After the low-end controllers on th

After the low-end controllers on the Machine-level control
system and the communication handlers between the
two levels are tested, the Step_LD of the Process-level
control system can be tested. The engineer will first
check if each stage is correctly executed and its
transition condition is met as specified in the AD table
and matrix, and if the required accuracy of each physical
actuation is achieved. The step monitoring and
supervision of the Process-level control system is also
checked, by executing a series of process steps in
addition to the loading step. Ultimately, the Step_LD will
be tested against the loading reliablility (for example,
99.7% of probability of success in loading wafers).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

หลังจากตัวควบคุมที่มีในการควบคุมระดับเครื่องระบบและตัวจัดการการสื่อสารระหว่างการมีทดสอบระดับ 2, Step_LD ระดับกระบวนการสามารถทดสอบระบบการควบคุม วิศวกรจะต้องตรวจสอบถ้าดำเนินการแต่ละขั้นตอนอย่างถูกต้องและเป็นไปตามเงื่อนไขการเปลี่ยนแปลงตามที่ระบุไว้ในตาราง ADและ เมทริกซ์ และความจำเป็นทางกายภาพแต่ละactuation ที่ทำ ขั้นตอนการตรวจสอบ และควบคุมดูแลระบบการควบคุมระดับกระบวนการเป็นตรวจสอบ ชุดของกระบวนการขั้นตอนในการดำเนินนอกจากนี้ขั้นตอนการโหลด จะ Step_LD สุดทดสอบกับ reliablility โหลด (ตัวอย่าง99.7% ความน่าเป็นของความสำเร็จในการรับโหลด)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

หลังจากที่ควบคุมต่ำสุดในการควบคุมระดับของเครื่องจักร
ระบบและจัดการการสื่อสารระหว่าง
สองระดับจะมีการทดสอบ, Step_LD กระบวนการระดับ
ระบบการควบคุมสามารถทดสอบได้ วิศวกรแรกจะ
ตรวจสอบว่าแต่ละขั้นตอนจะถูกดำเนินการอย่างถูกต้องและของ
สภาพการเปลี่ยนแปลงที่จะพบตามที่ระบุไว้ในตาราง AD
และเมทริกซ์และถ้าจำเป็นต้องใช้ความถูกต้องของแต่ละทางกายภาพ
การดำเนินการจะประสบความสำเร็จ ตรวจสอบขั้นตอนและ
การกำกับดูแลของระบบการควบคุมกระบวนการผลิตในระดับนี้ยังมีการ
ตรวจสอบโดยการดำเนินการชุดของขั้นตอนกระบวนการใน
นอกเหนือไปจากขั้นตอนการโหลด ในท้ายที่สุด Step_LD จะ
ได้รับการทดสอบกับการโหลด reliablility (ตัวอย่างเช่น
99.7% ของความน่าจะเป็นของความสำเร็จในการโหลดเวเฟอร์)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

หลังจากที่ระดับสูงควบคุมระบบควบคุม
ระดับเครื่องและจัดการการสื่อสารระหว่าง
2 ระดับ มีการทดสอบ , step_ld ของกระบวนการระดับ
ระบบควบคุม สามารถทดสอบ วิศวกรจะตรวจสอบว่าในแต่ละขั้นตอนได้อย่างถูกต้อง

สภาพการเปลี่ยนแปลงของรัน และเป็นไปตามที่ระบุไว้ในตารางโฆษณา
และเมทริกซ์ และถ้าต้องการความแม่นยำของแต่ละทางกายภาพ
การที่ได้ ขั้นตอนการตรวจสอบและการควบคุมของกระบวนการควบคุมระดับ

ตรวจสอบระบบด้วย โดยดำเนินการชุดของขั้นตอน กระบวนการในการโหลด
ขั้นตอน ในที่สุด step_ld จะ
ถูกทดสอบกับโหลด reliablility ( ตัวอย่างเช่น
99.7% ของความน่าจะเป็นของความสำเร็จในการเวเฟอร์ )