The precursor gas was fed through a

The precursor gas was fed through a gas shower head built in the upper electrode

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ก๊าซสารตั้งต้นถูกป้อนผ่านหัวฝักบัวก๊าซในอิเล็กโทรดบน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ก๊าซสารตั้งต้นถูกป้อนผ่านหัวฝักบัวก๊าซที่สร้างขึ้นในขั้วไฟฟ้าบน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สารตั้งต้นก๊าซป้อนผ่านฝักบัว แก๊ส หัวที่สร้างขึ้นในขั้วบน