Understanding of environmental impa

Understanding of environmental impacts associated with the DRAM fabrication stage in high-technology buildings can be
obtained for various fabs using the different system boundaries.

Typical production of DRAM consists of the following process modules (Fig. 1):

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ความเข้าใจของผลกระทบด้านสิ่งแวดล้อมที่เกี่ยวข้องกับขั้นตอนการผลิต DRAM ในอาคารเทคโนโลยีชั้นสูงสามารถรับสำหรับ
fabs ต่างๆโดยใช้ขอบเขตของระบบที่แตกต่างกัน

การผลิตตามแบบฉบับของ DRAM ประกอบด้วยโมดูลกระบวนการดังต่อไปนี้ (รูปที่ 1).

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สามารถเข้าใจผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมที่เกี่ยวข้องกับขั้นตอนการผลิต DRAM ในเทคโนโลยีอาคาร
ได้ fabs ต่าง ๆ ใช้ขอบเขตของระบบอื่นได้

ปกติผลิต DRAM ประกอบด้วยโมดูขั้นตอนต่อไปนี้ (Fig. 1):

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ความรู้ความเข้าใจเกี่ยวกับผลกระทบด้านสิ่งแวดล้อมที่เกี่ยวข้องกับขั้นตอนการ DRAM ที่อยู่ในอาคารสูงเทคโนโลยีสามารถ
ซึ่งจะช่วยได้รับสำหรับ fabs ต่างๆโดยใช้ขอบเขตระบบที่แตกต่างกันได้.

การผลิตตามแบบอย่างของ DRAM ประกอบด้วยโมดูลกระบวนการต่อไปนี้:(รูปที่ 1 )