Several deposition techniques, such

Several deposition techniques, such as evaporation [4], sputter ing [5], metal organic chemical vapor deposition [3,6] and pulsed laser deposition [7], have been exploited to produce Bi-Te films with high thermoelectric properties.


In particular, a number of studies on Bi-Te thermoelectric thin films have employed sputtering as a deposition method, mainly because of its wide usage in microelectronic fabrication processes [5l.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เทคนิคการให้การของพยานหลายอย่างเช่นการระเหย [4], พ่นไอเอ็นจี [5] โลหะสะสมไออินทรีย์เคมี [3,6] และการสะสมเลเซอร์ชีพจร [7] ได้รับการใช้ประโยชน์ในการผลิตหนัง Bi-Te เทอร์โมที่มีคุณสมบัติสูง. ใน โดยเฉพาะอย่างยิ่งจากการศึกษาเกี่ยวกับ Bi-Te เทอร์โมภาพยนตร์บางสปัตเตอร์มีการจ้างงานเป็นวิธีการของพยานที่ส่วนใหญ่เป็นเพราะการใช้งานที่หลากหลายในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ [5l

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เทคนิคการเคลือบหลายประการ เช่น การระเหย [ 4 ] , [ 5 ] ละล่ำละลักไอเอ็นจี , โลหะอินทรีย์ไอสารเคมีสะสม [ 3 , 6 ] และพัลส์เลเซอร์สะสม [ 7 ] ได้รับการใช้ประโยชน์เพื่อผลิตฟิล์มที่มีคุณสมบัติของเทอร์โมบิเต้สูง


โดยเฉพาะจำนวนของการศึกษาเกี่ยวกับบีเทอร์ เทอร์โม ฟิล์มได้ว่าจ้าง ทำงานเป็นแบบวิธีเพราะส่วนใหญ่ของการใช้งานกว้างใน microelectronic การผลิตกระบวนการ [ 5 L .