In general, Microelectromechanical systems (MEMS) based temperature measuring, monitoring and control system
consists of plant/process, controller and MEMS sensor (TMP06) as shown in Fig. 1.MEMS is one of the emerging
technology because of its advanced features like miniature size, low cost, low power consumption, high level of accuracy,
quick response, signal conditioning, inbuilt ADC (Analog-to- Digital converter), output compatibility with CMOS/TTL,
flexibility in interfacing with digital controllers.MEMS has diverse applications which include digital micromirror device,
accelerometers, gyroscopes, miniature robots, medical treatment and diagnosis, chemical, DNA analysis, micro
engines, inertial sensors, micro transmissions, micro actuators, optical scanners, fluid pumps, pressure and flow sensors, etc [4].
ในทั่วไป , ไมโครเทคโนโลยี ( MEMS ) อุณหภูมิที่วัดจากการตรวจสอบและควบคุมระบบ
ประกอบด้วยพืชกระบวนการ / ควบคุมและ MEMS SENSOR ( tmp06 ) ดังแสดงในรูปที่ 1.mems เป็นหนึ่งในเทคโนโลยีที่เกิดขึ้นใหม่
เพราะคุณสมบัติขั้นสูงเช่นขนาดจิ๋ว ราคาถูก ใช้พลังงานต่ำ ระดับสูงของความถูกต้อง
ปรับสัญญาณการตอบสนองที่รวดเร็วinbuilt ADC ( Analog เพื่อแปลงดิจิตอล ) ออกความเข้ากันได้กับ CMOS / TTL ,
ความยืดหยุ่นในการเชื่อมต่อกับดิจิตอล controllers.mems มีหลากหลายโปรแกรมซึ่งรวมถึง micromirror ดิจิตอลอุปกรณ์
accelerometers , gyroscopes ขนาดเล็ก , หุ่นยนต์ , การรักษาและการวินิจฉัย , เคมี , ตรวจดีเอ็นเอ , ไมโคร
เครื่องยนต์เฉื่อย , เซ็นเซอร์ไมโคร Micro ตัวกระตุ้นการส่ง แสงสแกนเนอร์ปั๊มของเหลว , เซ็นเซอร์ความดันและอัตราการไหล เป็นต้น [ 1 ]
การแปล กรุณารอสักครู่..