target was pre-sputtered for 15 min

target was pre-sputtered for 15 min. in Ar atmosphere at a gas pressure
of 10 mTorr and a flow rate of 20 sccm.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เป้าหมายที่ถูก sputtered ล่วงหน้าสำหรับ 15 นาทีบรรยากาศ Ar ที่ความดันแก๊ส10 mTorr และอัตราการไหลของ 20 sccm

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เป้าหมายได้ก่อน sputtered นาน 15 นาที ในชั้นบรรยากาศเท่ที่ความดันก๊าซ
10 mTorr และอัตราการไหลของ 20 SCCM

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป้าหมายคือ pre sputtered เป็นเวลา 15 นาที ในบรรยากาศ AR ที่แรงดันแก๊ส
10 mtorr และอัตราการไหลของ 20 sccm .