In Figure 5.12 the right hand diagr

In Figure 5.12 the right hand diagram shows the schematic for the counterflow
leak detector. The mass spectrometer, the high vacuum system and
also the auxiliary roughing pump system correspond exactly to the configuration
for the direct-flow arrangement. The feed of the gas to be examined
is however connected between the roughing pump and the turbomolecular
pump. Helium which reaches this branch point after the valve is opened will
cause an increase in the helium pressure in the turbomolecular pump and
in the mass spectrometer. The pumping speed Seff inserted in equation
5.4b is the pumping speed for the rotary vane pump at the branch point.
The partial helium pressure established there, reduced by the helium compression
factor for the turbomolecular pump, is measured at the mass spectrometer.
The speed of the turbomolecular pump in the counter-flow leak
detectors is regulated so that pump compression also remains constant.
Equation 5.5b is derived from equation 5.5a:

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในรูปที่ 5.12 แผนภาพทางขวามือแสดงให้เห็นวงจรสำหรับทวน
เครื่องตรวจจับการรั่วไหล สเปกโตรมิเตอร์มวลระบบสูญญากาศสูงและ
ยังมีระบบปั๊มหยาบเสริมว่าสอดคล้องกับการกำหนดค่า
สำหรับการจัดโดยตรงไหล ฟีดของก๊าซที่จะตรวจสอบ
การเชื่อมต่อ แต่ระหว่างปั๊มหยาบและ turbomolecular
ปั๊ม ฮีเลียมซึ่งถึงจุดสาขานี้หลังจากที่วาล์วเปิดจะ
ทำให้เกิดการเพิ่มความดันก๊าซฮีเลียมในปั๊ม turbomolecular และ
ในสเปกโตรมิเตอร์มวล ความเร็วในการสูบน้ำ Seff แทรกอยู่ในสมการ
5.4b คือความเร็วในการสูบน้ำปั๊มใบพัดหมุนที่จุดสาขา.
ความดันก๊าซฮีเลียมบางส่วนที่จัดตั้งขึ้นนั้นลดลงโดยการบีบอัดก๊าซฮีเลียม
ปัจจัยปั๊ม turbomolecular เป็นวัดที่สเปกโตรมิเตอร์มวล.
ความเร็ว ของปั๊ม turbomolecular ในการรั่วไหลของเคาน์เตอร์
ตรวจจับการควบคุมการบีบอัดเพื่อให้เครื่องสูบน้ำที่ยังคง.
สม 5.5b มาจากสมการ 5.5A:

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

รูปที่ 5.12 แผนภาพด้านขวามือแสดงแผนผังในกระแสลมทวน
รั่วเครื่องตรวจจับ สเปกโตรมิเตอร์มวล , ระบบสูญญากาศสูงและยังช่วยระบบปั๊ม
ลงไม้ลงมือกับตรงค่า
สำหรับการไหลโดยตรง การจัดวาง อาหารของก๊าซที่จะตรวจสอบ
แต่เชื่อมต่อระหว่างหยาบปั๊มและปั๊ม turbomolecular

ฮีเลียม ซึ่งถึงจุดนี้สาขาหลังวาล์วเปิดจะ
ก่อให้เกิดการเพิ่มขึ้นของก๊าซฮีเลี่ยมแรงดันในปั๊ม และ turbomolecular
ในแมสสเปกโตรมิเตอร์ ปั๊มความเร็วเซฟฟแทรกอยู่ในสมการ
4B เป็นปั๊มสูงสำหรับปั๊มโรตารี่เวนที่จุดสาขา .
ส่วนฮีเลียมความดันขึ้นนั้น ลดลงได้โดยการบีบอัด
ฮีเลียมส่วนปั๊ม turbomolecular วัดที่แมสสเปกโตรมิเตอร์ .
ความเร็วของปั๊ม turbomolecular ในเคาน์เตอร์ไหลรั่ว detectors มีระเบียบเพื่อให้อัด

ปั๊มยังคงคงที่ สมการ 5.5b ได้มาจากสมการ 5.5a :