abstract Room temperature Al-doped

abstract
Room temperature Al-doped ZnO (AZO) thin films with improved crystalline and optical properties were grown on normal glass substrates using unbalanced RF magnetron sputtering technique. To modify the plasma density towards the substrate and enhance the crystalline nature, an additional magnetic field ranging from 0 to 6.0 mT has been applied to the AZO target by proper tuning of solenoid coil current from 0 to 0.2 A respectively, which plays a significant role for controlling the physical properties of AZO films. The results from XRD studies indicate that all AZO films were composed of hexagonal wurtzite structure with better crystal quality through the applied magnetic field, ZnO (002) plane as a preferred growth. Furthermore, XPS studies suggested that symmetric chemical shifts in the binding energies for the Zn 2p and O1s levels with applied magnetic field. SEM analysis revealed the formation of a smooth, homogeneous and dense morphological surface with applied magnetic field. From AFM analysis, it was observed that the applied magnetic field strongly influenced the grain size and the films showed decreasing tendency in electrical resistivity. Films exhibited superior optical transmittance more than 94% in the visible region essentially due to the formation of better crystalline nature. The results indicate that improved band gap from 3.10 to 3.15 eV with additional magnetic field varied from 0 to 6.0 mT respectively

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

บทคัดย่อ อุณหภูมิห้องฟิล์มบาง ZnO ที่เจืออัล (AZO) มีคุณสมบัติดีขึ้นผลึก และออปติคอลที่ปลูกบนพื้นผิวแก้วปกติใช้ผลิตกล่องจากกระดาษ RF ไม่สมดุลเทคนิคสปัตเตอร์ เพื่อปรับเปลี่ยนความหนาแน่นของพลาสมาไปยังพื้นผิว และเพิ่มลักษณะผลึก สนามแม่เหล็กเพิ่มเติมตั้งแต่ 0 ถึง 6.0 mT มีการใช้กับเป้าหมายโดยการปรับค่าของขดลวดโซลินอยด์ไฟฟ้าจาก 0 ไป 0.2 A ตามลำดับ AZO ซึ่งมีบทบาทสำคัญสำหรับการควบคุมคุณสมบัติทางกายภาพของฟิล์ม AZO ผลที่ได้จากการศึกษา XRD แสดงว่า ภาพยนตร์ทั้งหมด AZO ประกอบด้วยโครงสร้าง wurtzite หกเหลี่ยมด้วยคริสตัลคุณภาพดีผ่านการใช้สนามแม่เหล็ก ZnO (002) บินเป็นที่ต้องการเจริญเติบโต นอกจากนี้ การศึกษา XPS แนะนำกะเคมีที่สมมาตรในการรวมพลังงานสำหรับ Zn 2p และระดับ O1s กับสนามแม่เหล็ก การวิเคราะห์ SEM เผยการก่อตัวของพื้นผิวสัณฐานเรียบ และหนาแน่น เหมือนกับสนามแม่เหล็ก การวิเคราะห์ประสิทธิผล พบว่า สนามแม่เหล็กใช้อิทธิพลขนาดเม็ดและภาพยนตร์แนวโน้มลดลงแสดงให้เห็นในความต้านทานไฟฟ้า ภาพยนตร์แสดงสัมประสิทธิ์การส่งผ่านแสงเหนือกว่า 94% ในภูมิภาคเป็นหลักเนื่องจากการก่อตัวของดีกว่าผลึกธรรมชาติมองเห็น ผลลัพธ์แสดงที่ช่องว่างวงดีขึ้นจาก 3.10 3.15 eV กับสนามแม่เหล็กเพิ่มเติมแตกต่างจาก 0 กัน 6.0 mT ตามลำดับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

นามธรรม
อุณหภูมิห้อง Al-เจือซิงค์ออกไซด์ (AZO) ฟิล์มบางที่มีผลึกที่ดีขึ้นและคุณสมบัติทางแสงที่ปลูกบนพื้นผิวกระจกธรรมดาใช้ไม่สมดุลย์ RF เทคนิคแมกสปัตเตอร์ เพื่อปรับเปลี่ยนความหนาแน่นของพลาสม่าที่มีต่อสารตั้งต้นและเพิ่มลักษณะผลึกสนามแม่เหล็กเพิ่มเติมตั้งแต่ 0-6.0 mT ได้รับนำไปใช้กับเป้าหมาย AZO โดยการปรับที่เหมาะสมของขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้าขดลวดปัจจุบัน 0-0.2 ตามลำดับซึ่งมีบทบาทสำคัญ สำหรับการควบคุมคุณสมบัติทางกายภาพของภาพยนตร์ AZO ผลจากการศึกษาแสดงให้เห็นว่า XRD ทุกภาพยนตร์ AZO ประกอบด้วยโครงสร้าง wurtzite หกเหลี่ยมที่มีคุณภาพที่ดีขึ้นผ่านคริสตัลใช้สนามแม่เหล็กที่ซิงค์ออกไซด์ (002) เครื่องบินเป็นที่ต้องการการเจริญเติบโต นอกจากนี้การศึกษา XPS ชี้ให้เห็นว่าการเปลี่ยนแปลงทางเคมีสมมาตรในพลังงานที่มีผลผูกพันสำหรับ Zn 2P และ O1s ระดับที่มีสนามแม่เหล็ก วิเคราะห์ SEM เปิดเผยการก่อตัวของเรียบเป็นเนื้อเดียวกันและมีความหนาแน่นพื้นผิวลักษณะทางสัณฐานวิทยาที่มีสนามแม่เหล็กที่ใช้ จากการวิเคราะห์ AFM มันก็ตั้งข้อสังเกตว่าการใช้สนามแม่เหล็กมีอิทธิพลขนาดของเมล็ดข้าวและภาพยนตร์แสดงให้เห็นแนวโน้มลดลงในความต้านทานไฟฟ้า ภาพยนตร์แสดงการส่งผ่านแสงมากขึ้นกว่ากว่า 94% ในพื้นที่ที่มองเห็นเป็นหลักเนื่องจากการสะสมของธรรมชาติผลึกที่ดีขึ้น ผลการวิจัยพบว่าการปรับปรุงช่องว่างวง 3.10-3.15 EV ได้ด้วยสนามแม่เหล็กเพิ่มเติมที่แตกต่างกัน 0-6.0 mT ตามลำดับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

บทคัดย่ออุณหภูมิห้องลด้วยเช่นกัน ( AZO ) ฟิล์มบางด้วยการปรับปรุงผลึกและสมบัติทางแสงเติบโตบนพื้นผิวกระจกธรรมดาที่ใช้แมกนีตรอนสปัตเตอร์ RF ไม่สมดุล ) การแก้ไขความหนาแน่นพลาสมากับพื้นผิวและเพิ่มลักษณะผลึก เพิ่มเติมในสนามแม่เหล็กตั้งแต่ 0 ถึง 6.0 ตันถูกใช้เพื่อเป้าหมายที่เหมาะสม : ปรับของขดลวดโซลินอยด์ ปัจจุบันจาก 0 0.2 A ตามลำดับ ซึ่งมีบทบาทสำคัญในการควบคุมคุณสมบัติทางกายภาพ : ภาพยนตร์ จากผล XRD การศึกษาบ่งชี้ว่า ภาพยนตร์อะโซทั้งหมดประกอบด้วยโครงสร้างหกเหลี่ยมดีกว่า wurtzite คริสตัลคุณภาพผ่านสนามแม่เหล็ก , ZnO ( 002 ) เครื่องบินที่เติบโตที่ต้องการ นอกจากนี้ , XPS การศึกษาชี้ให้เห็นว่าสมมาตรเคมีกะในพลังผูกพันสำหรับสังกะสีและระดับ 2p o1s ด้วยสนามแม่เหล็กที่ใช้ การวิเคราะห์ SEM พบการก่อตัวของเรียบเป็นเนื้อเดียวกันและลักษณะพื้นผิวหนาแน่นด้วยสนามแม่เหล็กที่ใช้ จากการวิเคราะห์ AFM พบว่าสนามแม่เหล็กขออิทธิพลขนาดเกรนและภาพยนตร์ที่แสดงแนวโน้มที่ลดลงในความต้านทานไฟฟ้า . ภาพยนตร์ ) การส่งผ่านแสงเหนือกว่า 94% ในพื้นที่ที่มองเห็นเป็นหลักเนื่องจากการก่อตัวของดีกว่าผลึกธรรมชาติ ผลการวิจัยพบว่า การปรับปรุงช่องว่างแถบจาก 3.10 ถึง 3.15 EV ด้วยสนามแม่เหล็กเพิ่มเติมหลากหลาย จาก 0 ถึง 6.0 ตันตามลำดับ