Consistent with the literature , th

Consistent with the literature , these results indicate that gettering efficiency increases with the increase in phosphorus surface concentration which was found to be higher for POCl3 diffusion compared to ion implantation in this study

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สอดคล้องกับวรรณกรรม ผลลัพธ์เหล่านี้ระบุว่า gettering ขึ้นกับการเพิ่มขึ้นของฟอสฟอรัสความเข้มข้นผิวที่พบจะสูงเมื่อเทียบกับการฝังไอออนในการศึกษานี้แพร่ POCl3

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สอดคล้องกับวรรณคดีผลลัพธ์เหล่านี้บ่งชี้ว่า gettering ประสิทธิภาพที่เพิ่มขึ้นกับการเพิ่มขึ้นของความเข้มข้นของพื้นผิวฟอสฟอรัสซึ่งถูกพบว่าเป็นที่สูงขึ้นสำหรับการแพร่กระจาย POCl3 เมื่อเทียบกับไอออนในการศึกษานี้