In general, Microelectromechanical systems (MEMS) based
temperature measuring, monitoring and control system
consists of plant/process, controller and MEMS sensor
(TMP06) as shown in Fig. 1.MEMS is one of the emerging
technology because of its advanced features like miniature
size, low cost, low power consumption, high level of accuracy,
quick response, signal conditioning, inbuilt ADC (Analog-to-
Digital converter), output compatibility with CMOS/TTL,
flexibility in interfacing with digital controllers.MEMS has
diverse applications which include digital micromirror device,
accelerometers, gyroscopes, miniature robots, medical
treatment and diagnosis, chemical, DNA analysis, micro
engines, inertial sensors, micro transmissions, micro actuators,
optical scanners, fluid pumps, pressure and flow sensors, etc
[4].
ในทั่วไป , ไมโครเทคโนโลยี ( MEMS ) ตาม
อุณหภูมิการวัด การตรวจสอบ และการควบคุมระบบ
ประกอบด้วยพืชกระบวนการ / ควบคุมและ MEMS SENSOR
( tmp06 ) ดังแสดงในรูปที่ 1.mems เป็นหนึ่งในเทคโนโลยีที่เกิดขึ้นใหม่
เพราะมีคุณลักษณะขั้นสูงเช่นขนาดเล็ก
ขนาดต่ำ , ต้นทุน , การใช้พลังงานต่ำ , สูง ความถูกต้อง
ปรับสัญญาณการตอบสนองอย่างรวดเร็วinbuilt ADC ( Analog -
ดิจิตอลแปลง ) ออกความเข้ากันได้กับ CMOS / TTL ,
ความยืดหยุ่นในการเชื่อมต่อกับดิจิตอล controllers.mems มีหลากหลายโปรแกรมประยุกต์ซึ่งรวมถึง micromirror
อุปกรณ์ดิจิตอล , accelerometers , gyroscopes ขนาดเล็ก , หุ่นยนต์ , การรักษาทางการแพทย์
และการวินิจฉัยโรค , เคมี , ตรวจดีเอ็นเอ , ไมโคร
เครื่องยนต์เฉื่อย , เซ็นเซอร์ขนาดเล็ก , การส่ง ไมโคร actuators
แสงสแกนเนอร์ปั๊มของเหลว , เซ็นเซอร์ความดันและการไหลฯลฯ
[ 4 ]
การแปล กรุณารอสักครู่..