Efficient thin-film stack character

Efficient thin-film stack characterization using parametric sensitivity analysis for spectroscopic ellipsometry in semiconductor device fabrication

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

จำแนกประสิทธิภาพฟิล์มบางกองที่ใช้วิเคราะห์ความไวพาราเมตริก ellipsometry ด้านในผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ลักษณะที่มีประสิทธิภาพสแต็คฟิล์มบางโดยใช้การวิเคราะห์ความไวพาราสำหรับ ellipsometry สเปกโทรสโกในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การศึกษาฟิล์มบางโดยใช้การวิเคราะห์ความไวเชิงซ้อนที่มีประสิทธิภาพสำหรับสเปกลิปโซมิตรีในการผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ