For power generation experiments, w

For power generation experiments, we develop a prototype
electret generator. Figure 3 shows the fabrication process of
the electret plate. Firstly, Cr/Au/Cr (10/100/10 nm in thickness)
thin films are deposited on a 0.7 mm-thick Pyrex wafer
using an EB evaporator, followed by patterning with standard
lithography and wet etching. Then, CYTOP (CTL-809M) is
spun-on at a rotational speed of 1,000 rpm for 20 seconds and
soft-baked at 100 ˚C for 30 minutes. This process is repeated
7 times to obtain a 20 µm-thick film, and is fully-cured at 185
˚C for 1.5 hours. Next, copper is evaporated and patterned as
the metal mask. Finally, the CYTOP film is etched by O2
plasma with 100 W RF power for 60-70 minutes. The counter
electrode is fabricated with a similar process. Figure 4 shows
the patterned electret film with guard electrodes. The width of
electret and guard electrodes is 150 µm, and the gap in beNeedle
voltage -8 kV
Grid voltage -600 V
Temperature 120 ˚C
Charge time 10 min.
Table 1. Condition of corona-charging.
Base electrode (Cr/Au/Cr)
CYTOP
Metal mask (Cu)
(a)
(b)
(c)
(d)
PYREX
Base electrode
CYTOP Guard electrode
Fig. 3. Fabrication process of the electret plate : (a) Deposit
and pattern base electrode (Cr/Au/Cr), (b) Spin-on and cure
CYTOP, (c) Deposit and pattern metal mask (Cu), (d) O2 plasma
etch and remove metal mask.
Fig. 4. Glass substrate with patterned electret.
Electret
Guard
electrode
- 281 -
tween is 30 µm. The total area of the electret is 10 x 20 mm2
.
The electret plate is then charged by corona discharge. The
condition of corona-charging is shown in Table 1. The temperature
during charging is kept at higher than the glass transition
temperature of CYTOP. Average surface voltage of about
-600 ~ -1000 V is obtained after this charging process.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สำหรับการทดลองสร้างพลังงาน เราได้พัฒนาต้นแบบเครื่องกำเนิดไฟฟ้าของการวิ รูปที่ 3 แสดงการประดิษฐ์การวิจาน ประการแรก Cr/อู/Cr (10/100/10 nm ความหนา)ฝากฟิล์มบางบนแผ่นเวเฟอร์ Pyrex มม.หนา 0.7ใช้เป็น EB evaporator ตาม patterning มาตรฐานภาพพิมพ์หินและฝนกัด แล้ว CYTOP (CTL - 809M) เป็นปั่นที่ความเร็วในการหมุนของ 1000 รอบต่อนาที 20 วินาที และน้ำอบที่ 100 ˚ c 30 นาที กระบวนการนี้จะถูกทำซ้ำ7 ครั้งเพื่อขอรับฟิล์มหนา µm 20 และเป็นเต็มหายที่ 185˚ c 1.5 ชั่วโมง ถัดไป หายไป และลวดลายเป็นทองแดงหน้ากากโลหะ ในที่สุด การแกะสลักของฟิล์ม CYTOP โดย O2พลาสม่ากับพลังงาน W RF 100 60-70 นาที ตัวนับหลังสร้างอิเล็กโทรด มีกระบวนการคล้ายคลึงกัน รูปที่ 4 แสดงฟิล์มการวิลวดลายกับยามหุงต ความกว้างของการวิและยามหุงตมา 150 µm ช่องว่างใน beNeedleแรงดันไฟฟ้า-8 kVแรงดันกริด-600 Vอุณหภูมิ 120 ˚ cค่าธรรมเนียมเวลา 10 นาที ตารางที่ 1 สภาพของโคชาร์จไฟฟ้าฐาน (Cr/อู/Cr)CYTOPรูปแบบโลหะ (Cu)(a)(b)(c)(d)PYREXไฟฟ้าพื้นฐานอิเล็กโทรด CYTOP รักษาFig. 3 กระบวนการผลิตของแผ่นการวิ: ฝาก (a)รูปแบบพื้นฐานอิเล็กโทรด (Cr/อู/Cr), (b) ในการหมุน และรักษาCYTOP, (c) เงินฝาก และรูปแบบโลหะหน้ากาก (Cu), (d) พลาสมา O2กัด และเอาหน้ากากโลหะ Fig. 4 พื้นผิวแก้วกับการวิมีลวดลายการวิยามอิเล็กโทรด-281-tween เป็น 30 µm มีพื้นที่รวมทั้งการวิเป็น 10 x 20 มม 2 ได้ภาย.The electret plate is then charged by corona discharge. Thecondition of corona-charging is shown in Table 1. The temperatureduring charging is kept at higher than the glass transitiontemperature of CYTOP. Average surface voltage of about-600 ~ -1000 V is obtained after this charging process.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สำหรับการทดลองการผลิตไฟฟ้าที่เราพัฒนาต้นแบบเครื่องกำเนิดไฟฟ้าอิเล็ก รูปที่ 3
แสดงให้เห็นถึงขั้นตอนการผลิตของแผ่นอิเล็ก ประการแรก Cr / Au / Cr (10/100/10 นาโนเมตรความหนา)
ฟิล์มบางจะฝากใน 0.7 มมหนาเวเฟอร์ Pyrex
ใช้ระเหย EB
ตามด้วยการเลียนแบบที่มีมาตรฐานการพิมพ์หินแกะสลักและเปียก จากนั้น CYTOP (CTL-809M)
จะหมุนอยู่กับความเร็วในการหมุน1,000 รอบต่อนาทีของเวลา 20
วินาทีและนุ่มอบที่100 องศาเซลเซียสเป็นเวลา 30 นาที กระบวนการนี้ซ้ำแล้วซ้ำอีก
7 ครั้งเพื่อให้ได้ฟิล์ม 20 ไมครอนหนาและเป็นอย่างหายที่ 185
องศาเซลเซียสเป็นเวลา 1.5 ชั่วโมง
ถัดไปทองแดงจะระเหยและลวดลายเป็นหน้ากากโลหะ ในที่สุดภาพยนตร์ CYTOP ถูกฝังโดย O2
พลาสม่าที่มีอำนาจ 100 วัตต์ RF สำหรับ 60-70 นาที
เคาน์เตอร์อิเล็กโทรถูกประดิษฐ์ที่มีกระบวนการที่คล้ายกัน รูปที่ 4
แสดงภาพยนตร์เรื่องอิเล็กลวดลายที่มีขั้วไฟฟ้ายาม ความกว้างของอิเล็กและขั้วไฟฟ้ายามคือ 150 ไมโครเมตรและช่องว่างใน beNeedle แรงดัน -8 กิโลโวลต์แรงดันกริด-600 V อุณหภูมิ 120 ˚Cค่าเวลา10 นาที. ตารางที่ 1 สภาพโคโรนาชาร์จ. ขั้วไฟฟ้าฐาน (Cr / Au / Cr) CYTOP หน้ากากโลหะ (Cu) (ก) (ข) (ค) (ง) PYREX ขั้วฐานCYTOP ยามขั้วรูป 3. ขั้นตอนการผลิตของแผ่นอิเล็ก (ก) เงินฝากและรูปแบบอิเล็กโทรดฐาน(Cr / Au / Cr), (ข) Spin-และรักษาCYTOP (ค) เงินฝากและหน้ากากโลหะรูปแบบ (Cu), (ง) O2 พลาสม่ากัดและลบหน้ากากโลหะ. รูป 4. พื้นผิวแก้วที่มีลวดลายอิเล็ก. Electret ยามอิเล็กโทร- 281 - ทวีคือ 30 ไมครอน พื้นที่ทั้งหมดของอิเล็กคือ 10 x 20 mm2. แผ่นอิเล็กจะมีค่าบริการแล้วโดยปล่อยโคโรนา สภาพของโคโรนาชาร์จจะแสดงในตารางที่ 1 อุณหภูมิระหว่างการชาร์จถูกเก็บไว้ที่สูงกว่าการเปลี่ยนแปลงแก้วอุณหภูมิCYTOP แรงดันไฟฟ้าที่พื้นผิวเฉลี่ยประมาณ-600 -1000 ~ V จะได้รับหลังการชาร์จนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สำหรับการทดลองผลิตไฟฟ้า เราพัฒนาต้นแบบ
electret เครื่องกำเนิดไฟฟ้า รูปที่ 3 แสดงโครงสร้างกระบวนการ
electret จาน ประการแรก CR / AU / CR ( 10 / 100 / 10 nm ในหนา )
ฟิล์มจะฝากใน 0.7 mm หนา Pyrex เวเฟอร์
ใช้ EB ระเหยตามแบบที่มีมาตรฐาน
และแกะสลักหินเปียก แล้ว cytop ( ctl-809m )
ปั่นในความเร็วใน การหมุน 1000 รอบต่อนาทีเป็นเวลา 20 วินาที
นุ่มอบที่ 100 ˚ C เป็นเวลา 30 นาที กระบวนการนี้จะทำซ้ำ
7 ครั้ง เพื่อให้ได้ 20 µ m-thick ภาพยนตร์และบ่มที่ 185
˚ C 1.5 ชั่วโมง ถัดไป , ทองแดงระเหยและลวดลายตามที่
หน้ากากโลหะ ในที่สุด cytop ฟิล์มถูกฝังโดย O2
พลาสมากับ 100 วัตต์พลังงาน RF สำหรับ 60-70 นาที เคาน์เตอร์
ขั้วขึ้นมาด้วยกระบวนการที่คล้ายกัน รูปที่ 4 แสดง
ลวดลาย electret ภาพยนตร์ที่มีขั้วไฟฟ้าป้องกัน ความกว้างของ
electret และขั้วไฟฟ้ายามเป็น 150 µ M , และช่องว่างใน beneedle
-
8 กิโลโวลต์แรงดันไฟฟ้าแรงดันกริด - 600 V
อุณหภูมิ 120 ˚ C เวลา 10 นาที

ค่าโต๊ะ 1 สภาพของโคโรน่า ชาร์จ
ไฟฟ้าฐาน ( CR / AU / CR )

cytop หน้ากากโลหะ ( ทองแดง )
( )
( b )
( C )
( D )


cytop ยาม Pyrex ฐานขั้วขั้ว
รูปที่ 3กระบวนการผลิตของ electret แผ่น : ( ) ฝาก
และรูปแบบฐานขั้ว ( CR / AU / CR ) , ( B ) ปั่นและรักษา
cytop ( C ) ฝากและหน้ากากโลหะรูปแบบ ( จุฬาฯ ) , ( D ) พลาสมาแกะสลัก และเอา O2

หน้ากากโลหะ รูปที่ 4 แผ่นแก้วที่มีลวดลาย electret .



electret ยามไฟฟ้า - 281 -
น 30 µเมตร พื้นที่ทั้งหมดของ electret 10 x 20 แน่น

การ electret แผ่นแล้วเรียกเก็บโดยโคโรน่าดิสชาร์จ .
ภาพพระอาทิตย์ทรงกลดชาร์จแสดงดังตารางที่ 1 อุณหภูมิ
ในระหว่างการชาร์จเก็บไว้ที่สูงกว่าอุณหภูมิคล้ายแก้ว
cytop . พื้นผิวเฉลี่ยแรงดันประมาณ 600 - 1000 V
- ~ ได้หลังจากกระบวนการชาร์จ .