stylus-based surface measurement me

stylus-based surface measurement method is extremely
versatile for an enormous range of roughness. However,
stylus-based surface measurement techniques have some
disadvantages[1]: for example surface damage in some
instances by the stylus force and low efficiency due to
scanning. More details of the advantages and disadvan-tages of different stylus-based surface measurement tech-niques can be obtained from Refs. [1,4–6]. To a large
extent, the deficiencies of stylus methods will make
employing non-contact methods, such as microscopy,
interferometry, phase detection, speckle, light scattering,
etc. a more attractive alternative.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วิธีใช้สไตลัสวัดพื้นผิวเป็นอย่างมากอเนกประสงค์สำหรับช่วงมหาศาลของความหยาบ อย่างไรก็ตามเทคนิคการตรวจวัดพื้นผิวที่ใช้สไตลัสมีบางข้อเสีย [1]: เช่น พื้นผิวความเสียหายในบางส่วนอินสแตนซ์ โดยสไตลัสแรงและประสิทธิภาพต่ำเนื่องจากการสแกน รายละเอียดของข้อดีและ disadvan-tages ของเทคโนโลยีแตกต่างกันตามสไตการวัดผิว-niques สามารถได้รับจาก Refs [1, 4-6] การขนาดใหญ่ขอบเขต ข้อบกพร่องของวิธีสไตลัสจะทำให้ใช้วิธีการติดต่อไม่ เช่นกล้องจุลทรรศน์interferometry, speckle โปรย แสง ตรวจจับระยะห่างฯลฯ เป็นทางเลือกน่าสนใจมากขึ้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

วิธีการวัดพื้นผิวสไตลัสที่ใช้เป็นอย่างมาก
ที่หลากหลายสำหรับช่วงมหาศาลของความหยาบกร้าน อย่างไรก็ตาม
เทคนิคการวัดพื้นผิวสไตลัสที่ใช้มีบาง
ข้อเสีย [1]: ความเสียหายเช่นพื้นผิวในบาง
กรณีโดยแรงสไตลัสและมีประสิทธิภาพต่ำเนื่องจาก
การสแกน รายละเอียดเพิ่มเติมของข้อดีและ disadvan-Tages ที่แตกต่างกันของสไตลัสที่ใช้วัดพื้นผิวที่มีเทคโนโลยี niques สามารถได้รับจาก Refs [1,4-6] ที่มีขนาดใหญ่
ขอบเขตของการขาดวิธีการสไตลัสจะทำให้
การจ้างไม่ใช่วิธีการติดต่อเช่นกล้องจุลทรรศน์
อินเตอร์เฟตรวจสอบเฟสจุดกระเจิงแสง
ฯลฯ เป็นทางเลือกที่น่าสนใจมากขึ้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ระเบียบวิธีการวัดพื้นผิวที่ใช้สไตลัสเป็นอย่างมากเอนกประสงค์สำหรับช่วงมหาศาลของหยาบ อย่างไรก็ตามการใช้เทคนิคการวัดมีพื้นผิวข้อเสีย [ 1 ] : ตัวอย่างเช่นผิวความเสียหายในบางอินสแตนซ์โดยสไตลัสแรงและประสิทธิภาพต่ำ เนื่องจากการสแกน รายละเอียดเพิ่มเติมของข้อดีและ disadvan tages แตกต่างกันตามสไตลัสวัดพื้นผิว niques เทคโนโลยีที่สามารถได้รับจากอ้างอิง [ 1 , 4 - 6 ] ไปใหญ่ขอบเขต , ข้อบกพร่องของวิธีการจะทำให้การใช้วิธีการแบบไม่สัมผัส เช่น กล้องจุลทรรศน์ ,อินเตอร์เฟอโรเมทรี ระยะตรวจจับ จุด โปรยแสงฯลฯ เป็นทางเลือกที่น่าสนใจมากขึ้น