The detection of a test gas using m

The detection of a test gas using mass spectrometers is far and away the
most sensitive leak detection method and the one most widely used in
industry. The MS leak detectors developed for this purpose make possible
quantitative measurement of leak rates in a range extending across many
powers of ten (see Section 5.2) whereby the lower limit ≈ 10-12 mbar · l/s,
thus making it possible to demonstrate the inherent gas permeability of
solids where helium is used as the test gas. It is actually possible in principle
to detect all gases using mass spectrometry. Of all the available
options, the use of helium as a tracer gas has proved to be especially practical.
The detection of helium using the mass spectrometer is absolutely (!)
unequivocal. Helium is chemically inert, non-explosive, non-toxic, is present
in normal air in a concentration of only 5 ppm and is quite economical. Two
types of mass spectrometer are used in commercially available MSLD’s:
a) The quadrupole mass spectrometer, although this is used less frequently
due to the more elaborate and complex design (above all due to the
electrical supply for the sensor), or
b) the 180° magnetic sector field mass spectrometer, primarily due to the
relatively simple design.
Regardless of the functional principle employed, every mass spectrometer
comprises three physically important sub-systems: the ion source, separation
system and ion trap. The ions must be able to travel along the path
from the ion source and through the separation system to the ion trap, to
the greatest possible extent without colliding with gas molecules. This path
amounts to about 15 cm for all types of spectrometers and thus requires a
medium free path length of at least 60 cm, corresponding to pressure of
about 1 · 10-4 mbar; in other words, a mass spectrometer will operate only
in a vacuum. Due to the minimum vacuum level of 1 · 10-4 mbar, a high
vacuum will be required. Turbomolecular pumps and suitable roughing
pumps are used in modern leak detectors. Associated with the individual
component groups are the required electrical- and electronic supply sys-

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เป็นการตรวจพบก๊าซทดสอบที่ใช้ตรวจมวลและไกลตัววิธีตรวจหาการรั่วไหลมีความสำคัญมากที่สุดและได้ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม ตรวจจับการรั่วไหล MS ที่พัฒนาสำหรับวัตถุประสงค์นี้ให้ได้วัดเชิงปริมาณอัตราการรั่วไหลในช่วงขยายทั้งหลายอำนาจของสิบ (ดูหัวข้อ 5.2) โดยล่างจำกัด≈· mbar 10-12 l/sจึง ทำให้สามารถแสดง permeability แก๊สโดยธรรมชาติของของแข็งที่ใช้ฮีเลียมเป็นก๊าซทดสอบ เป็นไปได้จริงในหลักการการตรวจหาก๊าซทั้งหมดที่ใช้สเปกโตรเมท ของทั้งหมดที่มีตัวเลือก การใช้ฮีเลียมเป็นก๊าซติดตามได้พิสูจน์ให้เป็นประโยชน์โดยเฉพาะอย่างยิ่งการตรวจพบโดยใช้สเปกโตรมิเตอร์มวลฮีเลียมเป็น (!)unequivocal ฮีเลียมเป็นสารเคมี inert ไม่ระเบิด พิษ อยู่ในอากาศปกติในความเข้มข้นเพียง 5 หน้า/นาทีและประหยัดมากขึ้น สองใช้ชนิดของสเปกโตรมิเตอร์มวลใน MSLD ใช้ได้ในเชิงพาณิชย์:) quadrupole โดยรวมสเปกโตรมิเตอร์ แต่ใช้ไม่บ่อยนักเนื่องจากการออกแบบอย่างประณีต และซับซ้อนมากขึ้น (ด้านบนทั้งหมดเนื่องในไฟฟ้าสำหรับเซนเซอร์), หรือข) 180 องศาแม่เหล็กภาคฟิลด์โดยรวมสเปกโตรมิเตอร์ ครบกำหนดเพื่อการออกแบบที่ค่อนข้างง่ายโดยหลักการทำงานลูกจ้าง สเปกโตรมิเตอร์ทุกมวลประกอบด้วย 3 ระบบย่อยสำคัญจริง: แหล่งไอออน แยกระบบและการตรวจจับไอออน ประจุต้องการเดินทางตามเส้นทางจากแหล่งไอออน และระบบแยกการจับไอออน การขอบเขตได้มากที่สุดโดยไม่ชนกับโมเลกุลของก๊าซ เส้นทางนี้จำนวนประมาณ 15 ซม.สำหรับชนิดของการตรวจทั้งหมด และจึง ต้องการความยาวเส้นทางฟรีกลางของน้อย 60 ซม. ที่สอดคล้องกับความดันของประมาณ 1 · 10 4 mbar ในคำอื่น ๆ สเปกโตรมิเตอร์โดยรวมจะมีเฉพาะในสุญญากาศ เนื่องจากระดับต่ำสุดที่ดูดสิว 1 · 10 4 mbar สูงเครื่องดูดฝุ่นจะต้อง Turbomolecular ปั๊มและ roughing เหมาะปั๊มที่ใช้ในการตรวจจับการรั่วไหลที่ทันสมัย เกี่ยวข้องกับบุคคลกลุ่มส่วนประกอบได้แก่การจัดหาไฟฟ้า และอิเล็กทรอนิกส์ต้อง sys

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การตรวจสอบของก๊าซทดสอบโดยใช้สเปกโทรมิเตอร์มวลอยู่ไกลออกไป
วิธีการตรวจสอบการรั่วไหลที่สำคัญที่สุดและเป็นคนส่วนใหญ่ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายใน
อุตสาหกรรม เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของ MS พัฒนาเพื่อการนี้ให้เป็นไปได้
การวัดเชิงปริมาณของอัตราการรั่วไหลในช่วงการขยายในหลาย
อำนาจของสิบ (ดูมาตรา 5.2) โดยวงเงินที่ต่ำกว่า≈ 10-12 เอ็มบาร์·ลิตร / วินาที
จึงทำให้มันเป็นไปได้ที่จะแสดงให้เห็นถึง การซึมผ่านของก๊าซธรรมชาติของ
ของแข็งที่ฮีเลียมถูกใช้เป็นก๊าซทดสอบ มันเป็นจริงที่เป็นไปได้ในหลักการ
ในการตรวจสอบก๊าซทั้งหมดที่ใช้มวลสาร ของทั้งหมดที่มี
ตัวเลือกการใช้ก๊าซฮีเลียมเป็นก๊าซติดตามได้พิสูจน์แล้วว่าเป็นจริงโดยเฉพาะอย่างยิ่ง.
การตรวจสอบของฮีเลียมใช้สเปกโตรมิเตอร์มวลเป็นอย่าง (!)
ที่ชัดเจน ฮีเลียมเป็นสารเฉื่อยไม่ระเบิดปลอดสารพิษที่มีอยู่
ในอากาศปกติในความเข้มข้นของเพียง 5 ppm และค่อนข้างประหยัด สอง
ประเภทสเปกโตรมิเตอร์มวลที่ใช้ในเชิงพาณิชย์ที่มี MSLD ของ:
) สเปกโตรมิเตอร์มวล quadrupole แม้ว่านี้จะใช้ไม่บ่อย
เนื่องจากการออกแบบที่ซับซ้อนมากขึ้นและซับซ้อน (เหนือจากทุก
แหล่งจ่ายไฟฟ้าสำหรับเซ็นเซอร์) หรือ
ข) 180 องศาภาคสนามแม่เหล็กสเปกโตรมิเตอร์มวลส่วนใหญ่จะ
. การออกแบบที่ค่อนข้างง่าย
โดยไม่คำนึงถึงหลักการทำงานลูกจ้างทุกสเปกโตรมิเตอร์มวล
ประกอบด้วยสามระบบย่อยที่สำคัญร่างกาย: แหล่งกำเนิดไอออนแยก
ระบบและการดักไอออน ไอออนจะต้องสามารถที่จะเดินทางไปตามเส้นทาง
จากแหล่งไอออนและผ่านระบบแยกที่จะดักไอออนเพื่อ
ที่ยิ่งใหญ่ที่สุดเท่าที่เป็นไปได้โดยไม่ต้องชนกับโมเลกุลของแก๊ส เส้นทางนี้
จะมีจำนวนประมาณ 15 ซม. สำหรับทุกประเภทของสเปกโทรมิเตอร์จึงต้องมี
ความยาวเส้นทางฟรีขนาดกลางอย่างน้อย 60 ซม. ซึ่งสอดคล้องกับแรงกดดันจาก
ประมาณ 1 · 10-4 เอ็มบาร์; ในคำอื่น ๆ สเปกโตรมิเตอร์มวลจะดำเนินการเฉพาะ
ในสูญญากาศ เนื่องจากระดับสูญญากาศน้อย 1 · 10-4 เอ็มบาร์สูง
สูญญากาศจะต้อง ปั๊ม Turbomolecular และหยาบเหมาะ
ปั๊มที่ใช้ในการตรวจจับการรั่วไหลที่ทันสมัย ที่เกี่ยวข้องกับแต่ละ
กลุ่มจะมีส่วนประกอบที่จำเป็นในการจัดหา electrical- และงานระบบอิเล็กทรอนิกส์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การตรวจทดสอบก๊าซโดยใช้มวลาอยู่ไกลและไวที่สุด
ตรวจจับการรั่วไหลและวิธีหนึ่งที่ใช้กันอย่างแพร่หลายใน
อุตสาหกรรม MS เครื่องตรวจจับการรั่วที่พัฒนาขึ้นเพื่อวัตถุประสงค์นี้ทำให้การวัดปริมาณที่สุด
อัตรารั่วในช่วงขยายในหลาย
พลังสิบ ( ดูหมวด 5.2 ) โดยลดวงเงิน≈ 10-12 มิลลิบาร์ด้วย L / S ,
ทำให้มันเป็นไปได้ที่จะแสดงให้เห็นถึงความสามารถในการซึมผ่านก๊าซโดยธรรมชาติ
ของแข็งที่ฮีเลี่ยมใช้ทดสอบก๊าซ มันเป็นจริงที่เป็นไปได้ในการตรวจสอบก๊าซโดยใช้หลักการ
ทั้งหมดแมสสเปกโทรเมตรี ของทั้งหมดของ
ตัวเลือกใช้ฮีเลียมเป็นก๊าซเคลื่อนที่ได้พิสูจน์แล้วว่าเป็นประโยชน์โดยเฉพาะอย่างยิ่ง .
ตรวจหาฮีเลียมใช้แมสสเปกโตรมิเตอร์ ( จริง ๆ )
ชัดเจนฮีเลียมเป็นสารเฉื่อยและไม่ระเบิด , ปลอดสารพิษ , เป็นปัจจุบัน
ในอากาศปกติในระดับความเข้มข้น 5 ppm และประหยัดมาก 2
ประเภทแมสสเปกโทรมิเตอร์ใช้ในเชิงพาณิชย์ของ msld :
) คำแมสสเปกโตรมิเตอร์ แม้ว่าจะใช้น้อยกว่า
เนื่องจากการออกแบบที่ซับซ้อนมากขึ้นและซับซ้อน ( ข้างต้นทั้งหมด เนื่องจากการจัดหาไฟฟ้าเซ็นเซอร์

) หรือข ) 180 องศาสนามภาคแม่เหล็กแมสสเปกโทรมิเตอร์ , หลักเนื่องจาก

ไม่ว่าการออกแบบที่ค่อนข้างง่าย หลักการทํางานของลูกจ้างทุกแมสสเปกโตรมิเตอร์
ประกอบด้วยสามระบบทางกายภาพที่สำคัญ : อิออนแหล่ง ระบบแยก
กับดักและไอออน ไอออนสามารถเดินทางไปตามเส้นทาง
จากแหล่งกำเนิดไอออนและผ่านระบบแยกไป

ไอออนกับดักขอบเขตที่ยิ่งใหญ่ที่สุดโดยไม่ชนกับโมเลกุลของก๊าซ เส้นทางนี้ประมาณ 15 cm
จํานวนทุกประเภทจึงต้องา
สื่อฟรีเส้นทางความยาวอย่างน้อย 60 เซนติเมตร ที่สอดคล้องกับความดันของ
1 ด้วย 10-4 มิลลิบาร์ ในคำอื่น ๆที่เป็นแมสสเปกโทรมิเตอร์จะทำงานได้เพียง
ในสูญญากาศ เพราะอย่างน้อยสุญญากาศระดับ 1 ด้วย 10-4 มิลลิบาร์ , สูญญากาศสูง
จะต้องปั๊ม turbomolecular และเหมาะสมหยาบ
ปั๊มใช้ในเครื่องตรวจจับการรั่วไหลที่ทันสมัย ที่เกี่ยวข้องกับกลุ่มชิ้นส่วนบุคคล
เป็นต้องไฟฟ้า - และ SYS จัดหาอิเล็กทรอนิกส์