The SEM micrograph in Fig. 14 shows

The SEM micrograph in Fig. 14 shows one of these sensors
(110 m 110 m). Both designs have a linear response one of which (from the 110 m sensor) is shown in Fig. 15 for a
300-Å-thick device. As one dimension scales by a factor of a in
these sensors, the area and hence the capacitance reduces by a
factor of . Accordingly, the sensitivity (about 25 fF/%RH) of
these devices is much smaller than those presented before.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แสดง micrograph SEM ใน Fig. 14 เซนเซอร์เหล่านี้อย่างใดอย่างหนึ่ง(110 ม. 110 เมตร) ทั้งสองแบบมีการตอบสนองเชิงเส้นหนึ่ง (จากเซ็นเซอร์ 110 เมตร) ซึ่งแสดงอยู่ใน 15 Fig. สำหรับการอุปกรณ์ 300-Å-หนา เป็นมิติหนึ่งที่ปรับขนาดตามสัดส่วนของคำในเซนเซอร์เหล่านี้ บริเวณดังนั้น ค่าความจุลดโดยการตัวคูณของ ดังนั้น ความไว (ประมาณ 25 fF/%RH) ของอุปกรณ์เหล่านี้มีขนาดเล็กกว่าออกก่อน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

micrograph SEM ในรูป 14 แสดงให้เห็นว่าหนึ่งในเซ็นเซอร์เหล่านี้
(110 มม. 110) ทั้งการออกแบบที่มีการตอบสนองเชิงเส้นซึ่งหนึ่งในนั้น (จากเซ็นเซอร์ 110 ม.) จะแสดงในรูป 15
สำหรับอุปกรณ์300-A-หนา เป็นหนึ่งในมิติเครื่องชั่งน้ำหนักโดยปัจจัยหนึ่งในการเซ็นเซอร์เหล่านี้ในพื้นที่และด้วยเหตุนี้ความจุลดโดยมีปัจจัยมาจาก ดังนั้นความไวแสง (ประมาณ 25 FF /% RH) ของอุปกรณ์เหล่านี้มีขนาดเล็กกว่าผู้ที่นำเสนอก่อน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โดย SEM สามารถแสดงหนึ่งของเหล่านี้ใน 14 รูปเซ็นเซอร์
( 110 เมตร 110 m ) ทั้งสองแบบมีการตอบสนองเชิงเส้นหนึ่งซึ่ง ( จาก 110 เมตร เซ็นเซอร์ ) ที่แสดงในรูปที่ 15 สำหรับ
300 - อุปกรณ์หนากริพเพน - เป็นอีกมิติหนึ่งเกล็ด โดยปัจจัยใน
เซ็นเซอร์เหล่านี้ พื้นที่และด้วยเหตุนี้ความจุลดโดย
ปัจจัยของ ดังนั้นความไว ( ประมาณ 25 เปอร์เซ็นต์ของ FF /
)อุปกรณ์เหล่านี้มีขนาดเล็กกว่าผู้ที่เสนอก่อน