For DLC coating, the UBMS (unbalanc

For DLC coating, the UBMS (unbalanced magnetron sputtering) method was used. In this coating, after the specimens were preheated at 573 K for 1.8 ks in a vacuum chamber maintained under a pressure of 2.6 103 Pa, the surfaces of the specimens were cleaned up by Ar ion bombardment.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สำหรับเคลือบ DLC, UBMS (การผลิตกล่องจากกระดาษไม่สมดุลสปัตเตอร์) วิธีการใช้ ในนี้เคลือบสี หลังจากที่ชิ้นงานทดสอบถูกอุ่นที่ 573 K สำหรับ 1.8 ks ในสุญญากาศที่รักษาภายใต้แรงดัน 2.6 103 Pa พื้นผิวของชิ้นงานทดสอบถูกล้าง โดยการระดมยิงไอออน Ar

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สำหรับเคลือบ DLC ที่ UBMS (ไม่สมดุลแมกสปัตเตอร์) วิธีการที่ใช้ ในการเคลือบนี้หลังจากที่ตัวอย่างได้อบอุ่นที่ 573 K สำหรับ 1.8 KS ในห้องสูญญากาศไว้ภายใต้ความกดดันของ 2.6 103 ป่าที่พื้นผิวของตัวอย่างที่ถูกทำความสะอาดโดยการโจมตีไอออนเท่

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สำหรับเคลือบ DLC , ubms ( ขาดดุลแมกนีตรอนสปัตเตอริง ) วิธีที่ใช้ ในการเคลือบนี้หลังจากที่ได้ทำการตั้งที่คุณ K 1.8 KS ในสูญญากาศเก็บรักษาภายใต้ความดัน 2.6 103 PA , พื้นผิวของชิ้นงานให้สะอาด โดยการทิ้งระเบิดรายละเอียดเกี่ยวกับ