IntroductionTitanium (Ti), due to h

Introduction
Titanium (Ti), due to high mechanical strength, excellent
thermal stability, good corrosion resistance and intrinsic biocompatibility
has received a great deal of attention over the last three
decades. These features make it very useful, not only for
mechanical applications, but also for the aerospace, medical and
microelectronics industries [1–3]. For these applications, smooth
surface, fine grain and homogenous structure of Ti thin films are of
critical importance.
Many studies on magnetron sputtered Ti thin films have been
reported [4–7]. For example, Jeyachandran et al. [4] investigated
the effect of thickness on the electrical, structural, optical and
surface properties of sputtered Ti films. Godfroid et al. [5] have
studied the influence of sputtering current on the growth modes of
sputtered Ti films. Chemical composition and structural properties
of Ti thin films sputtered under various cathode power, sputtering
pressure and base vacuum conditions have also been investigated
[6]. Martin et al. [7] have researched the influence of bias power on
some properties of Ti coatings. However, these studies do not deal
with a systematic investigation on morphological evolution of Ti
films on the nanometer scale with respect to the deposition
parameters. Undoubtedly, it is very important for the nanometerscale
characterization of surface topography of thin films to obtain
smooth surface, fine grain and homogenous structure [8].
The goal of this work was to investigate sputtering power
affecting surface topography of direct current (dc) magnetron
sputtered Ti films on the nanometer scale using atomic force
microscopy (AFM). Since the invention of AFM in 1986 [9], it has
became a very popular and effective method to measure surface
topography of thin films. An important advantage compared with
electron beam methods is that AFM can operate in ambient
environments. Obviously, AFM technology has widely been used in
the measurement of the hyperfine surface topography of thin solid
films

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การแนะนำ
ไทเทเนียม (Ti) เนื่องจากความแข็งแรงเชิงกลสูงที่ดีเยี่ยม
ทนความร้อนทนต่อการกัดกร่อนที่ดีและ biocompatibility ภายใน
ได้รับการจัดการที่ดีของความสนใจในช่วงสามทศวรรษที่ผ่านมา
คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้มันมีประโยชน์มากไม่เพียง แต่สำหรับการใช้งานของเครื่องจักรกล
แต่ยังสำหรับการบินและอวกาศอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ทางการแพทย์และ
[1-3] สำหรับการใช้งานเหล่านี้เรียบ
พื้นผิวเม็ดละเอียดและโครงสร้างของเนื้อฟิล์มบาง Ti มีความสำคัญ
.
การศึกษาจำนวนมากใน magnetron ละล่ำละลักทิฟิล์มบางได้รับการรายงาน
[4-7] ตัวอย่างเช่น jeyachandran ตอัล [4] การตรวจสอบ
ผลของความหนาที่ไฟฟ้าโครงสร้างแสงและ
คุณสมบัติของพื้นผิวของฟิล์มทิละล่ำละลัก Godfroid ตอัล [5] มี
การศึกษาอิทธิพลของกระแสสปัตเตอร์ในโหมดการเจริญเติบโตของ
พ่นฟิล์มทิ องค์ประกอบทางเคมีและคุณสมบัติโครงสร้าง
ของฟิล์มบางทิพ่นใต้อำนาจแคโทดต่างๆสปัตเตอร์เงื่อนไข
ความดันและฐานสูญญากาศยังได้รับการตรวจสอบ
[6] มาร์ตินและอัล [7] ได้ค้นคว้าศึกษาอิทธิพลของอำนาจอคติบน
คุณสมบัติของสารเคลือบ Ti บาง อย่างไรก็ตามการศึกษาเหล่านี้ไม่ได้จัดการ
ด้วยการตรวจสอบอย่างเป็นระบบเกี่ยวกับวิวัฒนาการของก้านทิ
ภาพยนตร์ในระดับนาโนเมตรที่เกี่ยวกับการสะสม
พารามิเตอร์ ไม่ต้องสงสัยมันเป็นสิ่งสำคัญมากสำหรับ nanometerscale
ลักษณะของพื้นผิวภูมิประเทศของฟิล์มบางที่จะได้รับ
ผิวเรียบเม็ดละเอียดและโครงสร้างคุณสมบัติเหมือนกัน [8].
เป้าหมายของงานนี้คือการตรวจสอบอำนาจพ่น
มีผลกระทบต่อพื้นผิวภูมิประเทศของกระแสตรง (DC)
magnetron ละล่ำละลักภาพยนตร์ Ti ในระดับนาโนเมตรโดยใช้แรงอะตอม
กล้องจุลทรรศน์ (AFM) ตั้งแต่การประดิษฐ์ของ AFM ในปี 1986 [9] มันได้กลายเป็น
เป็นที่นิยมมากและมีประสิทธิภาพวิธีการวัดพื้นผิวภูมิประเทศ
ของฟิล์มบาง ประโยชน์ที่สำคัญเมื่อเทียบกับอิเล็กตรอน
วิธีการคานคือ AFM สามารถทำงานในสภาพแวดล้อมที่ล้อมรอบ
เห็นได้ชัดว่าเทคโนโลยี AFM มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการวัด
ของพื้นผิวภูมิประเทศ hyperfine ของแข็ง
ฟิล์มบาง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แนะนำ
ไทเทเนียม (ตี้), เนื่องจากเครื่องจักรกลแรงสูง ดี
เสถียรภาพความร้อน ทนต่อการกัดกร่อนดี และ intrinsic biocompatibility
ได้รับความสนใจมากเกินสามสุดท้าย
ทศวรรษ คุณลักษณะเหล่านี้ทำให้มีประโยชน์มาก ไม่ใช่
งานเครื่องจักรกล แต่ยังสำหรับอุตสาหกรรม แพทย์ และ
อุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ [1–3] สำหรับโปรแกรมประยุกต์เหล่านี้ เรียบ
พื้นผิว เกรน และให้โครงสร้างของฟิล์มบางมีตี้
สำคัญสำคัญ
magnetron ศึกษาหลาย sputtered ตี้ฟิล์มบางได้
รายงาน [4–7] ตัวอย่าง การตรวจสอบของ Jeyachandran et al. [4]
ผลของความหนาของโครงการไฟฟ้า สร้าง ออปติคัล และ
ผิวคุณสมบัติของ sputtered ตี้ฟิล์ม มี Godfroid et al. [5]
ศึกษาอิทธิพลของการพ่นปัจจุบันในโหมดเจริญเติบโตของ
sputtered ตี้ฟิล์ม องค์ประกอบทางเคมีและโครงสร้าง
ของตี้บาง sputtered ภายใต้พลังงานแคโทดต่าง ๆ พ่นฟิล์ม
สอบสวนสภาพสุญญากาศความดันและฐานยัง
[6] มาร์ตินเอ็ด al. [7] ได้วิจัยอิทธิพลของพลังงานตั้งบน
คุณสมบัติบางอย่างของตี้เคลือบ อย่างไรก็ตาม ไม่มีจัดการศึกษาเหล่านี้
พร้อมตรวจสอบระบบในวิวัฒนาการของตี้
ฟิล์มในระดับ nanometer เกี่ยวกับการสะสม
พารามิเตอร์ อย่างไม่ต้องสงสัย มันเป็นสิ่งสำคัญมากสำหรับการ nanometerscale
คุณสมบัติของภูมิประเทศพื้นผิวของฟิล์มบางรับ
เรียบพื้นผิว เกรน และโครงสร้างให้ [8] .
เป้าหมายของงานนี้คือการ ตรวจสอบพลังงาน sputtering
ส่งผลกระทบต่อพื้นผิวภูมิประเทศของ magnetron กระแสตรง (dc)
sputtered ตี้ฟิล์มในระดับ nanometer ใช้แรงอะตอม
microscopy (AFM) ตั้งแต่การประดิษฐ์ของ AFM ในปี 1986 [9], มันมี
กลายเป็นวิธียอดนิยม และมีประสิทธิภาพในการวัดผิว
ภูมิประเทศของฟิล์มบาง มีประโยชน์เมื่อเทียบกับ
วิธีลำแสงอิเล็กตรอนจะว่า AFM สามารถทำงานในสภาวะ
สภาพแวดล้อม อย่างชัดเจน อย่างกว้างขวางมีการใช้เทคโนโลยี AFM ใน
วัดถือผิว hyperfine ของแข็งบาง
ฟิล์ม

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การแนะนำ
ไทเทเนียม( TI )เนื่องจากมีความเข้มแข็งกลไกสูงความมั่นคงที่ดีเยี่ยม
ซึ่งจะช่วยระบายความร้อนป้องกันการเกิดสนิมได้ดีและมีความสามารถในเนื้อแท้
ซึ่งจะช่วยได้รับข้อตกลงที่ดีเยี่ยมของความสนใจมากกว่าครั้งสุดท้ายสามทศวรรษ
ซึ่งจะช่วยได้ คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้มีประโยชน์อย่างมากไม่เพียงเฉพาะสำหรับแอพพลิเคชัน
กลไกแต่ยังสำหรับอากาศยานทางการแพทย์และ
ไมโครอิเล็กทรอนิกส์อุตสาหกรรม[ 1-3 1-3 1-3 ] สำหรับแอปพลิเคชันเหล่านี้อย่างราบรื่น
ตามมาตรฐานพื้นผิวโครงสร้างขนาดใหญ่และเมล็ดชั้นดีของหมากผู้หมากเมีย ภาพยนตร์ บางมี
ความสำคัญที่มีความสำคัญ.
การศึกษาจำนวนมากอยู่บน ภาพยนตร์ บางหมากผู้หมากเมีย magnetron พ่นออกมาด้วยมีการรายงานว่า
[ 4-7 4-7 4-7 ] ตัวอย่างเช่น jeyachandran et al . [ 4 ]มีผลการสอบสวน
ซึ่งจะช่วยให้ความหนาเกี่ยวกับคุณสมบัติของ
พื้นผิวและแบบออปติคโครงสร้างทางไฟฟ้าที่เป็นที่ต้องการของ ภาพยนตร์ หมากผู้หมากเมียพ่นออกมาด้วย godfroid et al . [ 5 ]มี
ตามมาตรฐานศึกษาเกี่ยวกับอิทธิพลของกระแสไฟฟ้าละล่ำละลักในโหมดการขยายตัวของ ภาพยนตร์ หมากผู้หมากเมีย
พ่นออกมาด้วย ส่วนประกอบทางเคมีและคุณสมบัติของโครงสร้าง
ภาพยนตร์ บางหมากผู้หมากเมียพ่นออกมาด้วย ภาพ ตามเงื่อนไขต่างๆเครื่องดูดฝุ่น
ความดันและฐานละล่ำละลักการสอบสวน
[ 6 ]ยัง มาร์ติน et al . [ 7 ]ได้วิจัยมีอิทธิพลของอำนาจการทำงานบน
บางส่วนคุณสมบัติของสีเคลือบเงาหมากผู้หมากเมีย แต่ถึงอย่างไรก็ตามการศึกษานี้ไม่ได้ข้อตกลง
พร้อมด้วยการสืบสวนสอบสวนอย่างเป็นระบบพัฒนาเกี่ยวกับวิชาว่าด้วยรูปร่างลักษณะของ ภาพยนตร์ หมากผู้หมากเมีย
ในขนาดนาโนเมตรที่พร้อมด้วยความเคารพในคำให้การ
พารามิเตอร์ ไม่ต้องสงสัยเลยว่าเหตุใดจึงเป็นสิ่งสำคัญก็คือเป็นอย่างมากสำหรับ nanometerscale
ซึ่งจะช่วยแสดงลักษณะของ ภูมิประเทศ บนพื้นผิวของ ภาพยนตร์ บางเพื่อขอรับพื้นผิวเรียบเนียนธัญพืช
ซึ่งจะช่วยปรับโครงสร้างขนาดใหญ่และ[ 8 ].
เป้าหมายของงานนี้คือการตรวจสอบพลังงานละล่ำละลัก
ลักษณะ ภูมิประเทศ บนพื้นผิวของปัจจุบันส่งผลกระทบต่อโดยตรง( DC ) magnetron ภาพยนตร์ TI
พ่นออกมาด้วยในขนาดนาโนเมตรโดยใช้ปรมาณู
ซึ่งจะช่วยให้การตรวจวิเคราะห์สารเคมี( AFM ) นับตั้งแต่การประดิษฐ์ของ AFM 1986 ใน[ 9 ]มี
กลายเป็นวิธีการเป็นอย่างมากมี ประสิทธิภาพ และได้รับความนิยมในการวัดพื้นผิว
ลักษณะ ภูมิประเทศ ของ ภาพยนตร์ บาง ประโยชน์ที่สำคัญเมื่อเทียบกับวิธีการลำแสง
อิเลคตรอน AFM ที่สามารถทำงานได้ใน สภาพแวดล้อม ที่มี อุณหภูมิ
อย่างเห็นได้ชัดเทคโนโลยี AFM มีการใช้ในการวัดค่า
ซึ่งจะช่วยให้ สภาพ ภูมิประเทศ ของพื้นผิว hyperfine ของ ภาพยนตร์ ที่แข็งแกร่ง
บางอย่างกว้างขวาง