closed-field unbalanced magnetron s

closed-field unbalanced magnetron sputtering. Despite the benefits offered by unbalanced magnet rons, it is still difficult to uniformly coat complex components at acceptable rates from a single source. Therefore, in order to commercially exploit this technology, multiple magnetron systems have been introduced. In a multiple magnetron system, the magnetic arrays in adjacent magnetrons can be configured with either identical, or opposite magnetic polarities. In the former case the configuration is described as"mirrored' and in the latter case closed field', and both configurations are shown in Fig. 3. In the mirrored case, the field lines are directed towards the chamber walls. Secondary electrons following these lines are lost, resulting in a low plasma density in the substrate region. Conversely, in the closed lon Current Density Current Density

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ฟิลด์ปิดไม่สมดุลผลิตกล่องจากกระดาษสปัตเตอร์ แม้ มีประโยชน์ที่นำเสนอ โดยไม่สมดุลแม่เหล็ก rons มันยากยังคงสม่ำเสมอเคลือบชิ้นส่วนที่ซับซ้อนในราคาที่ยอมรับจากแหล่งเดียวกัน ดังนั้น เพื่อที่จะใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีนี้ในเชิงพาณิชย์ ผลิตกล่องจากกระดาษหลายระบบเพิ่มเข้ามา ในระบบหลายผลิตกล่องจากกระดาษ อาร์เรย์แม่เหล็กในเสติดกันสามารถกำหนดค่าด้วยเหมือน กัน หรือตรงข้าม กับขั้วแม่เหล็กได้ ในอดีตกรณี การกำหนดค่าที่อธิบายว่า "มิเรอร์ 'และ ในฟิลด์ปิดกรณีหลัง' และตั้งค่าคอนฟิกทั้งสองจะแสดงใน ในกรณีที่มิเรอร์ เส้นจะตรงไปทางผนังห้อง อิเล็กตรอนทุติยภูมิตามบรรทัดเหล่านี้จะหายไป ส่งผลให้ความหนาแน่นต่ำพลาในภูมิภาคพื้นผิว ตรงกันข้าม ในโหลปิดความหนาความหนา

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ปิดสนามสปัตเตอร์ไม่สมดุลแมก แม้จะมีประโยชน์ที่นำเสนอโดย Rons แม่เหล็กไม่สมดุลก็ยังคงเป็นเรื่องยากที่จะส่วนประกอบที่ซับซ้อนเสื้อสม่ำเสมอในอัตราที่ได้รับการยอมรับจากแหล่งเดียว ดังนั้นเพื่อที่จะใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีนี้ในเชิงพาณิชย์ระบบแมกหลายได้รับการแนะนำ ในระบบแมกหลายแผงแม่เหล็ก magnetrons ที่อยู่ติดกันสามารถกำหนดค่าที่มีทั้งที่เหมือนกันหรือตรงข้ามกับขั้วของสนามแม่เหล็ก ในกรณีที่อดีตการตั้งค่าจะอธิบายว่า "มิร์เรอร์ 'และในกรณีหลังปิดสนาม' และการกำหนดค่าทั้งสองจะแสดงในรูปที่ 3. ในกรณีที่กระจกเส้นสนามโดยตรงต่อผนังห้อง. อิเล็กตรอนรองดังต่อไปนี้ สายจะหายไปส่งผลให้ความหนาแน่นของพลาสม่าต่ำในภูมิภาคพื้นผิว. ตรงกันข้ามในปิด lon ความหนาแน่นกระแสไฟฟ้าความหนาแน่นกระแส