Furthermore, by comparing the evolution of the diffraction data of the oxynitride films prepared with low gas flows (from 6 to 8 sccm), it is possible to observe some texture change, decreasing the dominant b111N growth to approximately randomly oriented crystals, with the fcc-ZrN structure. This change could be associated with the increase of nitrogen content of the sub-stoichiometric fcc-ZrN structures (see Table 1).
For the films prepared with reactive gas flows higher than 10 sccm (zone T), the results of composition analysis revealed the presence of over-stoichiometric films, where the non-metal to metal atomic ratio varies from 1.17 to 1.44 (Table 1), and thus indicating the possibility to form different crystalline structures beyond the previously mentioned ZrN films. The sample prepared with a gas flow of 10 sccm seems to present already another phase, which is evident in the large broad peak around 2θ=30°, becoming even more pronounced in the sample prepared with 13 sccm (Fig. 1). For this sample, the diffraction data reveals also a broad peak located at 2θ≈32.2°. The broadening of the peak at 2θ≈32.2°, which would correspond to the (320) plane of the o-Zr3N4 structure, could result from the small grain size and/or some reduction of the crystalline volume fraction of the coating, or even to a superposition of several peaks predicted in this region for this structure. The indexation of a particular crystalline structure to this sample is very difficult to fulfil due to the reduced number of diffraction peaks,

although the available literature data suggest the formation of a structure very similar to that of Zr3N4-type, but with possible oxygen inclusions [16]. This change is also confirmed by the composition data, with the abrupt increase of the concentration of non-metallic elements. Looking into Table 1 it is possible to observe that the samples deposited with reactive gas flow varying from 10 to 13 sccm, present a concentration of the non metallic elements that varies from 1.22 to 1.33, which in fact is very close to the stoichiometric value of a Zr3N4-type structure. With a continuous increase of the reactive gas (higher than 14 sccm), there is another structure change, zone II. This structural change is well correlated with the evolution of the oxygen and nitrogen content of the coatings (Table 1). The semi-transparent sample, deposited with 15 sccm, shows a significant increase of the oxygen content along with a significant decrease of the nitrogen and its stoichiometry could correspond to an oxynitride-type structure. However, the exact determination of the crystalline structure is again very difficult due the reduced number of visible diffraction peaks. Nevertheless, and according to very few research studies [19–22] the diffraction peaks located at 2θ≈21.1°, 2θ≈30° and 2θ≈32.9° could correspond to a bcc γ-Zr2ON2- type structure (ICDD card n° 48-1635) [23].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

3.2 การเอ็กซ์เรย์การเลี้ยวเบน ความเข้าใจในกลไกของวิวัฒนาการโครงสร้างกับความผันแปรของกระแสก๊าซปฏิกิริยา วิเคราะห์เอกซเรย์การเลี้ยวเบน (XRD) ได้ดำเนินงาน Fig. 1 แสดงรูปแบบการเลี้ยวเบนเอ็กซ์เรย์ตัวอย่างพร้อมเพิ่มกระแสก๊าซปฏิกิริยา จากรูปแบบการเลี้ยวเบนได้รับ ได้ไปสังเกตการก่อตัวของโครงสร้าง 3 แบบ ครั้งแรกของโซนเหล่านี้สอดคล้องกับฟิล์มพร้อมขั้นตอนการผสมก๊าซแตกต่างกันจาก 6 10 sccm จะระบุไว้ในข้อความเป็นโซนฉัน พัฒนาศูนย์กลางหน้าลูกบาศก์ ZrN ชนิดโครงสร้าง สำหรับขั้นตอนสูงขึ้นแก๊สผสม เกิดการเปลี่ยนแปลงในโครงสร้าง และพัฒนาโซนสอง ดัชนีโซน T โซนที่สองนี้เป็นสิ่งหนึ่งอาจเรียกเปลี่ยนโซน มีรูปแบบการเลี้ยวเบน (ดัชนีลดลงมาก และยาก) เปิดเผยความเป็นไปได้ของการก่อตัวของงานตกผลึก doped ออกซิเจน orthorhombic, Zr3N4 ชนิดโครงสร้าง [6,7,16-19] สำหรับกระแสสูงสุด ได้เปลี่ยนโครงสร้างอื่น เผยให้เห็นการพัฒนาของโซนสาม ซึ่งจะเรียกว่าตลอดทั้งข้อความที่เป็นโซน II ที่สอดคล้องกับภาพยนตร์ที่ลวดลายการเลี้ยวเบน (ดัชนีลดลงมากอีก และค่อนข้างยาก) อาจบ่งชี้การเตรียมฟิล์มที่ตกผลึกในโครงสร้างชนิด oxynitride เซอร์โคเนียม แน่นอนธรรมชาติของโครงสร้างนี้สามารถ oxynitride เป็นไม่ได้อย่างถูกต้องระบุ โดยการเปรียบเทียบวิวัฒนาการของข้อมูลการเลี้ยวเบนของฟิล์ม oxynitride พร้อมกระแสก๊าซต่ำ (จาก 6 กับ 8 sccm), ก็สามารถสังเกตเนื้อบางเปลี่ยนแปลง ลดการเจริญเติบโต b111N หลักการประมาณโดยการสุ่มเชิงผลึก โครงสร้าง fcc ZrN การเปลี่ยนแปลงนี้อาจเกี่ยวข้องกับการเพิ่มขึ้นของไนโตรเจนเนื้อหาโครงสร้าง fcc ZrN stoichiometric ย่อย (ดูตารางที่ 1) สำหรับภาพยนตร์พร้อมขั้นตอนปฏิกิริยาก๊าซสูงกว่า 10 sccm (โซน T), ผลการวิเคราะห์องค์ประกอบของภาพยนตร์เกิน stoichiometric ตำแหน่งไม่ใช่โลหะต่อโลหะอะตอมตั้งแต่ความ 1.17 ถึง 1.44 (ตารางที่ 1), การเปิดเผย และจึงบ่งชี้สามารถฟอร์มต่าง ๆ โครงสร้างผลึกนอกเหนือจากภาพยนตร์ ZrN กล่าว ตัวอย่างพร้อมกระแสก๊าซของ 10 sccm น่าจะ แสดงระยะอีกแล้ว ซึ่งอยู่ในช่วงกว้างใหญ่รอบ 2θ = 30° ยิ่งกลายเป็นออกเสียงจากตัวอย่างที่ 13 sccm (Fig. 1) เตรียมการ สำหรับตัวอย่างนี้ ข้อมูลการเลี้ยวเบนพบกว้างสูงสุดอยู่ที่ 2θ≈32.2 องศา Broadening ของพีคที่ 2θ≈32.2 องศา ซึ่งจะตรงกับเครื่องบิน (320) ของโครงสร้าง o Zr3N4 อาจเกิดจากขนาดเม็ดเล็กและ/หรือลดบางส่วนของเศษส่วนปริมาตรผลึกเคลือบ หรือแม้กระทั่ง การ superposition ของยอดเขาต่าง ๆ ที่ทำนายในภูมิภาคนี้สำหรับโครงสร้างนี้ ดัชนีของโครงสร้างผลึกเฉพาะอย่างนี้เป็นเรื่องยากมากที่จะสนองความต้องการเนื่องจากจำนวนยอดการเลี้ยวเบน ลดลง ถึงแม้ว่าวรรณกรรมมีข้อมูลแนะนำการก่อตัวของโครงสร้างที่คล้ายกับที่ ของ ชนิด Zr3N4 แต่ มีออกซิเจนเป็นตัว [16] การเปลี่ยนแปลงนี้ยังได้รับการยืนยัน โดยข้อมูลองค์ประกอบ มีความเข้มข้นขององค์ประกอบไม่ใช่ metallic เพิ่มอย่างทันทีทันใด มองเข้าไปในตารางที่ 1 ได้สังเกตว่า ตัวอย่างที่ฝากไว้กับกระแสก๊าซปฏิกิริยาที่แตกต่างกันจาก 10 ถึง 13 sccm นำเข้มข้นขององค์ประกอบไม่ใช่โลหะที่ตั้งแต่ 1.22 ถึง 1.33 ซึ่งในความเป็นจริงอย่างดีค่า stoichiometric ของโครงสร้างชนิด Zr3N4 มีการเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องของก๊าซปฏิกิริยา (สูงกว่า 14 sccm), มีอีกโครงสร้างเปลี่ยนแปลง โซน II การเปลี่ยนแปลงโครงสร้างนี้เป็นดี correlated กับวิวัฒนาการของออกซิเจนและไนโตรเจนเนื้อหาของเคลือบ (ตารางที่ 1) การเพิ่มเนื้อหาออกซิเจนพร้อมกับลดลงอย่างมีนัยสำคัญของไนโตรเจนแสดงอย่างกึ่งโปร่งใส การฝากเงินกับ 15 sccm และ stoichiometry ความสามารถสอดคล้องกับโครงสร้างเป็นชนิด oxynitride อย่างไรก็ตาม กำหนดโครงสร้างผลึกที่แน่นอนได้อีกยากครบกำหนดจำนวนการเลี้ยวเบนปรากฏยอดลดลง อย่างไรก็ตาม และ ตามน้อยมากศึกษา [19-22] การเลี้ยวเบนแห่งตั้งอยู่ที่ 2θ≈21.1 องศา องศา 2θ≈30 และ 2θ≈32.9 °สามารถสอดคล้องกับโครงสร้างของγ-Zr2ON2-ชนิด bcc (ICDD บัตร n ° 48-1635) [23]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

3.2 X-ray diffraction
เพื่อให้เข้าใจถึงกลไกของวิวัฒนาการของโครงสร้างที่มีการเปลี่ยนแปลงของการไหลของก๊าซปฏิกิริยา, X-ray diffraction (XRD) การวิเคราะห์ได้รับการดำเนินการ มะเดื่อ 1 แสดงรูปแบบ X-ray diffraction สำหรับตัวอย่างจัดทำขึ้นด้วยการเพิ่มการไหลของก๊าซปฏิกิริยา จากรูปแบบการเลี้ยวเบนที่ได้รับก็เป็นไปได้ที่จะสังเกตเห็นการก่อตัวของสามประเภทที่แตกต่างกันของโครงสร้าง แรกของโซนเหล่านี้สอดคล้องกับภาพยนตร์ที่จัดทำขึ้นด้วยส่วนผสมของก๊าซไหลแตกต่างกัน 6-10 SCCM จะได้รับการบันทึกไว้ในข้อความที่เป็นโซนที่ผมได้รับการพัฒนาเป็นศูนย์กลางใบหน้าลูกบาศก์ ZRN โครงสร้างชนิด สำหรับกระแสส่วนผสมของก๊าซที่สูงขึ้นการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างการเกิดขึ้นและโซนที่สอง, การจัดทำดัชนีโซน T, ได้รับการพัฒนา นี้โซนที่สองคือสิ่งที่หนึ่งอาจจะเรียกการเปลี่ยนโซนซึ่งมีรูปแบบการเลี้ยวเบน (ลดลงมากและยากที่จะดัชนี) เปิดเผยความเป็นไปได้ของการมีการก่อตัวของก้อนไม่ดี orthorhombic ออกซิเจนเจือโครงสร้าง Zr3N4 ชนิด [6,7,16-19 ].
สำหรับสูงสุดไหลมีอีกการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างเผยให้เห็นการพัฒนาของโซนที่สามซึ่งจะถูกเรียกตลอดทั้งข้อความที่เป็นโซนที่สองซึ่งสอดคล้องกับภาพยนตร์ว่ารูปแบบการเลี้ยวเบน (อีกครั้งลดลงมากและค่อนข้างยากที่จะดัชนี) อาจบ่งชี้ การเตรียมความพร้อมของภาพยนตร์ที่ตกผลึกในเซอร์โคเนียมโครงสร้าง oxynitride ประเภท ธรรมชาติที่แท้จริงของโครงสร้าง oxynitride นี้เป็นไปได้ยังไม่ได้กำหนดอย่างถูกต้อง นอกจากนี้โดยการเปรียบเทียบวิวัฒนาการของข้อมูลการเลี้ยวเบนของภาพยนตร์ oxynitride เตรียมกับกระแสก๊าซต่ำ (6-8 SCCM) ก็เป็นไปได้ที่จะสังเกตเห็นการเปลี่ยนแปลงบางเนื้อลดลงการเจริญเติบโตที่โดดเด่นในการ b111N ผลึกประมาณมุ่งเน้นการสุ่มกับ FCC โครงสร้าง -ZrN การเปลี่ยนแปลงนี้อาจเกี่ยวข้องกับการเพิ่มขึ้นของปริมาณไนโตรเจนในโครงสร้างย่อย stoichiometric FCC-ZRN (ดูตารางที่ 1).
สำหรับภาพยนตร์ที่จัดทำขึ้นด้วยก๊าซปฏิกิริยาไหลสูงกว่า 10 SCCM (โซน T), ผลการวิเคราะห์องค์ประกอบเปิดเผย การปรากฏตัวของภาพยนตร์มากกว่าทฤษฎีที่ไม่ใช่โลหะอัตราส่วนอะตอมโลหะที่แตกต่างกัน 1.17-1.44 (ตารางที่ 1) และจึงแสดงให้เห็นความเป็นไปได้ในรูปแบบโครงสร้างผลึกที่แตกต่างกันเกินกว่าที่กล่าวถึงก่อนหน้านี้ภาพยนตร์ ZRN ตัวอย่างจัดทำขึ้นด้วยการไหลของก๊าซ 10 SCCM ดูเหมือนว่าจะนำเสนออยู่แล้วขั้นตอนอื่นซึ่งเห็นได้ชัดในจุดสูงสุดในวงกว้างขนาดใหญ่รอบ ๆ 2θ = 30 °กลายเป็นยิ่งเด่นชัดในกลุ่มตัวอย่างที่จัดทำขึ้นด้วย 13 SCCM (รูปที่ 1). สำหรับตัวอย่างนี้ข้อมูลการเลี้ยวเบนเผยยังเป็นจุดสูงสุดในวงกว้างอยู่ที่2θ≈32.2° ขยายสูงสุดที่2θ≈32.2°ซึ่งจะสอดคล้องกับ (320) เครื่องบินของโครงสร้าง o-Zr3N4 อาจเป็นผลมาจากขนาดเม็ดเล็ก ๆ และ / หรือการลดลงของส่วนปริมาณผลึกของสารเคลือบผิวบางอย่างหรือแม้กระทั่ง การทับซ้อนของยอดเขาหลายที่คาดการณ์ไว้ในภูมิภาคนี้สำหรับโครงสร้างนี้ ปรับโครงสร้างผลึกโดยเฉพาะตัวอย่างนี้เป็นเรื่องยากมากที่จะปฏิบัติตามเนื่องจากจำนวนที่ลดลงของยอดเลนส์แม้ว่าข้อมูลจากเอกสารที่มีอยู่ขอแนะนำให้ก่อตัวของโครงสร้างคล้ายกับที่ของ Zr3N4 ชนิด แต่มีตำหนิออกซิเจนไปได้ [ 16] การเปลี่ยนแปลงนี้ได้รับการยืนยันโดยข้อมูลองค์ประกอบที่มีการเพิ่มขึ้นอย่างกระทันหันของความเข้มข้นของธาตุที่ไม่ใช่โลหะ มองเข้าไปในตารางที่ 1 มันเป็นไปได้ที่จะสังเกตว่ากลุ่มตัวอย่างที่ฝากไว้กับการไหลของก๊าซปฏิกิริยาแตกต่างกัน 10-13 SCCM นำเสนอความเข้มข้นของธาตุโลหะที่ไม่แตกต่างกันไปที่ 1.22-1.33 ซึ่งในความเป็นจริงเป็นอย่างมากใกล้เคียงกับมูลค่าทางทฤษฎีของ โครงสร้าง Zr3N4 ประเภท กับการเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องของก๊าซปฏิกิริยา (สูงกว่า 14 SCCM) มีการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างอีกโซนที่สอง การเปลี่ยนแปลงโครงสร้างนี้มีความสัมพันธ์ที่ดีกับวิวัฒนาการของออกซิเจนและไนโตรเจนของสารเคลือบ (ตารางที่ 1) ตัวอย่างกึ่งโปร่งใสฝากกับ 15 SCCM แสดงให้เห็นถึงการเพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญของปริมาณออกซิเจนพร้อมกับการลดลงอย่างมีนัยสำคัญของไนโตรเจนและปริมาณสัมพันธ์ของมันจะสอดคล้องกับโครงสร้าง oxynitride ประเภท อย่างไรก็ตามการกำหนดที่แน่นอนของโครงสร้างผลึกเป็นอีกครั้งที่ยากมากเนื่องจากจำนวนที่ลดลงของยอดเขาที่มองเห็นการเลี้ยวเบน อย่างไรก็ตามและเป็นไปตามการศึกษาวิจัยน้อยมาก [19-22] ยอดการเลี้ยวเบนตั้งอยู่ที่2θ≈21.1°, 2θ≈30°และ2θ≈32.9°สามารถสอดคล้องกับ BCC โครงสร้างชนิดγ-Zr2ON2- (บัตร ICDD n ° 48 -1635) [23]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

3.2 . การเลี้ยวเบนของรังสีเอกซ์
เพื่อให้เข้าใจกลไกของวิวัฒนาการโครงสร้างรูปแบบของปฏิกิริยาก๊าซไหล การเลี้ยวเบนของรังสีเอ็กซ์วิเคราะห์ออกมา รูปที่ 1 แสดงรูปแบบการเลี้ยวเบนรังสีเอ็กซ์สำหรับเตรียมตัวอย่างด้วยการเพิ่มปฏิกิริยาก๊าซไหล จากการวิเคราะห์รูปแบบการเลี้ยวเบน มันเป็นไปได้ที่จะสังเกตการสร้างสามประเภทที่แตกต่างกันของโครงสร้างครั้งแรกของโซนเหล่านี้สอดคล้องกับภาพยนตร์ที่เตรียมไว้ผสมก๊าซไหลแตกต่างกันตั้งแต่ 6 ถึง 10 sccm จะระบุไว้ในข้อความ เช่น โซนพัฒนาหน้าศูนย์กลาง zrn ลูกบาศก์ประเภทโครงสร้าง สูงกว่าส่วนผสมแก๊สไหล การเปลี่ยนแปลงในโครงสร้างเกิดขึ้น และโซนที่สอง ดัชนีเป็นโซน T , พัฒนา โซนที่สองนี้เป็นสิ่งหนึ่งอาจเรียกเป็นเขตเปลี่ยนผ่านซึ่งมีรูปแบบการเลี้ยวเบน ( ลดยากมากและดัชนี ) เปิดเผยความเป็นไปได้ของการมีการสร้างออกซิเจนได้ตกผลึกด้วยออร์โทรอมบิก zr3n4 ประเภทโครงสร้าง , 6,7,16 – [ 19 ] .
สำหรับการไหลสูงสุด มีการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างการเปิดเผยการพัฒนาโซนที่สามซึ่งจะเรียกว่าตลอดข้อความเป็นโซน 2ภาพยนตร์ที่สอดคล้องกับรูปแบบการเลี้ยวเบน ( ลดลงอีกมาก และค่อนข้างยากที่จะดัชนี ) อาจบ่งชี้ว่า การเตรียมการของภาพยนตร์ที่ตกผลึกในเซอร์โคเนียม oxynitride ประเภทโครงสร้าง ลักษณะที่แน่นอนของโครงสร้างนี้เป็นไปได้ oxynitride ยังถูกต้องพิจารณา นอกจากนี้โดยการเปรียบเทียบวิวัฒนาการของข้อมูลการเลี้ยวเบนของ oxynitride ภาพยนตร์เตรียมไหลก๊าซต่ำ ( ตั้งแต่ 6 ถึง 8 sccm ) มันเป็นไปได้ที่จะสังเกตบางเนื้อเปลี่ยน ลดการเจริญเติบโต b111n เด่นประมาณสุ่มวางผลึกกับ FCC zrn โครงสร้างการเปลี่ยนแปลงนี้อาจจะเกี่ยวข้องกับการเพิ่มขึ้นของปริมาณไนโตรเจนย่อย stoichiometric FCC zrn โครงสร้าง ( ดูตารางที่ 1 ) .
สำหรับภาพยนตร์เตรียมปฏิกิริยาก๊าซไหลสูงกว่า 10 sccm ( โซน T ) ผลจากการวิเคราะห์องค์ประกอบพบว่ามีอัตราส่วนมากกว่าฟิล์มที่อัตราส่วนอะตอมของอโลหะโลหะแตกต่างกันไปจาก 1.17 ถึง 1.44 ( ตารางที่ 1 )จึงแสดงความเป็นไปได้ในรูปแบบโครงสร้างของผลึกที่แตกต่างกันนอกเหนือจากที่กล่าวถึงก่อนหน้านี้ zrn ภาพยนตร์ ตัวอย่างการเตรียมกับอัตราการไหลของแก๊ส 10 sccm น่าจะมีอยู่แล้ว เฟสอื่น ซึ่งเป็นที่ประจักษ์ในขนาดใหญ่กว้างสูงสุดรอบ 2 θ = 30 องศา กลายเป็นชัดเจนยิ่งขึ้นในตัวอย่างเตรียม 13 sccm ( รูปที่ 1 ) สำหรับตัวอย่างนี้ข้อมูลการเลี้ยวเบน เผยยังกว้างสูงสุดอยู่ที่ 2 θ≈ 32.2 องศา . ขยายของยอดที่ 2 θ≈ 32.2 องศา ซึ่งจะสอดคล้องกับ ( 320 ) เครื่องบินของโครงสร้าง o-zr3n4 อาจเป็นผลมาจากเมล็ดเล็ก ๆและ / หรือการลดขนาดของผลึก ปริมาณของสารเคลือบผิว หรือแม้แต่การรวมหลายยอดคาดการณ์ในภูมิภาคนี้สำหรับโครงสร้างนี้ใช้พลังไฟฟ้าลดลงของเฉพาะโครงสร้างของผลึกตัวอย่างนี้เป็นเรื่องยากมากที่จะตอบสนองเนื่องจากการลดจำนวนของยอดเขาเลี้ยวเบน

แม้ว่าข้อมูลวรรณคดีมีแนะนำการสร้างโครงสร้างที่คล้ายกันมากกับที่ของชนิด zr3n4 แต่เป็นไปได้ออกซิเจนเจือปน [ 16 ] การเปลี่ยนแปลงนี้ยังได้รับการยืนยันโดยข้อมูลส่วนประกอบกับเพิ่มทันทีของความเข้มข้นของธาตุที่ไม่ใช่โลหะ . มองเข้าไปในตารางที่ 1 มันเป็นไปได้ที่จะสังเกตว่าตัวอย่างที่ฝากไว้กับปฏิกิริยาการไหลของแก๊สที่แตกต่างจาก 10 ถึง 13 sccm ปัจจุบันความเข้มข้นของโลหะธาตุที่ไม่แตกต่างจาก 1.22 ถึง 1.33 ซึ่งในความเป็นจริงอยู่ใกล้กับค่าอัตราส่วนของ zr3n4 ประเภทโครงสร้างด้วยการเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องของก๊าซปฏิกิริยา ( สูงกว่า 14 sccm ) มีการเปลี่ยนแปลง โครงสร้างอีกโซนที่ 2 การเปลี่ยนแปลงโครงสร้างนี้มีความสัมพันธ์กับวิวัฒนาการของออกซิเจนและไนโตรเจนของเคลือบ ( ตารางที่ 1 ) กึ่งโปร่งใสอย่าง ฝากไว้กับ sccm 15 ,แสดงให้เห็นเพิ่มขึ้นของปริมาณออกซิเจนพร้อมกับลดลงที่สำคัญของไนโตรเจนและปริมาณสัมพันธ์สามารถสอดคล้องกับการ oxynitride ประเภทโครงสร้าง อย่างไรก็ตาม การกำหนดที่แน่นอนของโครงสร้างเป็นอีกครั้งที่ยากมากเนื่องจากการลดจำนวนของที่มองเห็นได้จากยอดเขา อย่างไรก็ตามและตามน้อยมากการศึกษาวิจัย [ 19 – 22 ] โดยยอดอยู่ที่ 2 θ≈ 21.1 องศา , 2 θ≈ 30 องศา และ 2 θ≈ 32.9 องศาสามารถสอดคล้องกับ BCC γ - zr2on2 - โครงสร้างชนิด ( icdd การ์ด N / 48-1635 ) [ 23 ]