In this study, the RF discharge was

In this study, the RF discharge was capacitive
coupled and this can be described in a and g modes
[20]. The sheath regions at the electrode are very
different for these two modes as described by
Raizer

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในการศึกษานี้ปล่อย RF เป็น capacitive
คู่นี้สามารถอธิบายได้ในโหมดกรัม
[20]
ภูมิภาคปลอกที่ขั้วไฟฟ้าที่มีความแตกต่างกันสำหรับทั้งสองโหมดตามที่อธิบาย
Raizer

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในการศึกษาครั้งนี้ เป็นแบบ RF จำหน่าย
คู่และนี้สามารถอธิบายได้ในโหมดและ g
[ 20 ] เปลือกภูมิภาคที่ขั้วทั้งสองแตกต่างกันมาก

raizer โหมดตามที่อธิบายไว้โดย