The process chamber is pumped by an

The process chamber is pumped by an Alcatel ATH1300MT Maglev turbomolecular pump via
an Automatic Pressure Controller. The turbomolecular pump is backed via a heated isolation
valve by an Alcatel ADP122P dry pump.
The process chamber process pressure is measured by a heated 100-mTorr Capacitance
Manometer gauge. Note that the CM gauge output does not stabilise until it has been
switched on and under vacuum for 15 minutes.
Base pressure is measured by an active Penninggauge, which is disabled at pressures above
10 mTorr.
A Vacuum Switch monitors the chamber pressure. When the pressure falls below 600 mbar, its
contacts close to enable the 24V process line and allow the process gases and the RF to
operate.
The automatic load lock is pumped by an Alcatel ACP28G dry pump. Pressure is measured by a
Pirani gauge.
For details of the vacuum pumps and gauges, refer to the manufacturer’s literature in Volume
3 of this manual.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

หอการค้ากระบวนการถูกสูบ โดยปั๊ม turbomolecular Alcatel ATH1300MT รถไฟพลังแม่เหล็กที่ผ่าน ตัวควบคุมแรงดันอัตโนมัติ ปั๊ม turbomolecular เป็นสำรองผ่านแยกอุ่น วาล์ว โดยการปั๊มแห้ง Alcatel ADP122P วัดกระบวนการกระบวนการความกดดัน โดยความอุ่น 100-mTorr Manometer เครื่องวัด โปรดสังเกตว่า ผลลัพธ์ CM วัดไม่รับจนกว่าจะได้รับ สลับ และภาย ใต้สูญญากาศ 15 นาที วัดแรงดันฐาน โดยมี Penninggauge ใช้งานอยู่ ซึ่งถูกปิดการใช้งานที่แรงดันข้างต้น 10 mTorr สลับดูดตรวจสอบแรงดันห้อง เมื่อความดันลดลงต่ำกว่า 600 mbar ของ ติดต่อเปิดรายการกระบวนการ 24V และให้ก๊าซกระบวนการและ RF จะใกล้เคียงกับ ทำงาน ล็อคโหลดอัตโนมัติถูกสูบ โดยปั๊มแห้งเป็น Alcatel ACP28G วัดความดันโดยการ วัด Pirani สำหรับรายละเอียดของปั๊มสุญญากาศและมาตรวัด การอ้างอิงเอกสารประกอบการของผู้ผลิตในปริมาณ 3 ของคู่มือนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ห้องกระบวนการถูกสูบโดย Alcatel ATH1300MT Maglev turbomolecular ปั๊มผ่าน
ตัวควบคุมความดันอัตโนมัติ ปั๊ม turbomolecular ได้รับการสนับสนุนผ่านทางแยกอุ่น
โดยวาล์วปั๊ม Alcatel ADP122P แห้ง.
กระบวนการความดันกระบวนการห้องวัดจากความร้อน 100 mTorr ประจุ
วัด Manometer โปรดทราบว่าการส่งออกที่วัด CM ไม่รักษาเสถียรภาพจนกว่าจะได้รับการ
เปิดและภายใต้สุญญากาศเป็นเวลา 15 นาที.
ดันฐานวัดจากการใช้งาน Penninggauge ซึ่งถูกปิดใช้งานที่ความดันดังกล่าวข้างต้น
10 mTorr.
สวิทช์เครื่องดูดฝุ่นตรวจสอบความดันในห้อง เมื่อความดันลดลงต่ำกว่า 600 เอ็มบาร์ที่
ติดต่อใกล้ชิดเพื่อให้สายการผลิต 24V และช่วยให้ก๊าซกระบวนการและ RF เพื่อ
ดำเนินการ.
ล็อคโหลดอัตโนมัติจะสูบโดย Alcatel ACP28G ปั๊มแห้ง ความดันที่วัดโดย
วัด Pirani.
สำหรับรายละเอียดของปั๊มสูญญากาศและมาตรวัดให้ดูที่วรรณกรรมของผู้ผลิตในปริมาณ
3 ของคู่มือนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

กระบวนการห้องสูบโดย Alcatel ath1300mt รุ้งกินน้ำ turbomolecular ปั๊มผ่าน
ควบคุมแรงดันอัตโนมัติ ปั๊ม turbomolecular ได้รับการสนับสนุนผ่านการอุ่นแยก
วาล์วโดย Alcatel adp122p บริการปั๊ม
กระบวนการกระบวนการห้องความดันจะวัดโดยใช้ความร้อน 100 mtorr ความจุ
มานอมิเตอร์วัด ทราบว่าวัดซม. ผลผลิตไม่คงที่ จนกว่าจะได้รับ
เปิดและสุญญากาศเป็นเวลา 15 นาที
ดันฐานวัดโดย penninggauge ปราดเปรียว ซึ่งเป็นคนพิการที่แรงกดดันข้างต้น
10 mtorr .
ดูดสลับตรวจสอบห้องควบคุมความดัน เมื่อแรงดันต่ำกว่า 600 มิลลิบาร์ ,
ปิดการติดต่อเพื่อให้กระบวนการ 24V บรรทัดและช่วยให้กระบวนการแก๊สและ RF

งาน .
ล็อคโหลดอัตโนมัติ สูบโดย Alcatel acp28g บริการปั๊ม ความดันจะวัดโดย
พิรานิวัด
รายละเอียดของปั๊มสูญญากาศและมาตรวัดอ้างอิงของผู้ผลิตวรรณกรรมเล่มนี้

3 ของคู่มือ