Alternatively, a thin-film depositi

Alternatively, a thin-film deposition of metal by sputtering or evaporation through a shadow mask has been carried out. Figure 4 shows a schematic drawing of the chip including al relevant dimensions, Fig. 5 an actual photograph of the chips, the top chip with carbon electrodes, the lower one with silver electrodes. The separation channel has the dimensions 50 μm width and 50 μm in height, with a separation length of 75 mm. The electrodes have a design width of 200 μm with an electrode gap for measuring of 250 μm. A microscopy image of screen-printed electrodes can be seen in Fig. 6a, an equivalent image of the thin-film electrodes is shown in Fig. 6b. It is important to notice that despite the purely manual optical alignment of the chip and the cover lid containing the electrodes with alignment marks, the alignment accuracy is of the order of 10 μm. Furthermore, despite of the comparatively large thickness of the screenprinted electrodes (4-5 μm), the cover lid could be sealed completely without voids on top of the channel.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

อีกวิธีหนึ่งคือ สะสมฟิล์มบางของโลหะสปัตเตอร์หรือระเหยผ่านหน้ากากเงาที่ดำเนินการ รูปที่ 4 แสดง schematic วาดชิปรวมถึงอัลมิติที่เกี่ยวข้อง รูป 5 เป็นรูปถ่ายจริงของเบี้ย ชิพด้านบน ด้วยขั้วไฟฟ้าคาร์บอน ต่ำกว่าหนึ่งกับขั้วสีเงิน ช่องแยกมีขนาด 50 ไมครอนกว้างและ 50 ไมครอนสูง มีความยาวแยกขนาด 75 mm ขั้วไฟฟ้ามีความกว้างออกแบบของμ m 200 กับช่องว่างอิเล็กโทรดสำหรับวัด 250 ไมครอน เราสามารถดูรูปแบบไมโครสโคของอิเล็กโทรด screen-printed ในรูป 6a แสดงภาพเทียบของขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางในรูป 6b จะต้องสังเกตว่า แม้ มีการจัดตำแหน่งแสงแท้จากคู่มือของชิ และฝาครอบที่ประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าที่ มีเครื่องหมายการจัดตำแหน่ง ความแม่นยำจัดเป็นหน่วย 10 μ m นอกจากนี้ แม้มีความหนาค่อนข้างใหญ่ของขั้วไฟฟ้า screenprinted (4-5 ไมครอน), ฝาครอบอาจถูกปิดผนึกได้อย่างสมบูรณ์ไม่ มีช่องว่างด้านบนของช่อง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ผลัดกันทับถมฟิล์มบางของโลหะโดยสปัตเตอร์หรือการระเหยผ่านหน้ากากเงาได้รับการดำเนินการ รูปที่ 4 แสดงภาพวาดแผนผังของชิปรวมถึงอัลมิติที่เกี่ยวข้องรูป 5 ถ่ายภาพที่เกิดขึ้นจริงของชิปชิปชั้นนำที่มีขั้วไฟฟ้าคาร์บอนที่ต่ำกว่าหนึ่งที่มีขั้วไฟฟ้าเงิน ช่องทางแยกมีขนาดความกว้าง 50 ไมครอนและ 50 ไมครอนสูงที่มีความยาวแยกของ 75 มิลลิเมตร ขั้วไฟฟ้ามีความกว้างการออกแบบของ 200 ไมโครเมตรมีช่องว่างสำหรับการวัดอิเล็กโทร 250 ไมโครเมตร ภาพกล้องจุลทรรศน์ขั้วหน้าจอพิมพ์สามารถมองเห็นได้ในรูป 6a, ภาพเทียบเท่าของขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางแสดงในรูป 6B มันเป็นสิ่งสำคัญที่จะสังเกตเห็นว่าแม้จะมีการจัดตำแหน่งแสงคู่มือหมดจดของชิปพร้อมฝาปิดที่มีขั้วไฟฟ้าที่มีเครื่องหมายการจัดตำแหน่งที่ถูกต้องจัดตำแหน่งของคำสั่งของ 10 ไมโครเมตร นอกจากนี้แม้จะมีความหนาขนาดใหญ่เมื่อเทียบกับของขั้วไฟฟ้า screenprinted (4-5 ไมครอน) ฝาฝาปิดสามารถปิดผนึกอย่างสมบูรณ์โดยไม่เกิดช่องว่างด้านบนของช่อง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อีกวิธีหนึ่งคือ การสะสมของโลหะโดยฟิล์มส หรือการระเหยผ่านเงาหน้ากากได้ถูกดำเนินการ รูปที่ 4 แสดงการวาดแผนผังของชิปที่เกี่ยวข้องรวมทั้งอัลมิติภาพที่ 5 เป็นภาพถ่ายจริงของชิป , ชิปด้านบนด้วยขั้วไฟฟ้าคาร์บอนล่างที่มีขั้วไฟฟ้าซิลเวอร์ ช่องทางแยกมีขนาด 50 μ M กว้าง 50 μเมตรในความสูง ด้วยการแยกความยาว 75 มิลลิเมตร ขั้วไฟฟ้าที่มีการออกแบบความกว้าง 200 μ M กับขั้ววัดช่องว่างสำหรับ 250 μเมตร เป็นรูปภาพของหน้าจอพิมพ์ใช้ขั้วไฟฟ้าที่สามารถเห็นได้ในรูปที่ 6A , เทียบเท่าของขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางภาพที่แสดงในรูปบน มันเป็นสิ่งสำคัญที่จะทราบว่าแม้จะหมดจดคู่มือแนวแสงของชิปและ ปิดฝาที่มีขั้วไฟฟ้าที่มีเครื่องหมายแนวแนว , ความถูกต้องของคำสั่ง 10 μเมตร นอกจากนี้ แม้จะมีความหนาเมื่อเทียบกับขนาดใหญ่ของ screenprinted ขั้วไฟฟ้า ( 4-5 μ M ) , ฝาครอบฝาอาจจะปิดผนึกอย่างสมบูรณ์ โดยไม่มีช่องว่างด้านบนของช่อง