To study the impact of the changes

To study the impact of the changes of the PECVD oxide profile on the electrical and reliability performance, a process sequence for the fabrication of a TSV structure [6] has been studied. The simulated TSV geometry relies on 2D/3D simulations (with the assumption of rotational symmetry) as shown in Fig. 4. It should

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การศึกษาผลกระทบของการเปลี่ยนแปลงของค่าออกไซด์ PECVD บนการไฟฟ้าและประสิทธิภาพความน่าเชื่อถือ ลำดับขั้นตอนการประดิษฐ์โครงสร้าง TSV [6] มีการศึกษา เรขาคณิต TSV จำลองอาศัยจำลอง 2D/3D (มีสมมติฐานในการหมุนสมมาตร) ดังที่แสดงใน Fig. 4 ควร

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เพื่อศึกษาผลกระทบของการเปลี่ยนแปลงของรายละเอียด PECVD ออกไซด์ต่อประสิทธิภาพการทำงานไฟฟ้าและความน่าเชื่อถือที่ลำดับขั้นตอนสำหรับการผลิตของโครงสร้าง TSV ที่ [6] ได้รับการศึกษา เรขาคณิต TSV จำลองอาศัยแบบจำลอง 2D / 3D (กับสมมติฐานของสมมาตรหมุน) ดังแสดงในรูป 4. ควร

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เพื่อศึกษาผลกระทบของการเปลี่ยนแปลงของโปรไฟล์ออกไซด์ pecvd ในการแสดงความน่าเชื่อถือไฟฟ้าและกระบวนการลำดับสำหรับการผลิตโครงสร้างของเชื้อไวรัส [ 6 ] ได้เรียน โดยอาศัย TSV เรขาคณิต 2D / 3D จำลอง ( สมมติฐานสมมาตรการหมุน ) ดังแสดงในรูปที่ 4 มันควรจะ