The substrate is placed onto a grap

The substrate is placed onto a graphite susceptor that is heated by either RF coupling via a coil surrounding the reactor, a resistance heater underneath the susceptor, or lamps placed underneath the susceptor.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

พื้นผิวที่วางอยู่บน susceptor ไฟท์ที่ RF แบบเชื่อมต่อผ่านขดรอบเครื่องปฏิกรณ์ เครื่องทำความร้อนความต้านทานภายใต้ susceptor หรือหลอดไฟวางใต้ susceptor ความร้อน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สารตั้งต้นที่จะถูกวางลงบน susceptor ไฟท์ที่ถูกให้ความร้อนโดยการมีเพศสัมพันธ์ RF ผ่านขดลวดรอบเครื่องปฏิกรณ์ที่ความต้านทานเครื่องทำความร้อนใต้ susceptor หรือโคมไฟที่วางอยู่ใต้ susceptor

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

พื้นผิวถูกวางลงบน susceptor แกรไฟต์ที่อุ่นด้วยการเชื่อมต่อผ่านทาง RF ขดรอบเครื่องปฏิกรณ์ ต้านทานความร้อนใต้ susceptor หรือโคมไฟที่วางอยู่ใต้ susceptor .