Independent experimental results.—C

Independent experimental results.—Case 1.—Sun et al. published
the experimental results of the removal rate of dielectrics as a
function of the platen rotation speed.16,17 These are redrawn in Fig.
8. The material removal rate increases with the increasing velocity
by the power between 0.44 and 0.56 for different dielectric thin
films. These results exactly fall into the prediction in the current
model of removal rate.
Case 2.—Tseng and Wang proposed a model to predict the removal
rate increasing with the velocity by the power of 0.5 on thermal
dioxide film.8,18 Their experimental results are redrawn in Fig. 9.
One notices that the polishing speed is in fact proportional to the
carrier speed.19 The power law of the velocity lies between 0.42 and
0.54, mostly 0.50. These experimental results agree well with the
current model.
Case 3.—Evans et al. published the experimental results of the removal
rate of dielectrics as a function of the table speed in 1998.20
It is redrawn in Fig. 10. One also notices that the polishing speed is
proportional to the table speed. The oxide removal rate increases
with increasing velocity by the power of 0.52 and 0.55 for ceria
slurry and interlevel dielectric ~ILD! 1300 slurry, respectively. These
results follow the prediction in the current study

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

อิสระผลการทดลอง — กรณี 1. — Sun et al.เผยแพร่ผลการทดลองอัตราการกำจัด dielectrics เป็นการฟังก์ชันของ speed.16,17 หมุนแท่นวางที่เหล่านี้ถูกวาดรูป8. อัตราการกำจัดวัสดุที่เพิ่มขึ้นกับความเร็วที่เพิ่มขึ้นโดยอำนาจระหว่าง 0.44 และ 0.56 สำหรับเป็นฉนวนแตกบางภาพยนตร์ ผลลัพธ์เหล่านี้ว่าตกอยู่ในการคาดการณ์ในปัจจุบันรูปแบบของอัตราการกำจัดกรณีที่ 2. – นำเสนอแบบจำลองการคาดการณ์การกำจัดหยานีและวังอัตราการเพิ่มความเร็ว โดยอำนาจของ 0.5 ในความร้อนไดออกไซด์ film.8,18 ที่ผลการทดลองของพวกเขาถูกวาดรูป 9หนึ่งประกาศว่า ในความเป็นจริงสัดส่วนกับความเร็วในการขัดตัวกฎหมายพลังงานความเร็วอยู่ระหว่าง 0.42 speed.19 ผู้ให้บริการ และ0.54, 0.50 ส่วนใหญ่ ผลการทดลองเหล่านี้ยอมรับด้วยการรุ่นปัจจุบันกรณีที่ 3. — วานส์ et al.เผยแพร่ผลการทดลองของการกำจัดอัตรา dielectrics เป็นฟังก์ชันของความเร็วตาราง 1998.20มันมีวาดรูป 10 หนึ่งยังประกาศว่า ความเร็วในการขัดสัดส่วนกับความเร็วตาราง เพิ่มอัตราการกำจัดออกไซด์ด้วยความเร็วที่เพิ่มขึ้นโดยพลังของ 0.52 และ 0.55 สำหรับ ceriaเป็นฉนวนและกึ่ง interlevel ~ ILD สารละลาย 1300 ตามลำดับ เหล่านี้ผลลัพธ์ตามการคาดการณ์ในการศึกษาปัจจุบัน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

อิสระทดลอง results. -Case 1 อาทิตย์, et al ตีพิมพ์
ผลการทดลองของอัตราการกำจัดของ dielectrics เป็น
ฟังก์ชั่นของการหมุนแผ่น speed.16,17 เหล่านี้จะถูกวาดในรูป.
8 การเพิ่มขึ้นของอัตราการกำจัดวัสดุที่มีความเร็วเพิ่มขึ้น
โดยอำนาจระหว่าง 0.44 และ 0.56 สำหรับบางแตกต่างกันอิเล็กทริก
ภาพยนตร์ ผลลัพธ์เหล่านี้ว่าตกอยู่ในการคาดการณ์ในปัจจุบัน
รูปแบบของอัตราการกำจัด.
กรณี 2. Tseng และวังนำเสนอรูปแบบที่จะคาดการณ์การกำจัดเป็น
อัตราการเพิ่มขึ้นด้วยความเร็วโดยอำนาจของ 0.5 ในการระบายความร้อน
ก๊าซ film.8,18 ผลการทดลองของพวกเขา จะวาดในรูป 9.
ใครสังเกตเห็นว่าความเร็วขัดในความเป็นจริงตามสัดส่วน
ผู้ให้บริการ speed.19 กฎหมายอำนาจของความเร็วอยู่ระหว่าง 0.42 และ
0.54 ส่วนใหญ่ 0.50 ผลการทดลองเหล่านี้ตกลงกันได้ดีกับ
รุ่นปัจจุบัน.
กรณี 3. อีแวนส์, et al ตีพิมพ์ผลการทดลองการกำจัด
อัตรา dielectrics เป็นหน้าที่ของความเร็วตารางใน 1,998.20
มันถูกวาดขึ้นมาใหม่ในรูป 10. หนึ่งยังสังเกตเห็นว่าความเร็วในการขัดผิวเป็น
สัดส่วนกับความเร็วของตาราง ออกไซด์เพิ่มขึ้นของอัตราการกำจัด
ด้วยการเพิ่มความเร็วโดยอำนาจของ 0.52 และ 0.55 สำหรับ Ceria
สารละลายอิเล็กทริกและ interlevel ~ ILD! 1300 สารละลายตามลำดับ เหล่านี้
ผลการปฏิบัติตามการคาดการณ์ในการศึกษาในปัจจุบัน