FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ WAFEREqu

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μ WAFER
Equipped with polycapillary X-ray optics for measurements on very small components
Measurement spot approx. Ø 20 μm (0.8 mils) fwhm at Mo-Kα
Very high intensities and thus good precision even for thin coatings, measurement uncertainty < 1 nm possible
Programmable, motor-driven XY table with vacuum wafer chuck for silicon wafers up to Ø 300 mm (12 in)

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

Μ XDV ® FISCHERSCOPE ®เอ็กซ์เรย์แผ่นเวเฟอร์มี polycapillary แสงเอ็กซ์เรย์สำหรับวัดชิ้นส่วนขนาดเล็กมากวัดจุดประมาณØ 20 μm (0.8 กระชับ) fwhm ที่ Mo-Kαปลดปล่อยก๊าซสูงมาก และทำให้ความแม่นยำดีสำหรับเคลือบบาง วัดความไม่แน่นอนเวย์ < 1 nm ได้มอเตอร์ขับเคลื่อน โปรแกรมตาราง XY กับชักดูดแผ่นเวเฟอร์สำหรับรับซิลิคอนถึงØ 300 มม. (12 ใน)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

FISCHERSCOPE® X-RAY XDV®-μเวเฟอร์
พร้อมกับ polycapillary เลนส์ X-ray สำหรับการตรวจวัดในชิ้นส่วนขนาดเล็กมาก
ประมาณจุดวัด Ø 20 ไมครอน (0.8 มิล) ความ fwhm ที่ Mo-Kα
ความเข้มสูงมากและความแม่นยำที่ดีดังนั้นแม้สำหรับเคลือบบางความไม่แน่นอนการวัด <1 นาโนเมตรเป็นไปได้
โปรแกรมตาราง XY มอเตอร์ขับเคลื่อนด้วยหัวเวเฟอร์สูญญากาศสำหรับซิลิคอนเวเฟอร์ถึงØ 300 มม ( 12)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

fischerscope ®เอ็กซ์เรย์ xdv ® - μเวเฟอร์
พร้อม polycapillary รังสีเอกซ์สำหรับวัดบนเครื่องแก้ไขภาพกล้องขนาดเล็กมากส่วนประกอบ
การวัดจุดØμประมาณ 20 เมตร ( 0.8 สัด ) ที่ mo-k FWHM α
ความเข้มสูงมากจึงแม่นยำดีก็เคลือบบาง ความไม่แน่นอน < 1 nm เป็นไปได้
โปรแกรม , โต๊ะสูญญากาศชนิดมอเตอร์เวเฟอร์ ชัคซิลิกอนเวเฟอร์ได้ถึงØ 300 มม. ( 12 )