Rapid thermal processing (RTP) tech

Rapid thermal processing (RTP) technology with its limited
thermal budget and its compatibility to flexible single-wafer processing
is wildly used in semiconductor manufacturing. The problem
hindering application of the RTP is that it is hard to obtain
the temperature accuracy due to the nonlinearity of the RTP system

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เทคโนโลยีการประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) มีความจำกัดงบประมาณที่ความร้อนและความเข้ากันได้ของการประมวลผลของแผ่นเวเฟอร์เดียวยืดหยุ่นอาละวาดใช้ในการผลิตสารกึ่งตัวนำ ปัญหาแอพลิเคชันของ RTP ขัดขวางคือมันยากที่จะได้รับความแม่นยำของอุณหภูมิจาก nonlinearity ของ RTP

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การประมวลผลอย่างรวดเร็วร้อน (RTP) เทคโนโลยีที่มี จำกัดงบประมาณความร้อนและความเข้ากันได้กับการประมวลผลที่มีความยืดหยุ่นเวเฟอร์เดียวถูกนำมาใช้อย่างดุเดือดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ปัญหาอุปสรรคต่อการประยุกต์ใช้ RTP ก็คือว่ามันเป็นเรื่องยากที่จะได้รับความถูกต้องอุณหภูมิเนื่องจากไม่เป็นเชิงเส้นของระบบRTP

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

กระบวนการความร้อนอย่างรวดเร็ว ( RTP ) เทคโนโลยีจํากัดงบประมาณทางความร้อนและความเข้ากันได้กับการประมวลผลเวเฟอร์เดียวแบบยืดหยุ่นเป็นป่าใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ปัญหาขัดขวางการประยุกต์ใช้ RTP คือว่ามันเป็นเรื่องยากที่จะได้รับอุณหภูมิความแม่นยำเนื่องจากการค่าของระบบส่งสัญญาณ