To overcome these problems, micro-t

To overcome these problems, micro-technological based catalytic
gas sensors were developed [4–6]. The reduction of the
size improves the response time. Additionally, the design allows
different operating modes, e.g. programs with quickly varying temperatures,
thus leading to a broader application potential with more
options to analyze gas characteristics, e.g. gas quality or composition
based on the analysis of the frequency response [7]. To improve
the sensitivity and the response time, catalytic gas sensors are normally
equipped with membranes and porous structures as catalytic
layer, which also reduce the operating temperature and thereby the
power consumption [6]. Porous structures with sufficiently large
surfaces have been achieved by the use of nanostructured platinum
thin film catalysts [8–11] or palladium thin films [12] as well as
thick films of nanoparticles supported on aluminum oxide [13–16].
While these technologies lead to a decreasing operating temperature
in the range of 100 ◦C, the output signals are very small, in a
range of up to 15 mV/10,000 ppm hydrogen only.
However, membranes and porous structures can degrade the
stability notably because of inclusion of reaction products, agglomeration
and delamination of catalyst and electrical structures [6,17].
This results in a poor long-term stability [17,18]. First experiments
to increase the stability were conducted with platinum nanoparticles
as catalyst which are stabilized by a porous oxide support
coated on the sensor e.g. [18–20]. However, the spatial density of

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เพื่อเอาชนะปัญหาเหล่านี้ เทคโนโลยีไมโครใช้ตัวเร่งปฏิกิริยาเซ็นเซอร์วัดก๊าซถูกพัฒนา [4-6] การลดการขนาดปรับปรุงเวลาการตอบสนอง นอกจากนี้ การออกแบบให้แตกต่างกันใช้งานโหมด เช่นโปรแกรมอุณหภูมิแตกต่างกันได้อย่างรวดเร็วจึง นำไปสู่โอกาสการประยุกต์กว้างขึ้นด้วยตัวเลือกการวิเคราะห์ลักษณะก๊าซ ก๊าซคุณภาพหรือองค์ประกอบเช่นตามการวิเคราะห์ของการตอบสนองความถี่ [7] การปรับปรุงความไวแสงและเวลาตอบสนอง เซ็นเซอร์วัดก๊าซเร่งเป็นปกติเยื่อและโครงสร้างที่มีรูพรุนเป็นตัวเร่งปฏิกิริยาชั้น ซึ่งยัง ช่วยลดอุณหภูมิการทำงาน และผลการการใช้พลังงาน [6] โครงสร้างรูพรุนมีขนาดใหญ่เพียงพอได้รับความผิว โดยการใช้แพลทินัม nanostructuredบางสิ่งที่ส่งเสริมภาพยนตร์ [8-11] หรือพาลาเดียมฟิล์มบาง [12] เป็นฟิล์มหนาเก็บกักที่ได้รับการสนับสนุนบนอลูมิเนียมออกไซด์ [13-16]ในขณะที่เทคโนโลยีเหล่านี้นำไปสู่อุณหภูมิลดลงในช่วง 100 ◦C สัญญาณมีขนาดเล็กมาก ในการหลากหลายถึง 15 mV/10000 ppm ไฮโดรเจนเท่านั้นอย่างไรก็ตาม เยื่อและโครงสร้างที่มีรูพรุนสามารถลดการความมั่นคงโดยเฉพาะเนื่องจากการรวมผลิตภัณฑ์ปฏิกิริยา agglomerationและไม้บวมและเศษและโครงสร้างไฟฟ้า [6,17]ผลที่ได้ไม่นาน [17,18] การทดลองครั้งแรกเพื่อเพิ่มความเสถียรได้ดำเนินการกับเก็บกักแพลทินัมเป็นเศษที่เสถียร ด้วยออกไซด์พรุนสนับสนุนเคลือบบนเซนเซอร์เช่น [18-20] อย่างไรก็ตาม ความหนาแน่นเชิงพื้นที่ของ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ที่จะเอาชนะปัญหาเหล่านี้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาตามไมโครเทคโนโลยี
ก๊าซเซ็นเซอร์ได้รับการพัฒนา [4-6] การลดลงของ
ขนาดช่วยเพิ่มเวลาการตอบสนอง นอกจากนี้การออกแบบที่ช่วยให้
โหมดการทำงานที่แตกต่างกันเช่นโปรแกรมที่มีอุณหภูมิที่แตกต่างกันได้อย่างรวดเร็ว,
จึงนำไปสู่ศักยภาพในการประยุกต์ใช้ในวงกว้างที่มีมากขึ้น
ตัวเลือกในการวิเคราะห์ลักษณะก๊าซเช่นคุณภาพก๊าซหรือองค์ประกอบ
ตามการวิเคราะห์ของการตอบสนองความถี่ [7] เพื่อปรับปรุง
ความไวและเวลาตอบสนองเซ็นเซอร์ก๊าซเร่งปฏิกิริยาเป็นปกติ
พร้อมกับเยื่อและโครงสร้างที่มีรูพรุนเป็นตัวเร่งปฏิกิริยา
ชั้นซึ่งยังช่วยลดอุณหภูมิในการทำงานและจึง
การใช้พลังงาน [6] โครงสร้างรูพรุนที่มีขนาดใหญ่พอ
พื้นผิวที่ได้รับการประสบความสำเร็จจากการใช้อิเล็กทรอนิคส์ทองคำขาว
ตัวเร่งปฏิกิริยา Thin Film [8-11] หรือแพลเลเดียมฟิล์มบาง [12] เช่นเดียวกับ
ภาพยนตร์หนาของอนุภาคนาโนสนับสนุนบนอลูมิเนียมออกไซด์ [13-16].
ในขณะที่เทคโนโลยีเหล่านี้ นำไปสู่การลดลงของอุณหภูมิในการทำงาน
ในช่วงของ 100 ◦Cสัญญาณเอาท์พุทที่มีขนาดเล็กมากใน
ช่วงของขึ้นถึง 15 mV / ไฮโดรเจน 10,000 ppm เท่านั้น.
อย่างไรก็ตามเยื่อและโครงสร้างที่มีรูพรุนสามารถย่อยสลาย
เสถียรภาพสะดุดตาเพราะการรวมของ ผลิตภัณฑ์ปฏิกิริยาการรวมตัวกัน
และหลุดลอกของตัวเร่งปฏิกิริยาและโครงสร้างไฟฟ้า [6,17].
นี้ส่งผลในความมั่นคงในระยะยาวที่น่าสงสาร [17,18] ทดลองครั้งแรก
เพื่อเพิ่มความมั่นคงได้ดำเนินการกับอนุภาคนาโนลาตินั่ม
เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาซึ่งมีเสถียรภาพโดยการสนับสนุนที่มีรูพรุนออกไซด์
เคลือบบนเซ็นเซอร์เช่น [18-20] แต่ความหนาแน่นเชิงพื้นที่ของ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เพื่อเอาชนะปัญหาเหล่านี้ ไมโคร เทคโนโลยีที่ใช้ปฏิกิริยาก๊าซเซนเซอร์ได้พัฒนา [ 4 – 6 ) การลดลงของขนาดปรับปรุงเวลาตอบรับ นอกจากนี้ การออกแบบที่ช่วยให้โหมดการดําเนินงานแตกต่างกัน โปรแกรมเช่นอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว ,จึงนำไปสู่การประยุกต์ใช้ที่มีศักยภาพมากขึ้น เช่นตัวเลือกเพื่อวิเคราะห์ลักษณะก๊าซ เช่น ก๊าซธรรมชาติ หรือองค์ประกอบคุณภาพจากการวิเคราะห์ความถี่ของการตอบสนอง [ 7 ] เพื่อปรับปรุงความไวและเวลาตอบสนอง เซ็นเซอร์ไอเสียก๊าซตามปกติพร้อมกับเยื่อและโครงสร้างรูพรุนเป็นปฏิกิริยาชั้นซึ่งยังช่วยลดอุณหภูมิและผ่าตัดการใช้พลังงาน [ 6 ] โครงสร้างรูพรุนที่มีขนาดใหญ่เพียงพอพื้นผิวมีความโดยการใช้ nanostructured แพลทินัมฟิล์มบางของตัวเร่งปฏิกิริยา [ 8 – 11 ] หรือแพลเลเดียมภาพยนตร์ [ 12 ] รวมทั้งบางอนุภาคนาโนรองรับฟิล์มหนาอลูมิเนียมออกไซด์ [ 13 – 16 ]ในขณะที่เทคโนโลยีเหล่านี้นำไปสู่การลดอุณหภูมิสูงในช่วง 100 ◦ C output สัญญาณมีขนาดเล็กมาก , ในช่วงถึง 15 , 000 ppm MV / ไฮโดรเจนเท่านั้นอย่างไรก็ตาม เมมเบรนและโครงสร้างรูพรุนสามารถย่อยสลายเสถียรภาพโดยรวมของผลิตภัณฑ์เนื่องจากการปฏิกิริยาและ การแยกชั้นของตัวเร่งปฏิกิริยาและโครงสร้าง 6,17 [ ไฟฟ้า ]ผลนี้ใน [ เสถียรภาพระยะยาวไม่ดี 17,18 ] การทดลองแรกเพื่อเพิ่มความมั่นคงในการมีอนุภาคนาโน แพลตตินั่มเป็นตัวเร่งปฏิกิริยาซึ่งจะมีความเสถียรโดยการสนับสนุนออกไซด์ที่มีรูพรุนเคลือบบนเซ็นเซอร์เช่น [ 18 – 20 ] อย่างไรก็ตาม พื้นที่ ความหนาแน่นของ