The vacuum web coater consisted of

The vacuum web coater consisted of a cylinder vacuum chamber,2.2mlong and 1.2 m in diameter,three extended
magnetron sputtering systems,an ion source with aclosed electron drift and a winding system.

Magnetronswith
cylindricalrotatingcathodes(1600mmlongand89mmin
diameter)wereusedforTiO2 and Agdeposition.Such
magnetronshaveahighefficiencyoftargetutilization(up
to 80%).FortheZnO:Gafilmdepositionaplanarmagne-
tron wasused,sincethefabricationofatubularceramic
cathode iseconomicallyinefficient.AplanarZnO:Ga2O3
(3.5 at%)targethasanareaof1600140mm2. Forthe
SiO2 layerdepositionthecylindricalmagnetronwithaTi
target wasreplacedwithaplanaronewithaSitarget.The
thicknessnon-uniformityinthedepositedcoatingovera
length of1200mmwas 72–5%. Thecoatingsweredepo-
sitedatroomtemperatureona100 μm-thickPETfilm
(TasmaLtd,Russia)andona100 μm-thickpolyethylene
(PE) film,traditionallyusedingreenhouses.Samplessized
400200mm2 wereusedtofindtheoptimalstructure
and investigatethelow-Ecoatingcharacteristics.Thelow-
E coatingsamplessizedupto1.240 m2 werefabricated
for full-scaletestingintransparentconstructionsofbuild-
ings andgreenhouses.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

Coater ดูดเว็บประกอบด้วยเครื่องสูบสุญญากาศ 2.2mlong และ 1.2 เมตรเส้นผ่านศูนย์กลาง สามขยายผลิตกล่องจากกระดาษสปัตเตอร์ระบบ เป็นแหล่งไอออนกับดริฟท์อิเล็กตรอน aclosed และระบบไขลานMagnetronswithcylindricalrotatingcathodes (1600mmlongand89mminเส้นผ่าศูนย์กลาง) wereusedforTiO2 และ Agdeposition.Suchmagnetronshaveahighefficiencyoftargetutilization (ค่าถึง 80%) FortheZnO:Gafilmdepositionaplanarmagne-ตรอน wasused, sincethefabricationofatubularceramicแคโทด iseconomicallyinefficient AplanarZnO:Ga2O3(3.5%) targethasanareaof1600 140 มม. 2 FortheSiO2 layerdepositionthecylindricalmagnetronwithaTiเป้าหมาย wasreplacedwithaplanaronewithaSitarget.Thethicknessnon-uniformityinthedepositedcoatingoveraความยาว of1200mmwas 72-5% Thecoatingsweredepo-μ m sitedatroomtemperatureona100-thickPETfilmAndona100 (TasmaLtd รัสเซีย) ไมครอน-thickpolyethyleneฟิล์ม (PE) traditionallyusedingreenhouses Samplessizedwereusedtofindtheoptimalstructure 200 มม. 2 400และ investigatethelow-Ecoatingcharacteristics.Thelow -E coatingsamplessizedupto1.2 40 m2 werefabricatedสำหรับเต็ม-scaletestingintransparentconstructionsofbuild -พูดคุยระหว่าง andgreenhouses

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

Coater เว็บสูญญากาศประกอบด้วยห้องสูบสูญญากาศ 2.2mlong และ 1.2 เมตรเส้นผ่าศูนย์กลางสามขยาย
ระบบแมกนีตรอนสปัตเตอร์เป็นแหล่งกำเนิดไอออนกับดริฟท์อิเล็กตรอน aclosed และระบบคดเคี้ยว. Magnetronswith cylindricalrotatingcathodes (1600mmlongand89mmin เส้นผ่าศูนย์กลาง) wereusedforTiO2 และ Agdeposition.Such magnetronshaveahighefficiencyoftargetutilization ( ขึ้นถึง 80%) FortheZnO:. Gafilmdepositionaplanarmagne- Tron wasused, sincethefabricationofatubularceramic แคโทด iseconomicallyinefficient.AplanarZnO: Ga2O3 ? (3.5% ที่) targethasanareaof1600 140mm2 วงSiO2 layerdepositionthecylindricalmagnetronwithaTi เป้าหมาย wasreplacedwithaplanaronewithaSitarget.The thicknessnon-uniformityinthedepositedcoatingovera ยาว of1200mmwas 72-5% Thecoatingsweredepo- sitedatroomtemperatureona100 ไมครอน-thickPETfilm (TasmaLtd, รัสเซีย) andona100 ไมครอน-thickpolyethylene (PE) ภาพยนตร์ traditionallyusedingreenhouses.Samplessized 400? 200mm2 wereusedtofindtheoptimalstructure และ investigatethelow-Ecoatingcharacteristics.Thelow- E coatingsamplessizedupto1.2 40 m2 werefabricated สำหรับเต็มรูปแบบ scaletestingintransparentconstructionsofbuild- Ings andgreenhouses

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ดูดเว็บได้อย่างประกอบด้วยกระบอกสูญญากาศ 2.2mlong และ 1.2 เมตร เส้นผ่าศูนย์กลาง 3 ขยายระบบสปัตเตอริงตรอน เป็นแหล่งกำเนิดไอออนกับ aclosed อิเล็กตรอนลอยและคดเคี้ยวระบบmagnetronswithcylindricalrotatingcathodes ( 1600mmlongand89mminเส้นผ่าศูนย์กลาง ) และ wereusedfortio2 agdeposition เช่นmagnetronshaveahighefficiencyoftargetutilization ( ขึ้นถึง 80% ) forthezno : gafilmdepositionaplanarmagne -ทรอน และ sincethefabricationofatubularceramic ,แคโทด iseconomicallyinefficient aplanarzno : ga2o3 .( 3.5 ที่ % ) targethasanareaof1600140mm2 . สำหรับlayerdepositionthecylindricalmagnetronwithati แร่ซิลิคอนไดออกไซด์wasreplacedwithaplanaronewithasitarget เป้าหมายthicknessnon uniformityinthedepositedcoatingoveraความยาว of1200mmwas 72 – 5% thecoatingsweredepo -sitedatroomtemperatureona100 μ m-thickpetfilm( tasmaltd , รัสเซีย ) andona100 μ m-thickpolyethylenetraditionallyusedingreenhouses.samplessized ( PE ) ภาพยนตร์400200mm2 wereusedtofindtheoptimalstructureinvestigatethelow-ecoatingcharacteristics.thelow - และcoatingsamplessizedupto1.240 m2 E werefabricatedสำหรับ scaletestingintransparentconstructionsofbuild - เต็มandgreenhouses ings .