dimensional metrology. In this pape

dimensional metrology.
In this paper, a tactile probing system
based on capacitive sensor for precision metrology is presented. The capacitive sensor is fabricated by
MEMS technique, and a commercial micro-probe and the capacitive sensor are integrated together to
constitute the initial probing system. The signal processing circuit is designed to be based on AD7747
chip which is substantially a high resolution, - capacitance-to-digital converter (CDC). Then the experiment
set-up is configured and experimental results indicate that when a 0.3 mm probing head is used,
the probing system has a resolution of better than 10 nm along axial direction and better than 25 nm
along radial direction. With the low residual nonlinear error, the proposed system can therefore be used
for submicron measurement of small structures with dimension larger than 0.3 mm and depth down
to 2.3 mm.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มาตรวิทยามิติ ในเอกสารนี้ ระบบ probing เพราะตามเซ็นเซอร์ควบคุมสำหรับแสดงมาตรวิทยาความแม่นยำ เซ็นเซอร์ควบคุมหลังสร้างโดยMEMS เทคนิค และแบบไมโครโพรบเชิงพาณิชย์ และเซ็นเซอร์ควบคุมรวมกันไปถือเป็นการเริ่มต้นระบบ probing วงจรประมวลผลสัญญาณถูกออกแบบมาตาม AD7747ชิพซึ่งเป็นความละเอียดสูง มาก-แปลงค่าความจุแบบดิจิตอล (CDC) จากนั้นทดลองตั้งค่าคอนฟิกการตั้งค่า และผลการทดลองบ่งชี้ว่า เมื่อใช้ mm 0.3 ที่อาศัยหัวระบบ probing มีของดีกว่า 10 nm ตามทิศทางตามแนวแกน และกว่า 25 nmตามทิศทางรัศมี ต่ำเหลือไม่เชิงเส้นข้อผิดพลาด การเสนอดังนั้นสามารถใช้ระบบสำหรับวัดระดับซับไมครอนโครงสร้างขนาดเล็กกับขนาดใหญ่กว่า 0.3 มม.และลึกลงการ 2.3 มม.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มาตรวิทยามิติ.
ในกระดาษนี้ระบบสัมผัสละเอียด
ขึ้นอยู่กับเซ็นเซอร์ capacitive สำหรับมาตรวิทยาแม่นยำจะนำเสนอ เซ็นเซอร์ capacitive ถูกประดิษฐ์โดย
เทคนิค MEMS และสอบสวนในเชิงพาณิชย์ขนาดเล็กและเซ็นเซอร์ capacitive มีการบูรณาการร่วมกันเพื่อ
เป็นระบบละเอียดเบื้องต้น วงจรประมวลผลสัญญาณได้รับการออกแบบให้เป็นไปตาม AD7747
ชิปซึ่งเป็นอย่างมากความละเอียดสูง? -? ความจุเป็นดิจิตอลแปลง (CDC) จากนั้นทดสอบ
การตั้งค่าการกำหนดค่าและผลการทดลองแสดงให้เห็นว่าเมื่อ 0.3 มมแหย่หัวจะใช้
ระบบการพิสูจน์มีความละเอียดดีกว่า 10 นาโนเมตรตามทิศทางตามแนวแกนและดีขึ้นกว่า 25 นาโนเมตร
ตามทิศทางรัศมี ด้วยข้อผิดพลาดเชิงเส้นต่ำที่เหลือระบบที่นำเสนอจึงสามารถนำมาใช้
สำหรับการวัด submicron ของโครงสร้างขนาดเล็กที่มีมิติที่มีขนาดใหญ่กว่า 0.3 มิลลิเมตรและความลึกลง
ไป 2.3 มิลลิเมตร

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มาตรวิทยามิติ
ในกระดาษนี้ สัมผัสละเอียดระบบเซ็นเซอร์ capacitive
ตามแม่นยํามาตรวิทยาคือแสดง เซ็นเซอร์ capacitive ถูกประดิษฐ์โดย
รวมทั้งเทคนิคและโพรบไมโครพาณิชย์และเซ็นเซอร์ capacitive จะรวมเข้าด้วยกันเป็นครั้งแรก

ละเอียดระบบ การประมวลผลสัญญาณวงจรถูกออกแบบมาเพื่อใช้เป็น ad7747
ชิปซึ่งเป็น อย่างมาก ความละเอียดสูง  -  ความจุดิจิตอลแปลง ( CDC ) แล้วการทดลอง
การถูกปรับและผลการทดลองพบว่า เมื่อแหย่หัว 0.3 มม. ใช้
การเจาะระบบมีความละเอียดที่ดีกว่า 10 nm ตามแนวแกนทิศทางกว่า 25 nm
ในแนวรัศมี กับต่ำที่เหลือแบบไร้ข้อผิดพลาดระบบนี้จึงสามารถใช้สำหรับการเปลี่ยนแปลงของโครงสร้างขนาดเล็ก
การวัดมิติขนาดใหญ่กว่า 0.3 มม. ความลึกลง
2.3 mm .