Position sensors with nanometer res

Position sensors with nanometer resolution are a key component of many precision imaging and fabrication machines.
Since the sensor characteristics can define the linearity, resolution and speed of the machine, the sensor performance is a foremost consideration. The first goal of this article is to define concise performance metrics and to provide exact and approximate expressions for error sources including non-linearity, drift and noise. The second goal is to review current position sensor technologies and to compare their performance. The sensors considered include: resistive, piezoelectric and piezoresistive strain sensors; capacitive sensors; electrothermal sensors; eddy current sensors; linear variable displacement transformers; interferometers; and linear encoders.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เซ็นเซอร์ตำแหน่งที่มีความละเอียดระดับนาโนเมตรเป็นองค์ประกอบที่สำคัญของการถ่ายภาพที่มีความแม่นยำมากและเครื่องจักรการผลิต
ตั้งแต่ลักษณะเซ็นเซอร์สามารถกำหนดความละเอียดเชิงเส้นและความเร็วของเครื่องประสิทธิภาพการทำงานเซ็นเซอร์คือการพิจารณาที่สำคัญที่สุดเป้าหมายแรกของบทความนี้คือการกำหนดตัวชี้วัดประสิทธิภาพการทำงานที่กระชับและเพื่อให้การแสดงออกที่แน่นอนและประมาณสำหรับแหล่งที่มาของข้อผิดพลาดรวมถึงการที่ไม่เป็นเชิงเส้นลอยและเสียง เป้าหมายที่สองคือการใช้เทคโนโลยีเซ็นเซอร์ตำแหน่งปัจจุบันและเพื่อเปรียบเทียบประสิทธิภาพการทำงานของพวกเขา เซ็นเซอร์รับการพิจารณารวมถึง: เซ็นเซอร์ความเครียดทาน, piezoelectric และ piezoresistive; เซ็นเซอร์ capacitive;เซ็นเซอร์ electrothermal; ไหลวนปัจจุบันเซ็นเซอร์เชิงเส้นหม้อแปลงกำจัดตัวแปร interferometers และเข้ารหัสแบบเส้นตรง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ตำแหน่งเซ็นเซอร์ความละเอียด nanometer เป็นส่วนประกอบสำคัญในความแม่นยำของภาพและการผลิตเครื่อง
เนื่องจากลักษณะเซ็นเซอร์สามารถแบบดอกไม้ ความละเอียด และความเร็วของเครื่อง ประสิทธิภาพการทำงานของเซ็นเซอร์เป็นปัจจัยสำคัญ เป้าหมายแรกของบทความนี้เป็น การกำหนดเครื่องมือวัดประสิทธิภาพกระชับ และให้แน่นอน และประมาณนิพจน์สำหรับแหล่งข้อผิดพลาดรวมทั้งไม่ใช่แบบดอกไม้ ดริฟท์ และเสียงรบกวน เป้าหมายที่สองคือ การทบทวนเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ตำแหน่งปัจจุบัน และ เพื่อเปรียบเทียบประสิทธิภาพของพวกเขา เซนเซอร์ถือว่า รวม: ทาน piezoelectric และ piezoresistive ต้องใช้เซน เซอร์ เซนเซอร์ควบคุม เซนเซอร์ electrothermal เอ็ดดี้เซ็นเซอร์ปัจจุบัน เชิงเส้นตัวแปรแทนหม้อแปลง interferometers และตัวเข้ารหัสเชิงเส้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เซนเซอร์ตำแหน่งพร้อมด้วยความละเอียดนาโนเมตรเป็นส่วนประกอบหลักของเครื่องได้อย่างแม่นยำการถ่าย ภาพ และแต่งจำนวนมาก
เนื่องจากลักษณะเซ็นเซอร์ที่สามารถกำหนดความเร็วและความละเอียดแนวนอน.ของเครื่องเซนเซอร์ที่มีการพิจารณามาก่อนที่เป้าหมายแรกของข้อนี้คือการกำหนดเกณฑ์วัด ประสิทธิภาพ และรัดกุมเพื่อจัดให้บริการบนมือถือที่แน่นอนและเวลาโดยประมาณสำหรับแหล่งที่มาเกิดข้อผิดพลาดรวมทั้งเสียงและไม่มีความต่อเนื่องเป็นแนวนอน, ประตูที่สองคือการดูเทคโนโลยีเซนเซอร์ตำแหน่งปัจจุบันและเพื่อทำการเปรียบเทียบ ประสิทธิภาพ ของพวกเขา เซ็นเซอร์ที่ได้รับการพิจารณาให้รวมถึงเซ็นเซอร์วัดความเมื่อยล้า piezoresistive ฮอร์นพีโซและเซ็นเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟโหลดความต้านทานเซนเซอร์ electrothermal เซ็นเซอร์ในปัจจุบัน - - Eddy หม้อแปลงเข้าแทนที่ปรับเปลี่ยนตามแนวยาว interferometers และเครื่องเข้ารหัสตามแนวยาว.