An efficient wire-to-plate single-s

An efficient wire-to-plate single-stage wet electrostatic precipitator (WESP) was designed and tested to control nanoparticles, submicron and micron-sized particles emitted from semiconductor manufacturing processes. Tungsten-wires of 0.36 mm in diameter were used as discharge electrodes and a fixed voltage of −15 kV was supplied to generate the electric field and corona ions. Fine water mist at room temperature was used to quench the high temperature exhaust gas to enhance particle condensation growth and improve the collection efficiency of nanoparticles. Experimental results showed that without fine water mist, nanoparticle collection efficiency was 67.9–92.9%, which was greatly enhanced to 99.2–99.7% when the WESP was operated with fine water mist. A predictive method was developed to calculate the particle collection efficiency equation η(%) in the form as η(%) = [1 − exp(−α(NDe)β + γ)] × 100%, in which α, β and γ are regression coefficients and NDe is the Deutsch number. Good agreement was obtained between present predictions and experimental data. For longer term operation, the periodic wall-cleaning water was used to clean discharge electrodes and collection electrodes regularly. In the field tests, the total collection efficiencies (40 ⩽ dp ⩽ 8100 nm) of the WESP were found to maintain greater than 98.7% and 97.3% for continuous operation for 35 and 22 day at fab A and fab B, respectively.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การมีประสิทธิภาพลวดแผ่นระยะเดียวเปียกสถิต precipitator (WESP) ถูกออกแบบ และทดสอบการควบคุมเก็บกัก ระดับซับไมครอน และอนุภาคขนาดไมครอนออกจากกระบวนการผลิตสารกึ่งตัวนำ ใช้เป็นหุงตจำหน่ายทังสเตนลวด 0.36 มม.เส้นผ่านศูนย์กลาง และแรงดันคงที่ของ −15 kV ที่ให้มาเพื่อสร้างสนามไฟฟ้าและประจุโคโรน่า หมอกน้ำปรับอุณหภูมิห้องที่ใช้ดับแก๊สไอเสียอุณหภูมิสูงเพิ่มอนุภาคมีหยดน้ำเกาะเจริญเติบโต และการปรับปรุงประสิทธิภาพการเก็บของเก็บกัก ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่า ไม่ดีน้ำหมอก ประสิทธิภาพชุด nanoparticle 67.9 – 92.9% ซึ่งถูกเพิ่ม 99.2-99.7% เมื่อ WESP ถูกดำเนินการ ด้วยหมอกน้ำดี วิธีการคาดการณ์ถูกพัฒนาขึ้นเพื่อคำนวณสมการประสิทธิภาพการเก็บอนุภาคη(%)ในแบบฟอร์มเป็นη(%) = [1 − exp (−α (NDe) β + γ)] × 100% ในที่α βและγมีสัมประสิทธิ์ถดถอย และ NDe เป็นเลขภาษา ข้อตกลงที่ดีได้รับระหว่างการคาดการณ์ปัจจุบันและข้อมูลทดลอง สำหรับการดำเนินงานระยะยาว เป็นครั้งคราวทำความสะอาดผนังน้ำถูกใช้สะอาดหุงตจำหน่ายและหุงตคอลเลกชันอย่างสม่ำเสมอ ในการทดสอบฟิลด์ ประสิทธิภาพชุดรวม (40 ⩽ dp ⩽ 8100 nm) ของ WESP ที่พบในการรักษามากกว่า 98.7% และ 97.3% สำหรับ 35 และ 22 วันที่คิงเบด A และ B คิงเบด ดำเนินอย่างต่อเนื่องตามลำดับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ที่มีประสิทธิภาพลวดเพื่อแผ่นเวทีเดียวตกตะกอนไฟฟ้าสถิตเปียก (WESP) ได้รับการออกแบบและทดสอบเพื่ออนุภาคนาโนควบคุม Submicron และอนุภาคขนาดไมครอนปล่อยออกมาจากกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทังสเตนสายของ 0.36 มมถูกนำมาใช้เป็นขั้วไฟฟ้าไหลและแรงดันคงที่ -15 กิโลโวลต์ได้รับการจ่ายให้กับการสร้างสนามไฟฟ้าและไอออนโคโรนา ละอองน้ำที่ดีที่อุณหภูมิห้องถูกใช้ในการดับก๊าซไอเสียอุณหภูมิสูงเพื่อเพิ่มการเจริญเติบโตของการรวมตัวของอนุภาคและปรับปรุงประสิทธิภาพการสะสมของอนุภาคนาโน ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่าไม่มีละอองน้ำที่ดีในการใช้ประสิทธิภาพของอนุภาคนาโนคอลเลกชันเป็น 67.9-92.9% ซึ่งได้รับการเพิ่มขึ้นอย่างมากในการ 99.2-99.7% เมื่อ WESP ได้รับการดำเนินการกับละอองน้ำที่ดี วิธีการทำนายได้รับการพัฒนาในการคำนวณประสิทธิภาพการจัดเก็บอนุภาคสมη (%) ในรูปแบบที่เป็นη (%) = [1 - ประสบการณ์ (-α (NDE) β + γ)] × 100% ซึ่งในα, βและ γมีค่าสัมประสิทธิ์การถดถอยและประสบการณ์ใกล้ตายเป็นจำนวน Deutsch ข้อตกลงที่ดีที่ได้รับระหว่างการคาดการณ์ในปัจจุบันและข้อมูลการทดลอง สำหรับการดำเนินงานในระยะยาว, น้ำผนังทำความสะอาดเป็นระยะ ๆ ถูกนำมาใช้ในการทำความสะอาดขั้วไฟฟ้าและอิเล็คโทรปล่อยคอลเลกชันอย่างสม่ำเสมอ ในการทดสอบสนาม, ประสิทธิภาพในการรวบรวมทั้งหมด (40 ⩽ DP ⩽ 8100 นาโนเมตร) ของ WESP ที่พบในการรักษามากขึ้นกว่า 98.7% และ 97.3% สำหรับการดำเนินงานอย่างต่อเนื่องเป็นเวลา 35 และ 22 วันที่ Fab Fab และ B ตามลำดับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สายที่มีประสิทธิภาพให้กับจานเดียวเปียกตกตะกอนไฟฟ้าสถิต ( wesp ) ถูกออกแบบและทดสอบเพื่อควบคุมขนาดอนุภาคและอนุภาค submicron ) ที่ปล่อยออกมาจากกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ทังสเตนลวดที่ 0.36 มม. ที่ใช้ขั้วไฟฟ้าจำหน่ายและซ่อมไฟฟ้า 15 กิโล บริษัท เวสเทิร์น ถูกจัดสร้างสนามไฟฟ้าและโคโรน่า ไอออนปรับละอองน้ำที่อุณหภูมิห้องที่ใช้เพื่อดับอุณหภูมิไอเสียควบแน่นเพื่อเพิ่มการเจริญเติบโตและปรับปรุงประสิทธิภาพการเก็บอนุภาคของอนุภาค ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่า ไม่มีดีคอลเลกชันเป็นละอองน้ำ ประสิทธิภาพสำหรับไทย– 92.9 % ซึ่งเพิ่มมากถึง 99.2% ( 99.7% เมื่อ wesp ดำเนินการปรับน้ำหมอกวิธีการพยากรณ์ที่ถูกพัฒนาขึ้นเพื่อคำนวณประสิทธิภาพการดักจับอนุภาคสมการη ( % ) ในแบบฟอร์มη ( % ) = [ − 1 ( −α EXP ( ใน ) บีตาγ ) ] × 100 % ซึ่งในαบีตาγ , และมีการถดถอย และประสบการณ์เป็นภาษาเยอรมันจำนวน ข้อตกลงที่ดีได้ระหว่างการคาดการณ์ในปัจจุบัน และการทดลอง สำหรับการดำเนินงานในระยะยาว ,การทำความสะอาดเป็นระยะ ๆกำแพงน้ำที่ใช้ทำความสะอาดขั้วไฟฟ้าและขั้วไฟฟ้าปล่อยคอลเลกชันเสมอ ในการทดสอบสนาม มีคอลเลกชันทั้งหมด ( 40 ⩽ DP ⩽ 8 , 100 nm ) ของ wesp พบรักษามากกว่า 98.7% 97.3 % สําหรับการดําเนินงานอย่างต่อเนื่อง และ 35 และ 22 วันที่ FAB และ FAB B ตามลำดับ