Photoresist (PR) (S2010, Microchem) was deposited on the M/C paper by spincoating at 3000rpm and exposed by UV system (Karl Süss,i-line) with a photomask for 12 s.
โฟโตรีซีส ( PR ) ( s2010 microchem , ) ฝากบน M / C กระดาษโดย spincoating ที่ 3000rpm และสัมผัสด้วยระบบ UV ( คาร์ล S ü SS I - line ) กับโฟโต้มาสค์เป็นเวลา 12 วินาที