The planar diode is the simplest sp

The planar diode is the simplest sputter source. The cathode is is typically in the shape of a disk about 5 to 10 cm in diameter, consisting of the material of interest. The target is usually thermally bonded (e.g. solder or conducting epoxy) to a cooled backing plate, or directly water cooled the use of a vacuum/water O-ring seal. A ground shield is used to with sputtering of the sides and support structure undesirable of the source body. A detailed treatment of the glow discharge is given in Chapter II. 1.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ไดโอดระนาบเป็นแหล่ง sputter ที่ง่ายที่สุด เป็นแคโทดคือในรูปของดิสก์ประมาณ 5-10 ซม. ประกอบด้วยวัสดุที่น่าสนใจ เป้าหมายเป็นปกติความร้อนเชื่อมติด (เช่นประสานหรือดำเนินอีพ็อกซี่) กับแผ่นเย็นสำรอง หรือตรงน้ำระบายความร้อนด้วยการใช้เครื่องดูดน้ำซีล O-ring ใช้โล่พื้นไป ด้วยสปัตเตอร์ของด้านข้างและสนับสนุนผลโครงสร้างของร่างกายแหล่ง รักษารายละเอียดของการปล่อยแสงถูกกำหนดในบทที่สอง 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ไดโอดระนาบเป็นแหล่งปะทุง่าย แคโทดเป็นปกติจะเป็นในรูปของดิสก์ประมาณ 5 ถึง 10 ซม. ในเส้นผ่าศูนย์กลางประกอบด้วยวัสดุที่น่าสนใจ เป้าหมายมักจะถูกผูกมัดความร้อน (เช่นประสานหรืออีพ็อกซี่ดำเนินการ) เพื่อสนับสนุนแผ่นระบายความร้อนหรือน้ำเย็นโดยตรงการใช้งานของเครื่องดูดฝุ่น / น้ำประทับตรา O-แหวน โล่พื้นดินถูกนำมาใช้กับสปัตเตอร์ของด้านข้างและสนับสนุนโครงสร้างที่ไม่พึงประสงค์ของร่างกายแหล่งที่มา รายละเอียดการรักษาของการปล่อยโกลว์จะได้รับในบทที่สอง 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในระนาบไดโอดที่พ่นออกมา แคโทดคือ มักจะเป็นในรูปของดิสก์ประมาณ 5 ถึง 10 เซนติเมตร ประกอบด้วยวัสดุที่น่าสนใจ . เป้าหมายคือมักจะได้รับผูกมัด ( เช่นการประสาน หรืออีพ็อกซี่ ) เพื่อสนับสนุนแผ่นระบายความร้อนด้วยน้ำเย็นหรือโดยตรงใช้เครื่องดูดฝุ่นน้ำ / ซีลโอริง พื้นโล่ใช้กับการสปัตเตอร์ด้านข้างและโครงสร้างการสนับสนุนที่ไม่พึงประสงค์ของร่างกาย แหล่งที่มา การรักษารายละเอียดของการเรืองแสงให้ในบทที่ 2 1 .