where e0 and g0 are the dielectric

where e0 and g0 are the dielectric constant of the gap medium
and initial gap, respectively, V is the applied bias voltage
to the upper and lower substrates, and w is the flexural
deflection of the micro-beam. q is the density and A is the
cross-section area of the micro-beam. Where ~E is the effective
elasticity modulus and equal to E for narrow beams
(b < 5 h), and equal to E/(1  m2) for wide beams (bP5 h),
I is the moment of inertia of the beam cross section. f is the
stretching force and is created when a fixed–fixed beam is
in bending, given by f ¼ ~EA
2L R L
0
@w
@x2dx. Because of the nonlinearity
of the governing equation, the SSLM [15] is used to
solve the nonlinear static equation.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

e0 และ g0 คง dielectric ของกลางช่องว่างและช่อง ว่างที่เริ่มต้น ตามลำดับ V คือ แรงดันที่ตั้งใช้บน และล่างพื้นผิว และ w เป็นที่ flexuraldeflection ของไมโครคาน q คือ ความหนาแน่น และเป็นพื้นที่ระหว่างส่วนของไมโครคาน ที่ ~ เป็นมีประสิทธิภาพโมดูลัสความยืดหยุ่นและมีค่าเท่ากับ E สำหรับคานแคบ(b < 5 h), และเท่ากับ E /(1 m2) สำหรับความกว้างคาน (bP5 h),ฉันมีแรงเฉื่อยของช่วงของคานข้ามส่วนการ f คือการแรงยืด และเมื่อแสงคง – คงเป็นในการดัด กำหนด f ¼ ~ เอ2L R L0@w@x 2dx เพราะ nonlinearity ในของสมการควบคุม SSLM [15] ถูกใช้ในการแก้สมการแบบไม่เชิงเส้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ที่ e0 และ g0 เป็นอิเล็กทริกคงที่ของกลางช่องว่าง
และช่องว่างเริ่มต้นตามลำดับ V คือแรงดันไบอัสนำไปใช้
กับพื้นผิวบนและล่างและน้ำหนักเป็นดัด
โก่งของไมโครคาน คิวคือความหนาแน่นและเป็น
พื้นที่หน้าตัดของไมโครคาน ที่ไหน ~ E มีประสิทธิภาพ
โมดูลัสความยืดหยุ่นและความเท่าเทียมกันทาง E คานแคบ
(ข <5 ชั่วโมง) และเท่ากับ E / (1 ​​m2) สำหรับคานกว้าง (bP5 เอช)
ผมเป็นโมเมนต์ความเฉื่อยของการข้ามคาน ส่วน ฉเป็น
แรงยืดและถูกสร้างขึ้นเมื่อลำแสงคงที่คงที่คือ
ในดัดที่กำหนดโดยฉ¼ ~ EA
2L RL
0
@w
? @x? 2dx เพราะความไม่เป็นเชิงเส้น
ของสมปกครอง SSLM [15] จะใช้ในการ
แก้สมการเชิงเส้นแบบคงที่

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

และเป็นฉนวนที่ E0 G0 คงที่ของช่องว่างและช่องว่างกลาง
เริ่มต้นตามลำดับ , V คือความต่างศักย์
ไปใช้พื้นผิวส่วนบนและล่าง และ W คือการโก่งตัวของคานรับแรงดัด
ไมโคร Q มีความหนาแน่นและเป็น
ตัดพื้นที่คาน ไมโคร ที่ ~ E มีประสิทธิภาพ
โมดูลัสยืดหยุ่นเท่ากับ E สำหรับแคบคาน
( b < 5 H )เท่ากับ E / ( 1  m2 ) สำหรับคานกว้าง ( bp5 H )
ฉันมีโมเมนต์ความเฉื่อยของส่วนคานข้าม f
ยืดแรงและถูกสร้างขึ้นเมื่อซ่อม–แก้ไขแสง
ดัดให้โดย F ¼ ~ ea
2L R L
0
w
 @ @ x  2dx . เพราะค่า
ปกครองของสมการ , sslm [ 15 ] ใช้

แก้สมการคงที่แบบไม่เชิงเส้น