Since the AlN deposition is uniform

Since the AlN deposition is uniform and conformal over the bottom electrode, the conformal deposition of top electrode was achieved too.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เนื่องจากสะสม AlN สม่ำเสมอ และ conformal มากกว่าไฟฟ้าด้านล่าง สะสม conformal ของอิเล็กโทรดด้านบนสำเร็จเกินไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เนื่องจากการสะสม ALN เป็นชุดและมาตราส่วนที่ผ่านขั้วไฟฟ้าด้านล่างสะสมมาตราส่วนของอิเล็กโทรดด้านบนก็ประสบความสำเร็จมากเกินไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตั้งแต่การเป็น ALN เครื่องแบบและ conformal มากกว่าขั้วด้านล่าง การเคลือบ conformal บนขั้วไฟฟ้าได้ด้วย