number of wafers from “dirty” opera

number of wafers from “dirty” operation that a tool can produce in succession until a cleaning operation must be performed (when operation i is not “dirty”, no cleaning is needed and γi =∞).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

จำนวนของเวเฟอร์จากการดำเนินงาน "สกปรก" ที่เครื่องมือสามารถผลิตต่อเนื่องจนกว่าการดำเนินการทำความสะอาดต้องดำเนินการ (เมื่อฉันว่าไม่สกปรก" ทำความสะอาดไม่จำเป็นต้อง และ γi =∞)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

จำนวนเวเฟอร์จากการดำเนินงาน "สกปรก" ว่าเครื่องมือสามารถผลิตอย่างต่อเนื่องจนกว่าการดำเนินการทำความสะอาดจะต้องดำเนินการ (เมื่อการดำเนินการที่ฉันไม่ได้เป็น "สกปรก" ไม่มีการทำความสะอาดเป็นสิ่งจำเป็นและγi = ∞)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

จำนวนรับจาก " สกปรก " ปฏิบัติการที่เป็นเครื่องมือที่สามารถผลิตอย่างต่อเนื่องจนถึงการทำความสะอาดจะต้องดำเนินการเมื่อการดำเนินงาน ไม่สกปรก " " ไม่ต้อง และทำความสะอาดγ = ∞ )