2.2. Charged particle beam microsco

2.2. Charged particle beam microscopy
HIM measurements were performed using an ultra-high vacuum (UHV) Orion Plus helium ion microscope from Zeiss [16].The microscope is equipped with an Everhardt–Thornley (ET) detector
for Secondary Electron (SE) detection. A micro-channel plate situ-ated below the last lens just above the sample allows the qualitative analysis of Backscattered Helium (BSHe). This detector yields images in which dark areas correspond to light elements—having a low backscatter probability—and bright areas—with a high backscatteryield—correspond to heavy elements in the specimen.High Resolution Scanning Electron Microscopy (HRSEM) mea-surements were performed using a Merlin Field Emission SEM

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

2.2. มีอนุภาคแสงกล้องจุลทรรศน์วัด HIM ถูกดำเนินการโดยใช้ความสูงสูญญากาศ Orion (UHV) บวกฮีเลียมไอออนกล้องจุลทรรศน์จาก Zeiss [16] กล้องจุลทรรศน์เป็นอุปกรณ์ที่ มีการตรวจจับ Everhardt – Thornley (ET)สำหรับการตรวจจับอิเล็กตรอนทุติย (SE) เสถียร-ated ในแผ่นไมโครช่องด้านล่างเลนส์สุดท้ายอยู่เหนือตัวอย่างช่วยให้การวิเคราะห์คุณภาพของแบบกระจายแสงกลับฮีเลียม (BSHe) เครื่องตรวจจับนี้ทำให้ภาพในที่มืดตรงกับองค์ประกอบแสง — มีความน่าเป็นแสงกระจายกลับต่ำ — และพื้นที่สว่าง — กับ backscatteryield สูง — สอดคล้องกับองค์ประกอบที่หนักในตัวอย่างนี้ ความละเอียดการสแกนชาวดัตช์ (HRSEM) สูง mea surements ดำเนินการโดยใช้ SEM การปล่อยเมอร์ลิน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

2.2 ลำแสงอนุภาคกล้องจุลทรรศน์
เขาวัดได้ดำเนินการโดยใช้สูญญากาศสูงพิเศษ (UHV) Orion พลัสฮีเลียมกล้องจุลทรรศน์ไอออนจาก Zeiss [16] กล้องจุลทรรศน์ได้โดยง่ายเป็นอุปกรณ์ที่มี Everhardt- ธ อร์น (ET) เครื่องตรวจจับ
สำหรับรองอิเลคตรอน (SE) การตรวจสอบ แผ่นไมโครช่องแหล่งกำเนิด-ated ด้านล่างเลนส์ที่ผ่านมาเป็นเพียงแค่ตัวอย่างข้างต้นจะช่วยให้การวิเคราะห์เชิงคุณภาพของการสะท้อนฮีเลียม (BSHe) ตรวจจับนี้ผลตอบแทนถัวเฉลี่ยที่ภาพในบริเวณที่มืดสอดคล้องกับองค์ประกอบแสงมีแสงสะท้อนต่ำความน่าจะเป็นและพื้นที่ที่มีสดใส backscatteryield-สอดคล้องสูงเพื่อธาตุหนักใน specimen.High ความละเอียดการสแกนกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (HRSEM) การไฟฟ้านครหลวง-surements ถูกดำเนินการโดยใช้ เมอร์ลินสนาม Emission SEM

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

2.2 . ค่าบริการกล้องจุลทรรศน์ลำแสงอนุภาคเขาวัดการใช้สูญญากาศสูงพิเศษ ( uhv ) Orion บวกกล้องจุลทรรศน์ไอออนของฮีเลียมจาก Zeiss [ 16 ] . กล้องจุลทรรศน์เป็นอุปกรณ์ที่มี everhardt –ทอร์นลีย์ ( ET ) เครื่องตรวจจับสำหรับอิเล็กตรอนทุติยภูมิ ( SE ) การตรวจสอบ ไมโครเพลทชนิดจากช่องด้านล่างเลนส์สุดท้ายเหนือตัวอย่างช่วยให้การวิเคราะห์เชิงคุณภาพของ backscattered ฮีเลียม ( bshe ) เครื่องนี้ให้ผลภาพในพื้นที่ที่มืดกับแสงองค์ประกอบมีความน่าจะเป็นกระเจิงกลับต่ำและสดใส พื้นที่ที่มี backscatteryield สูงสอดคล้องกับองค์ประกอบในตัวอย่าง ความละเอียดสูงกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ( hrsem ) กฟน. surements การใช้สนามต่อจากเมอร์ลิน