For low deposition velocity less th

For low deposition velocity less than 5 nm/min

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สำหรับความเร็วสะสมต่ำน้อยกว่า 5 nm/min

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สำหรับความเร็วในการสะสมต่ำน้อยกว่า 5 นาโนเมตร / นาที

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สำหรับการสะสมต่ำความเร็วน้อยกว่า 5 นาโนเมตร / min