Materials and Methods Alumina squa

Materials and Methods
Alumina square substrates 5x5 mm were used for the preparation of KP sensing devices. On the top of the substrate, a gold thin film was deposited to assure the ground connection of the metal oxide layer deposited on gold. While on the bottom of the substrate a meander of platinum was deposited to act as a heater, necessary for reaching the desired temperature on the sensing material deposited on the top of the gold layer. Thin films of p-type CuO were deposited by RF magnetron sputtering starting from a ternary oxide 2” target (delafossiteCuAlO2) at room temperature (RT), in inert (Ar) atmosphere at 100W RF power prepared by sintering, while nanowires were grown by thermal oxidation of those grown thin films in tubular furnace at 300oC for 12 hours in O2 (80%) and Ar (20%) environment (SEM images: figure 2). Before sensing tests samples were kept at 300°C in ambient air for two weeks to induce controlled aging. The surface morphology of the thin film deposited on the alumina substrates were investigated with a fieldemission scanning electron microscope (FE-SEM, LEO 1525), operating in the secondary-electron imaging mode with a 10-KeV accelerating voltage. Raman analysis was carried out with a modular micro-Raman confocal system from Horiba equipped with single monochromator (ihr320mst3) and Peltier cooled CCD camera. He:Cd laser at 442 nm was used as excitation source, along with interference filters on laser lines and edge filters on the signal. Spectra were collected on the instrument operating with 1800 l/mm grating, and 100X objective. The samples were mounted on a motor controlled X-Y stage. The materials used for sensing tests analyzed mounted on electrical TO5 case. The variations in surface contact potential difference (CPD) i.e. ο߶were recorded by a standard Kelvin probe 2mm in diameter, oscillating very near to the sample surface and controlled by a standard zero-locking Kelvin control system in a 1L stainless steel closed chamber. Test Chamber was placed at 20oC. Synthetic air was passed through drechsel bottle held in thermostatic bath and then through condensation vessel in order to favor the condensation of saturated vapors and finally was mixed with dry air in appropriate composition to get desired relative humidity before mixing with target gas. A humidity sensor (Viasala, Finland, Model: HMI 36) was mounted inside the chamber to measure the humidity of the mixture of gases inside the chamber and to control humid and dry air mixing. Test gases with certified composition were supplied by SIAD spa. Italy. Dry synthetic air was used as a carried gas to those target gases mixed by MKS instrument mass flow controller Model: 647B. The total flow inside the sensing chamber was fixed at 300sccm. The sensor temperature controlled by applying fixed voltage to the heater of the sensor by Thurlbly-Thandar PL330DP power supplies, typically 5.5-6.75V. CPD was measured by Keithley 580. Samples were heated at desired operating temperature inside the chamber keeping the humid air flow constant for several hours for getting thermal stabilization. After exposing the target gas to the sensor for 1hour in each step, air flow was restored to estimate the time for recovery of the baseline.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วัสดุและวิธีการ อลูมินาเหลี่ยม 5 x 5 มม.ใช้สำหรับเตรียมของ KP ตรวจอุปกรณ์พื้นผิว บนพื้นผิว ฟิล์มบางทองถูกฝากเพื่อให้มั่นใจว่าการเชื่อมต่อพื้นของชั้นออกไซด์โลหะฝากทองคำ ในขณะที่ด้านล่างของพื้นผิวคดเคี้ยวของแพลทินัมได้ฝากเป็นอุ่น จำเป็นสำหรับการเข้าถึงอุณหภูมิต้องบนวัสดุ sensing ฝากบนชั้นทอง ฟิล์มบางของ CuO ชนิด p ฝากเงิน โดย magnetron RF พ่นตั้งแต่สามออกไซด์ 2" เป้าหมาย (delafossiteCuAlO2) ที่อุณหภูมิห้อง (RT), ในบรรยากาศที่ inert (Ar) ที่พลังงาน RF 100W ที่เตรียม โดยการเผา ขณะ nanowires ได้เติบโตขึ้น ด้วยความร้อนการเกิดออกซิเดชันของผู้ปลูกฟิล์มบางในเตาท่อที่ 300oC 12 ชั่วโมงใน O2 (80%) และ Ar (20%) สภาพแวดล้อม (ภาพ SEM : รูปที่ 2) ก่อนการตรวจทดสอบ ตัวอย่างที่ถูกเก็บไว้ที่ 300° C ในสองสัปดาห์เพื่อก่อให้เกิดริ้วรอยที่ควบคุมสภาวะอากาศ สัณฐานวิทยาที่พื้นผิวของฟิล์มบางที่ฝากบนอลูมินาได้ถูกตรวจสอบ ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนการสแกน fieldemission (FE-SEM กลึงลีโอ), ทำงานในโหมดถ่ายภาพสองอิเล็กตรอนกับแรงดันไฟฟ้าปัจจุบัน 10 KeV เทคนิคการวิเคราะห์ถูกดำเนินการ ด้วยระบบ confocal รามันไมโครโมดูลาร์จาก Horiba พร้อม monochromator เดียว (ihr320mst3) และ Peltier ระบายความร้อนด้วยกล้อง CCD เขา: ซีดีเลเซอร์ที่ 442 nm ใช้เป็นแหล่งในการกระตุ้น ตัวกรองสัญญาณรบกวนบนบรรทัดเลเซอร์และตัวกรองขอบบนสัญญาณ แรมสเป็คตราถูกเก็บรวบรวมในเครื่องมือการทำ grating 1800 l/mm และเป้าหมาย X 100 ตัวอย่างถูกติดตั้งบนเวที X-Y ควบคุมมอเตอร์ วัสดุที่ใช้สำหรับการตรวจวิเคราะห์ทดสอบติดตั้งในกรณี TO5 ไฟฟ้า ความแตกต่างในพื้นผิวติดต่อบันทึกความต่างศักย์ (CPD) เช่นο߶ โดยมาตรฐานเคลวินโพรบ 2 มม.เส้นผ่านศูนย์กลาง ขาใกล้พื้นผิวอย่างมาก และควบคุม โดยมาตรฐานล็อกศูนย์เคลวินควบคุมระบบในการ 1 L สแตนเลสปิดหอการค้า ห้องทดสอบถูกวางที่ 20oC เครื่องสังเคราะห์ส่ง ผ่านขวด drechsel ขึ้นใน thermostatic และ ผ่านหลอดควบแน่นเพื่อชอบควบแน่นของไอระเหยที่อิ่มตัว และสุดท้าย ถูกผสมกับอากาศแห้งในองค์ประกอบที่เหมาะสมจะได้รับความชื้นสัมพัทธ์ต้องนำมาผสมกับก๊าซเป้าหมาย เซนเซอร์ความชื้น (Viasala ฟินแลนด์ รุ่น: HMI 36) ถูกติดตั้งอยู่ภายในห้องวัดความชื้นของส่วนผสมของก๊าซภายในหอการค้า และ การควบคุมอากาศชื้น และแห้งผสมกัน SIAD สปาได้จัดการทดสอบก๊าซ มีส่วนประกอบที่ได้รับการรับรอง อิตาลี อากาศแห้งสังเคราะห์ใช้เป็นก๊าซที่จำหน่ายให้เป้าหมายก๊าซผสม โดยการควบคุมกระแสโดยรวมเครื่อง MKS รุ่น: 647B กระแสรวมภายในห้อง sensing ไม่คงที่ 300sccm ถูกควบคุม โดยใช้แรงดันไฟฟ้าคงที่ฮีตเตอร์ของการเซ็นเซอร์โดย PL330DP Thurlbly Thandar พาวเวอร์ซัพพลาย 5.5 โดยทั่วไปอุณหภูมิเซนเซอร์-6.75V CPD ถูกวัด โดย Keithley 580 ตัวอย่างถูกความร้อนที่อุณหภูมิต้องปฏิบัติภายในหอที่ทำให้กระแสอากาศชื้นคงหลายชั่วโมงการเสถียรภาพความร้อน หลังจากเปิดเผยก๊าซเป้าหมายถึงเซ็นเซอร์ 1 ชั่วโมงในแต่ละขั้นตอน กระแสอากาศถูกเรียกคืนการประมาณเวลาสำหรับการฟื้นตัวของพื้นฐาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

วัสดุและวิธีการอลูมิตารางพื้นผิว 5x5 มมถูกนำมาใช้ในการจัดทำอุปกรณ์ตรวจจับ KP
ด้านบนของพื้นผิวที่เป็นฟิล์มบางทองมาฝากเพื่อให้มั่นใจว่าการเชื่อมต่อพื้นของชั้นโลหะออกไซด์ที่ฝากทอง ในขณะที่ด้านล่างของพื้นผิวที่คดเคี้ยวของทองคำถูกวางให้ทำหน้าที่เป็นเครื่องทำความร้อนที่จำเป็นสำหรับการเข้าถึงอุณหภูมิที่ต้องการตรวจจับบนวัสดุที่ฝากบนชั้นทอง ฟิล์มบางของออกไซด์ชนิดพีถูกฝาก RF สปัตเตอร์แมกเริ่มต้นจาก ternary ออกไซด์ 2 "เป้าหมาย (delafossiteCuAlO2) ที่อุณหภูมิห้อง (RT) ในเฉื่อย (AR) บรรยากาศที่กำลังไฟ 100W RF จัดทำขึ้นโดยการเผาในขณะที่ nanowires ปลูกโดย การเกิดออกซิเดชันความร้อนของผู้ปลูกฟิล์มบางในเตาท่อที่ 300oC เป็นเวลา 12 ชั่วโมงใน O2 (80%) และเท่น (20%) สภาพแวดล้อม (ภาพ SEM: รูปที่ 2) ก่อนที่จะตรวจจับการทดสอบตัวอย่างถูกเก็บไว้ที่ 300 องศาเซลเซียสในอากาศแวดล้อมเป็นเวลาสองสัปดาห์ที่จะทำให้เกิดริ้วรอยควบคุม สัณฐานพื้นผิวของฟิล์มบาง ๆ วางลงบนพื้นผิวอลูมิเนียมถูกตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด fieldemission (FE-SEM, ลีโอ 1525) การดำเนินงานในรองอิเล็กตรอนโหมดการถ่ายภาพที่มี 10 Kev เร่งแรงดันไฟฟ้า การวิเคราะห์รามันได้ดำเนินการด้วยระบบไมโคร confocal รามันแบบแยกส่วนจาก Horiba พร้อมกับ monochromator เดียว (ihr320mst3) และ Peltier ระบายความร้อนด้วยกล้อง CCD พระองค์ Cd เลเซอร์ที่ 442 นาโนเมตรถูกใช้เป็นแหล่งกระตุ้นพร้อมกับตัวกรองสัญญาณรบกวนบนเส้นเลเซอร์และตัวกรองขอบสัญญาณ Spectra ถูกรวบรวมไว้ในตราสารที่มีการดำเนินงาน 1,800 ลิตร / มมตะแกรงและวัตถุประสงค์ 100X กลุ่มตัวอย่างที่ได้รับการติดตั้งอยู่บนมอเตอร์ควบคุมขั้นตอน XY วัสดุที่ใช้สำหรับการทดสอบการตรวจจับวิเคราะห์กรณีที่ติดตั้งอยู่บน TO5 ไฟฟ้า รูปแบบในผิวสัมผัสแตกต่างที่อาจเกิดขึ้น (CPD) คือο߶? ถูกบันทึกโดยการสอบสวนเคลวินมาตรฐาน 2mm เส้นผ่าศูนย์กลางสั่นใกล้กับพื้นผิวของตัวอย่างและควบคุมโดยมาตรฐานศูนย์ล็อคระบบการควบคุมเคลวินในสแตนเลส 1 ลิตรปิดห้อง . ทดสอบหอการค้าวางอยู่ที่ -20 อากาศสังเคราะห์ก็ผ่านไปผ่านขวด Drechsel จัดขึ้นในห้องอาบน้ำอุณหภูมิแล้วผ่านการรวมตัวเรือเพื่อที่จะสนับสนุนการรวมตัวของไอระเหยอิ่มตัวและในที่สุดก็ถูกผสมกับอากาศแห้งในองค์ประกอบที่เหมาะสมที่จะได้รับที่ต้องการความชื้นสัมพัทธ์ก่อนที่จะผสมกับก๊าซเป้าหมาย เซ็นเซอร์ความชื้น (Viasala, ฟินแลนด์รุ่น HMI 36) ได้รับการติดตั้งภายในห้องเพื่อวัดความชื้นส่วนผสมของก๊าซภายในห้องและการควบคุมการผสมอากาศชื้นและแห้ง ก๊าซทดสอบที่มีส่วนประกอบได้รับการรับรองถูกจัดทำโดยสปา SIAD อิตาลี. อากาศแห้งสังเคราะห์ที่ใช้เป็นก๊าซดำเนินก๊าซเป้าหมายเหล่านั้นผสมโดย MKS เครื่องมือควบคุมการไหลของมวลแบบ: 647B การไหลรวมภายในห้องตรวจจับคงที่ 300sccm อุณหภูมิเซ็นเซอร์ควบคุมโดยการใช้แรงดันไฟฟ้าที่กำหนดไว้ที่เครื่องทำน้ำอุ่นของเซ็นเซอร์โดย Thurlbly-Thandar PL330DP อุปกรณ์ไฟฟ้าโดยทั่วไป 5.5-6.75V CPD โดยวัดจาก Keithley 580 ตัวอย่างถูกความร้อนที่อุณหภูมิในการทำงานที่ต้องการภายในห้องทำให้การไหลของอากาศชื้นอย่างต่อเนื่องเป็นเวลาหลายชั่วโมงในการรับการรักษาเสถียรภาพทางความร้อน หลังจากการเปิดเผยก๊าซเป้าหมายเซ็นเซอร์สำหรับ 1 ชั่วโมงในแต่ละขั้นตอนการไหลของอากาศได้รับการบูรณะในการประเมินเวลาในการฟื้นตัวของพื้นฐาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

วัสดุและวิธีการตาราง 5x5 มม.
มินาพื้นผิวที่ใช้สำหรับการเตรียมการของอุปกรณ์ตรวจวัด KP . บนพื้นผิว , ฟิล์มบางของทองฝากให้การเชื่อมต่อพื้นดินของออกไซด์ของโลหะ ชั้น เงินทอง ในขณะที่ด้านล่างของพื้นผิวคดเคี้ยวของแพลทินัมฝากมาเป็นอุ่นที่จำเป็นสำหรับการเข้าถึงอุณหภูมิที่ต้องการในการตรวจจับวัตถุที่ฝากไว้บนทองชั้น ฟิล์มบางของพี 2 ( ฝากเงินโดย RF ตรอนสปัตเตอริง เริ่มจากประกอบไปด้วยออกไซด์ 2 " เป้าหมาย ( delafossitecualo2 ) ที่อุณหภูมิห้อง ( RT ) , เฉื่อย ( AR ) บรรยากาศที่ 100W พลังงาน RF เตรียมเผา ,ในขณะที่นาโนที่เติบโตโดยการปลูกฟิล์มบางในความร้อนของท่อเตาที่ 300oc เป็นเวลา 12 ชั่วโมงใน O2 ( 80% ) และ AR ( 20% ) สิ่งแวดล้อม ( SEM ภาพ : รูปที่ 2 ) ก่อนการทดสอบตัวอย่างตรวจจับไว้ที่ 300 ° C ในบรรยากาศเป็นเวลาสองสัปดาห์ รวมทั้งควบคุมอายุลักษณะพื้นผิวของฟิล์มบาง ๆบนพื้นผิวอะลูมินาไว้ศึกษาด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ( fieldemission fe-sem ลีโอเดือน ) ใช้งานในโหมดภาพอิเล็กตรอนทุติยภูมิที่มี 10 เคฟเร่งแรงดันการวิเคราะห์ข้อมูลด้วยโมดูลรามัญรามัญด้วยระบบไมโครจาก horiba พร้อมกับเดี่ยวโมโนโครเมเตอร์ ( ihr320mst3 ) และ Peltier เย็น CCD ของกล้อง เขา : ซีดีเลเซอร์ที่ใช้เป็นแหล่งกระตุ้น 442 นาโนเมตรพร้อมกับตัวกรองสัญญาณรบกวนในเส้นขอบ เลเซอร์ และกรองสัญญาณ โดยครั้งนี้เครื่องมือที่ใช้กับ 1800 ลิตร / มม. ตะแกรงและ 100x วัตถุประสงค์ตัวอย่างที่ติดมอเตอร์ควบคุมเวที x-y . วัสดุที่ใช้สำหรับการติดตั้งในการทดสอบวิเคราะห์กรณีไฟฟ้า to5 . การเปลี่ยนแปลงในความต่างศักย์ผิวสัมผัส ( CPD ) เช่น ο߶  ที่ถูกบันทึกไว้โดยมาตรฐานเคลวินโพรบ 2 มิลลิเมตรในเส้นผ่าศูนย์กลางสั่นมากอยู่ใกล้กับพื้นผิวตัวอย่างและควบคุมโดยมาตรฐานศูนย์ควบคุมระบบล็อคเคลวินใน 1 ลิตร สแตนเลส ปิดห้อง ห้องทดสอบอยู่ที่ 20oc .เครื่องสังเคราะห์ผ่าน drechsel ขวดที่จัดขึ้นในนํ้า thermostatic และผ่านการควบแน่นภาชนะเพื่อให้ไอควบแน่นของไขมันอิ่มตัวและในที่สุดก็ผสมกับอากาศแห้งในองค์ประกอบที่เหมาะสมที่จะได้รับที่ต้องการความชื้นก่อนผสมกับก๊าซเป้าหมาย เป็นหัววัดความชื้น ( viasala , ฟินแลนด์ , โมเดลHMI 36 ) ที่ตั้งอยู่ภายในห้อง เพื่อวัดความชื้นของส่วนผสมของก๊าซภายในห้องและการควบคุมความชื้นและอากาศแห้งผสม แบบทดสอบที่มีองค์ประกอบเป็นก๊าซที่ได้รับมา โดยพูดว่า สปา อิตาลี อากาศแห้งใช้เป็นขนสังเคราะห์ก๊าซก๊าซเป้าหมายเหล่านั้นผสมโดย MKS เครื่องมือการไหลแบบ : 647b .รวมภาพการไหลภายในห้องที่ 300sccm . เซนเซอร์ควบคุมอุณหภูมิโดยการใช้แรงดันคงที่กับฮีตเตอร์ของเซ็นเซอร์ โดย thurlbly thandar pl330dp พาวเวอร์ซัพพลาย โดยทั่วไป 5.5-6.75v . CPD ถูกวัดโดยคีธลี่ 580 .