MEMS ELECTROSTATIC comb drives are

MEMS ELECTROSTATIC comb drives are the drive and detection method of choice for a large range of
devices, including gyroscopes [1], [2], accelerometers [3], [4],linear motors [5], [6], magnetometers [7], micro-positioners [8]–[12], energy harvesters [13], and oscillators [14]. The
electrical properties allow for a large linear response with respect to mechanical displacement. Energy consumption of the device itself is negligible and response speed is high.
Electrostatics can be used for actuating such comb devices as well as simultaneously sensing the displacement with remarkable accuracy. In this manuscript, we demonstrate the effect of levitation (out-of-plane motion) in capacitive comb drive actuators. This motion can be used for additional control along the orthogonal axis of the preferred motion. Minimization of unwanted vertical actuation can be achieved while simultaneously enhancing lateral displacement. This is the result of increased electromechanical coupling that extends the lateral range of the linear comb drive for the same actuation voltage. The comb drive’s appeal is the linear dependency of the capacitance with respect to displacement. As a result of this,

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

MEMS สถิตหวีไดรฟ์มีไดรฟ์และตรวจสอบวิธีการที่เลือกสำหรับหลากหลายอุปกรณ์ รวม gyroscopes [1], [2], หัว [3], [4], เส้นมอเตอร์ [5], [6], magnetometers [7], ไมโคร-positioners [8] – [12], พลังงาน harvesters [13], และ oscillators [14] ที่คุณสมบัติทางไฟฟ้าทำให้การตอบสนองเชิงขนาดใหญ่กับเครื่องจักรกลแทน ปริมาณการใช้พลังงานของอุปกรณ์เองเป็นระยะ และความเร็วตอบสนองสูงสามารถใช้ electrostatics actuating หวีอุปกรณ์ดังกล่าวรวมทั้งพร้อมตรวจปริมาณกระบอกสูบที่ มีความโดดเด่น ในฉบับนี้ เราแสดงให้เห็นถึงผลของ levitation (เคลื่อนไหวออกของเครื่องบิน) ในหวีควบคุมไดรฟ์หัวขับ เคลื่อนไหวนี้สามารถใช้สำหรับการควบคุมเพิ่มเติมตามแนวแกนของการเคลื่อนไหวต้อง orthogonal การลดของ actuation แนวตั้งที่สามารถทำได้ในขณะที่เพิ่มปริมาณกระบอกสูบด้านข้างพร้อมกัน นี่คือผลของคลัปโดยกว่าเพิ่มที่ขยายช่วงด้านข้างของไดรฟ์หวีเส้นสำหรับแรงดันไฟฟ้า actuation เดียวกัน อุทธรณ์ของไดรฟ์หวีเป็นการขึ้นต่อกันเชิงเส้นของความเกี่ยวข้องกับการเคลื่อนย้าย จากนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

MEMS
ไฟฟ้าสถิตไดรฟ์หวีมีวิธีการไดรฟ์และการตรวจสอบของทางเลือกสำหรับช่วงใหญ่ของอุปกรณ์รวมถึงลูกข่าง[1], [2], accelerometers [3] [4] มอเตอร์เชิงเส้น [5] [6], magnetometers [ 7] ไมโคร positioners [8] - [12], เครื่องเก็บเกี่ยวพลังงาน [13] และ oscillators [14]
คุณสมบัติทางไฟฟ้าอนุญาตให้มีการตอบสนองเชิงเส้นที่มีขนาดใหญ่ที่เกี่ยวกับการเคลื่อนที่ทางกล การใช้พลังงานของอุปกรณ์ที่ตัวเองเป็นสำคัญและตอบสนองความเร็วสูง.
ไฟฟ้าสถิตสามารถใช้สำหรับ actuating อุปกรณ์หวีเช่นเดียวกับการตรวจจับการเคลื่อนที่ไปพร้อม ๆ กันด้วยความถูกต้องที่น่าทึ่ง ในต้นฉบับนี้เราแสดงให้เห็นถึงผลกระทบของการลอย (ออกจากเครื่องบินเคลื่อนไหว) ในหวี capacitive กระตุ้นไดรฟ์ การเคลื่อนไหวนี้สามารถใช้สำหรับการควบคุมเพิ่มเติมตามแนวแกนตั้งฉากของการเคลื่อนไหวที่ต้องการ ลดของการดำเนินการที่ไม่พึงประสงค์ในแนวตั้งสามารถทำได้ในขณะเดียวกันการเสริมสร้างการเคลื่อนที่ด้านข้าง นี้เป็นผลจากการมีเพศสัมพันธ์ไฟฟ้าที่เพิ่มขึ้นที่ขยายช่วงที่ด้านข้างของไดรฟ์หวีเชิงเส้นสำหรับแรงดันไฟฟ้าที่ดำเนินการเดียวกัน อุทธรณ์หวีไดรฟ์ที่เป็นเชิงเส้นของการพึ่งพาความจุที่เกี่ยวกับการเคลื่อนที่ เป็นผลจากการนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ไฟฟ้าสถิต หวี รวมทั้งฮาร์ดไดรฟ์และวิธีการตรวจสอบที่เหมาะสมกับช่วงใหญ่ของอุปกรณ์รวมทั้ง gyroscopes
, [ 1 ] , [ 2 ] , accelerometers [ 3 ] , [ 4 ] , มอเตอร์เชิงเส้น [ 5 ] [ 6 ] [ 7 ] magnetometers Micro positioners [ 8 ] - [ 12 ] พลังงาน Harvesters [ 13 ] และ oscillators [ 14 ]
สมบัติทางไฟฟ้าให้สามารถตอบสนองเชิงเส้นใหญ่ด้วยความเคารพแบบกลการใช้พลังงานของอุปกรณ์ตัวเองเป็นเล็กน้อยและการตอบสนองความเร็วสูง
ไฟฟ้าสถิตสามารถใช้อุปกรณ์ดังกล่าว actuating หวีตลอดจนพร้อมกันตรวจจับการเคลื่อนที่ความถูกต้องโดดเด่น ในบทความนี้เราจะแสดงให้เห็นถึงผลของลอย ( การเคลื่อนที่ของเครื่องบิน ) ในแบบหวีทำให้หัวฉีด .การเคลื่อนไหวนี้สามารถใช้สำหรับการควบคุมเพิ่มเติมตามแนวแกนตั้งฉากของการเคลื่อนไหวที่ต้องการ การสั่งการแนวดิ่งที่ไม่พึงประสงค์ได้ ในขณะเดียวกันก็เพิ่มการเคลื่อนตัวด้านข้าง . นี้คือผลของการเพิ่มไฟฟ้า Coupling ที่ขยายช่วงด้านข้างของไดรฟ์หวีเชิงเส้นสำหรับแรงดันไฟฟ้าที่ซื้อเหมือนกันหวีขับอุทธรณ์คือการเชิงเส้นของความจุและการกระจัด ผลจากเหตุการณ์นี้